一种遮挡机构的制作方法

本实用新型属于半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于遮挡存放玻璃基板的容置装置的遮挡机构。

背景技术：

玻璃基板是平板显示产业关键的基础材料之一，玻璃基板需要经过若干加工步骤才能符合要求而应用于显示装置，玻璃基板要通过传送装置将其运送到各个加工站。然而，在玻璃基板的传送过程中，玻璃基板一般置于敞开式的容纳装置中，如此玻璃基本暴露在空气中，这样会使得玻璃基板受到空气中的颗粒物的影响，导致该玻璃基板的质量下降，影响产品的性能。

为解决上述问题，现有的解决方案是将玻璃基板放置在真空腔室中，这样可以避免玻璃基板被大气中的颗粒物所影响。然而，在玻璃基板的取出进行加工的过程中，真空腔室的一整侧设置启闭门需要开启较大的面积，这样，外部空气中的颗粒物容易进入真空腔室，对由该玻璃基板的品质造成影响，不利于接下来的加工步骤。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决上述问题，提供一种调节其开启区域的位置的遮挡机构，该遮挡机构可尽可能地在玻璃基板的传送过程中避免外部颗粒进入容纳玻璃基板的容置装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种遮挡机构，包括支架、设置在所述支架上的挡板及推动机构，所述挡板包括若干个层叠设置的挡条，所述推动机构通过推动所述挡条移动从而控制所述挡板的开启区域的位置和大小。

进一步的，所述支架包括竖向基板和与所述竖向基板一体式连接的横向基板。

进一步的，所述竖向基板上左右对称地设置有两个滑杆，所述两个滑杆分别穿过若干挡条的两端。

进一步的，每个所述挡条的两端各设有一个扁条形的凸出部。

进一步的，每个挡条在所述凸出部的上方均形成一个缺口部。

进一步的，所述推动机构包括升降元件和旋转元件，所述升降元件为柱形杆，所述旋转元件包括设置在每根柱形杆内的推动杆。

进一步的，所述推动杆的端部设置有以所述推动杆为旋转中心的推动片。

进一步的，所述竖向基板呈框状。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种遮挡机构，其为存放玻璃基板的容置装置的封闭机构，可通过其上的推动机构控制挡板的开启区域在适当的位置及较小的开口范围内，从而既能够保证取出玻璃基板对其进行加工，同时又能最大程度防止外部颗粒物进入容置装置内影响玻璃基板的质量。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的一种应用于容置装置开口处的遮挡机构的立体图。

图2为图1中所示遮挡机构中推动机构在另一位置时的立体图。

图3为本实用新型实施例提供的一种遮挡机构中挡板移动后的立体图。

图4为图3圈内所示图面的放大图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种遮挡机构，其设置在容置装置1开口的一侧，其用于密封容置装置1，容置装置1内存放有若干堆叠的玻璃基板(未图示)。具体地，遮挡机构包括固定在容置装置1开口一侧的支架2，设置在支架2上的挡板3及推动机构4。进一步的，挡板3包括若干个层叠设置的挡条31，推动机构4通过控制挡条31的移动从而控制挡板3的开启区域的位置和大小。当需要从容置装置中取出玻璃基板时，移开玻璃基板对应位置的挡条31形成开启区域，外部机械手通过开启区域来取出玻璃基板。

如图1所示，容置装置1为长方体，由于其开口一端设置有遮挡机构，因此，在正常状态下为一个封闭腔室，腔室内部用于存放玻璃基板。同时，容置装置1的腔室内部会一直吹扫氮气(N₂)，以此使玻璃基板一直处于氮气的环境中，防止颗粒物依附在玻璃基板上，从而提高了玻璃基板的质量。

进一步的，支架2包括竖向基板21和与竖向基板21一体连接的横向基板22。竖向基板21呈框型，其上左右对称地设置有两个滑杆211。横向基板22呈板状。

如图2所示，挡板3组装在支架2上，其包括若干个条形的挡条31。具体地，两条滑杆211由下至上依次穿过若干层叠排列的挡条31，以此使得挡条31可在滑杆211上沿上下方向滑动。挡条31的两端各设置有一个扁条形的凸出部311，从而每个挡条31在凸出部311的上方均形成一个缺口部312，缺口部312也可视为是在上下方向上相邻两个挡条31之间的间隔区域。挡板3作为容置装置1的封闭机构，可完全封闭容置装置1一侧。

如图3和图4所示，推动机构4包括升降元件41和旋转元件42。升降元件41包括两根柱形杆411，其贯穿基板22的上下表面。升降元件41可在竖直方向上作升降运动，由外部驱动设备(未图示)，如第一电机控制其升降。旋转元件42包括设置在每根柱形杆411内的推动杆421，推动杆421包括设置在端部的推动片4211，推动片4211以推动杆421为旋转中心。由另一个外部驱动设备(未图示)，如第二电机控制推动杆421旋转，从而带动推动片4211旋转。需要说明的是，升降元件41不随着旋转元件42的旋转而旋转，即升降元件41带着旋转元件42上升到所需的高度后，升降元件41即在该位置停留，旋转元件42进一步由外部驱动设备控制旋转。

当需要从容置装置1内取出玻璃基板时，其具体的操作步骤如下：

在正常状态下，如图1所示，挡板3为关闭状态，玻璃基板(未图示)被存放在封闭的容置装置1内，升降元件41停放在靠近底部的位置，且旋转元件42的推动片4211向外侧旋出。

当需要开启挡板3时，如图2所示，升降元件41及旋转元件42在外部驱动设备的驱动下上升。如图3所示，升降元件41及旋转元件42上升至所需取出的玻璃基板对应的挡条31，旋转元件42的推动片4211由位于该挡条31下方的缺口部312的位置向内侧旋入，并支撑在该挡条31的凸出部311下方，升降元件41继续上升，托起该挡条31以上的部分，使得挡板3之间开出一个横向的条形缺口，机械手可通过该缺口伸入容置装置1内部取出玻璃基板。当然，需要将玻璃基板放入容置装置1内时，操作步骤基本同上。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种遮挡机构，其为存放玻璃基板的容置装置的封闭机构，可通过其上的推动机构控制挡板的开启区域在适当的位置和较小的开口范围内，从而既能够保证取出玻璃基板对其进行加工，同时又能最大程度防止外部颗粒物进入容置装置内影响玻璃基板的质量。

以上所述的具体实例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。