多层基片归正装置的制作方法

本实用新型涉及晶硅组件制造领域，尤其涉及一种多层基片归正装置。

背景技术：

在晶硅组件制造工艺中，通常采用机械手将多层晶硅基片从工艺腔室运进运出，但在操作过程中，由于受到惯性以及机械运动影响，将基片运进工艺腔室内，并将基片落在工艺腔室内的多层基片架上时，基片发生位移，导致各层基片的位置不统一，进而可能会对后续将多层基片移出工艺腔室的操作产生不良影响，例如基片重心偏移或与其他设备干涉，造成基片刮碰甚至跌落、破碎等较为棘手的生产事故。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对上述问题，提供了一种多层基片归正装置，可对工艺腔室内的多层基片的位置进行校正操作。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种多层基片归正装置，包括：

驱动单元、长轴以及多个基片归正机构；

所述长轴竖置于工艺腔室内，所述基片归正机构穿设在所述长轴上，并在各所述基片归正机构之间按照工艺腔室内各层基片的间距设置间隙；

所述驱动单元包括驱动主体和驱动输出轴，所述的驱动主体设置在工艺腔室外，所述驱动输出轴的一端与所述驱动主体连接，所述驱动输出轴的另一端与工艺腔室内的所述长轴连接；

所述基片归正机构包括：安装座、归正板以及连杆组件；

所述安装座设有第一轴承，所述安装座通过所述第一轴承穿设在所述长轴上，且所述第一轴承与所述长轴在配合处固接；

所述安装座的一端与工艺腔室的内壁固接，所述安装座远离所述内壁的一端设有与所述长轴平行的销轴，所述归正板通过所述销轴与所述安装座铰接；

所述连杆组件的两端分别与所述长轴和所述归正板连接；

所述归正板设有两个归正销，并且所述安装座设有限位部件，当所述驱动单元驱动所述长轴转动，使所述连杆组件驱动所述归正板围绕所述销轴的轴线转动至与所述限位部件相抵时，所述归正销分别抵靠在基片的两个邻边上。

优选地，所述驱动输出轴上套设有密封护套；

所述密封护套内置有球头接头的一端与所述驱动输出轴远离所述长轴的一端固接，所述球头接头与所述驱动主体固接，所述密封护套远离所述驱动主体的一端固接在工艺腔室外壁上。

优选地，所述密封护套为波纹管组件。

优选地，所述驱动主体为伺服电机，所述伺服电机的电机轴与所述球头接头固接。

优选地，所述驱动主体为气缸，所述气缸的活塞杆与所述球头接头固接。

优选地，还包括转接杆，所述转接杆的一端与所述长轴固接，所述转接杆远离所述长轴的一端与所述驱动输出轴远离所述气缸的一端连接；

所述气缸通过所述转接杆驱动所述长轴转动。

优选地，所述第一轴承为球面轴承。

优选地，所述归正销的材质为聚氨酯。

优选地，所述连杆组件包括第一连杆、第二连杆、第二轴承和第三轴承；

所述第一连杆的一端与所述长轴固接，所述第一连杆远离所述长轴的一端与所述第二连杆的一端通过所述第二轴承铰接，所述第二连杆远离所述第二轴承的一端与所述归正板的一端通过所述第三轴承铰接；

所述驱动单元驱动所述长轴转动，带动所述第一连杆、所述第二连杆和所述归正板联动，使所述第二连杆驱动所述归正板围绕所述销轴的轴线转动。

优选地，所述第二轴承和所述第三轴承均为推力球轴承。

本实用新型提供的多层基片归正装置，通过驱动单元经由长轴驱动多个基片归正机构的归正板围绕销轴转动，直至使归正板上的归正销夹持在与该基片归正机构相应的基片的两个相邻边，从而可稳定地对多层基片的位置同时进行归正，有效地提升了生产效率的同时，确保后续工序中基片不会由于位置偏移导致刮碰、跌落或破碎等生产事故。

附图说明

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步描述，其中：

图1为本实用新型实施例提供的多层基片归正装置的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的基片归正机构的示意图；

图3为本实用新型实施例提供的多层基片归正装置的俯视图。

附图标记说明：

1驱动单元 2长轴 3基片归正机构 4转接杆 31安装座

11驱动主体 12驱动输出轴 13密封护套 131球头接头

32归正板 311第一轴承 312销轴 33第一连杆 34第二连杆

35第二轴承 36第三轴承 313限位部件 321归正销

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

本实用新型提供了一种多层基片归正装置，如图1、图2和图3所示，包括驱动单元1、长轴2以及多个基片归正机构3。其中，长轴2竖直置于工艺腔室内，基片归正机构3则穿设在该长轴2上，也即是长轴2将多个基片归正机构3串连，并在各基片归正机构3之间按照工艺腔室内的各层基片的间距设置相应的间隙，本领域技术人员能够理解的是，基片的层间距决定了基片归正机构3的数量和间隙，以及驱动单元1的数量等，以六层玻璃基片为例，层间距一般为280mm，驱动单元1的数量则可以是两个；进一步地，由于工艺腔室内发生诸如反应、沉积操作，腔室内的温度会发生变化并且需要注入工艺气体，因此，出于对驱动单元1的保护，驱动单元1可以包括驱动主体11和驱动输出轴12，而驱动主体11设置在工艺腔室外，驱动输出轴12的一端与驱动主体11连接，驱动输出轴12的另一端与工艺腔室内的长轴2连接。在实施过程中，还可以进一步地在驱动输出轴12上套设密封护套13，用于隔绝工艺腔室内的工艺气体与驱动主体11的接触，并保持工艺腔室内的气压，该密封护套13可以选用诸如波纹管组件等可伸缩的护套组件，具体可结合图3所示，密封护套13的一端内置有球头接头131，并且该端与驱动输出轴12固接，而球头接头131则与驱动主体11固接，密封护套13远离驱动主体11的一端固接在工艺腔室外壁上，这样，即使工艺腔室内的的工艺气体从穿设驱动输出轴12的孔隙中外泄，也仅仅是外泄至密封套管13内部，不会对驱动主体11产生影响，并且由于密封护套13的封闭作用，使得工艺腔室内的压力能够得以保持；工作方式可以是驱动主体11驱动球头接头131，以顶推或者回拉密封护套13的一端，从而带动密封护套13内的驱动输出轴12直线往复运动，在实际操作中，如果驱动主体11选用伺服电机，则该伺服电机的电机轴与球头接头131固接；如果驱动主体11选用诸如电缸、油缸或气缸等，此处以气缸为例，该气缸的活塞杆则与球头接头131固接，选用球头接头131可以使机械联动更为灵活以及便于自动调整对中位置，避免产生受力角度偏移。

