一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶的制作方法

本发明涉及一种光阻瓶，特别涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，属于光阻剂容器领域。

背景技术：

光阻剂是一种光敏材料，应用于光刻技术，在材料表面刻上一个图案的被覆层。现行比较常见的光阻瓶是设有瓶盖的玻璃瓶，瓶盖上安装进气管、出液管，进气管向瓶内施压，光阻液剂从出液管输出。由于设备内有若干不同类型的光阻剂，但光阻剂容器的外形相同，不方便区分，操作人员容易在更换光阻的过程中发生错误，导致产品出现异常或者报废。

技术实现要素：

本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶公开了新的方案，采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，解决了现有方案无相关保险措施的问题。

本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上，气缸销包括气缸、锁销，气缸推动锁销向下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。

进一步，本方案的瓶盖的外侧是柱面，气缸销座包括平台板，平台板是扇形板结构，平台板的下面固定立设有定位侧板，定位侧板的定位侧面与瓶盖的外侧贴合定位，平台板的内弧端通过连接件固定在瓶盖的边沿上，平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔，锁销穿过气缸销固定通孔做升降运动。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔a，活塞的下方设有气腔b，气腔b与外部高压气源连通，开启外部高压气源，活塞在气腔b内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭外部高压气源，气腔b内的高压消失，活塞在气腔a内高压、活塞自身重力的作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。

更进一步，本方案的外部高压气源与气腔b连通的管道上设有电磁阀，设备端或网络光阻管理后台通过控制电磁阀的启闭状态控制瓶盖锁装置的工作状态。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有微型泵，活塞与微型泵间设有气腔a，活塞的下方设有气腔b，气腔b的下部的气缸内壁上设有活塞限位板，活塞限位板将气腔b分成活塞限位板上方的气腔c、活塞限位板下方的气腔d，微型泵的进气口与气腔a连通，微型泵的出气口与气腔d连通，启动微型泵，微型泵将气腔a内的气体泵入气腔b，活塞在气腔b内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭微型泵，气腔b内的高压消失，活塞在自身重力作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。

更进一步，本方案的微型泵包括微型泵无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过微型泵无线控制模块控制微型泵的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔a，活塞的下方设有锁销驱动装置，活塞与锁销驱动装置间设有气腔b，锁销驱动装置与锁销形成螺纹传动连接，锁销驱动装置通过上述螺纹传动连接驱动锁销升降形成解锁或锁定状态。

更进一步，本方案的锁销驱动装置包括驱动无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过驱动无线控制模块控制锁销驱动装置的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。

进一步，本方案的瓶盖上设有进气管、出液管，瓶身内的底面是漏斗锥面，底面的最低处向下开设有聚料孔，出液管的下端头向下延伸入聚料孔，进气管输入的正压将瓶身内的光阻液从出液管排出。

更进一步，本方案的出液管的下端包括弹性扩容段、平头缺吸口，平头缺吸口包括吸口外沿，吸口外沿上开有平头缺口，扭紧瓶盖，平头缺吸口与聚料孔底部接触压缩弹性扩容段，扭开瓶盖，弹性扩容段在自身弹性应力的作用下扩展吸收平头缺吸口内的残留光阻液。

本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，具有能避免操作失误导致事故的特点。

附图说明

图1是本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶的示意图。

图2是光阻瓶的俯视示意图。

图3是光阻瓶的主视示意图之一。

图4是光阻瓶的主视示意图之二。

图5是光阻瓶的主视示意图之三。

图6是瓶盖锁装置的示意图。

图7是瓶身内部的局部剖视示意图。

图8是出液管下端的局部放大示意图。

图9是气缸销实施例一的示意图。

图10是气缸销实施例二的示意图。

图11是气缸销实施例三的示意图。

其中，111是瓶把手，121是聚料孔，211是锁销，212是活塞，213是气腔a，214是气腔b，215是微型泵，216是活塞限位板，217是气腔d，218是锁销驱动装置，221是平台板，222是定位侧板，311是弹性扩容段，312是平头缺吸口。

具体实施方式

如图1～5所示，本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上，气缸销包括气缸、锁销，气缸推动锁销向下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。上述方案采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，避免了因操作失误导致的事故。

为了提高气缸销座的稳定性，本方案公开了一种具有定位功能的气缸销座，如图6所示，具体是瓶盖的外侧是柱面，气缸销座包括平台板，平台板是扇形板结构，平台板的下面固定立设有定位侧板，定位侧板的定位侧面与瓶盖的外侧贴合定位，平台板的内弧端通过连接件固定在瓶盖的边沿上，平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔，锁销穿过气缸销固定通孔做升降运动。

为了实现气缸销的锁定、解锁功能，本方案公开了以下实例。

实施例一

如图9所示，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔a，活塞的下方设有气腔b，气腔b与外部高压气源连通，开启外部高压气源，活塞在气腔b内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭外部高压气源，气腔b内的高压消失，活塞在气腔a内高压、活塞自身重力的作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。为了获得远程操控功能，本方案的外部高压气源与气腔b连通的管道上设有电磁阀，设备端或网络光阻管理后台通过控制电磁阀的启闭状态控制瓶盖锁装置的工作状态。

实施例二

如图10所示，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有微型泵，活塞与微型泵间设有气腔a，活塞的下方设有气腔b，气腔b的下部的气缸内壁上设