在本实施例中以气缸为例，气缸的活塞杆与长轴2连接，通过该活塞杆的伸缩以驱动驱动输出轴12伸缩，从而带动前述长轴2转动，并且在实际操作中，还可以在驱动输出轴12和长轴2之间设置转接杆4，即转接杆4的一端与长轴2固接，转接杆4远离长轴2的一端则与驱动输出轴12连接，气缸通过驱动输出轴12驱动转接杆4运动，从而使长轴2转动，进一步地，为保证转接杆4与活塞杆连接方便，该转接杆4与活塞杆的连接端可以设置可调孔，例如腰型孔等，对此本实用新型不予限定。

再结合图2和图3所示，前述基片归正机构3可以包括安装座31、归正板32以及连杆组件。安装座31上设有第一轴承311，安装座31则可以通过第一轴承311穿设在长轴2上，并且第一轴承311与长轴2在二者配合处固接，例如以过盈配合或焊接方式实现固接，这里需要说明的是，其一，理论上可以仅在安装座31上设置用于穿套长轴2的通孔，并使该通孔与长轴2间隙配合，但为了保证长轴2转动灵活，避免出现卡死现象，本实施例中设置了第一轴承311，例如可选用球面轴承；其二，第一轴承311与安装座31的设置方式，可以将该第一轴承311直接嵌入安装座31之中，或者还可以在前述理论方式基础上，将第一轴承311设置在安装座31的通孔之上；其三，出于成本的考虑，在实际操作中，第一轴承311可无需在每一个基片归正机构3上设置，而是根据长轴的长度以及基片归正机构3的数量(也即是工艺腔室内基片堆叠的层数)分散设置，对此本实用新型不做限定。

接续上文，安装座31的一端与工艺腔室的内壁或者腔室内的固定架等设备固接，并且安装座31远离内壁或固定架的一端设有与长轴2平行的销轴312，归正板32通过该销轴312与安装座31铰接，也即是归正板32可相对于安装座31围绕销轴312的轴线转动，当然，为了提升转动灵活性可以归正板32和安装座31之间加设轴承。

再者，连杆组件的两端则分别与长轴2和归正板32相连，其作用是以运动传递的方式，使驱动单元1间接地驱动归正板32转动，具体可以参考图2和图3所示实施例，该连杆组件主要由第一连杆33、第二连杆34、第二轴承35和第三轴承36组成。其中，第一连杆33的一端与长轴2固接，第一连杆33远离长轴2的一端与第二连杆34的一端通过第二轴承35铰接，即第一连杆33和第二连杆34可发生相对转动；并且第二连杆34远离第二轴承35的一端则与归正板32的一端通过第三轴承36铰接，即第二连杆34和归正板32可发生相对转动。这样，驱动单元1可驱动长轴2转动，以带动第一连杆33、第二连杆34和归正板32联动，使第二连杆34驱动归正板32围绕销轴312的轴线转动。在本实用新型的一个较佳实施例中，第二轴承35和第三轴承36均为推力球轴承，并在轴承中穿设一连轴，采用推力球轴承的原因是其可承受轴向力，使转动更为灵活，从而可以有效防止基片被挤压、夹碎等不良情况发生。

接续上文并结合图3所示，归正板32还设有至少两个归正销321，并且在安装座31上设有可调节的限位部件313，当驱动单元1驱动长轴2转动，使前述连杆组件驱动归正板32围绕销轴312的轴线转动至与该限位部件313相抵时(图3中虚线示出转动后的状态)，归正销321能够分别抵靠在该层基片的两个邻边上，从而对基片进行归正操作；考虑设置可调节的限位部件313，目的是其可用来调节归正销321与基片的相对位置，防止归正板32超过位置后将基片夹碎；并且还可以进一步考虑的是，为了减少归正销321对基片的接触磨损，可以考虑选择耐磨材料，例如尼龙或者聚氨酯等可作为优选，或者在归正销321上套设耐磨损的护套等，本实用新型对此不做限定。

最后需要指出的是，本领域技术人员能够理解的是，可以将本实用新型提供的多层基片归正装置成组设置在工艺腔室内，一般可以是对应多层基片的至少两个角，以此提升基片位置校正操作的精准性，保证各基片可顺利进入进出工艺腔室。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，但以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，需要言明的是，上述实施例及其优选方式所涉及的技术特征，本领域技术人员可以在不脱离、不改变本实用新型的设计思路以及技术效果的前提下，合理地组合搭配成多种等效方案；因此，本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。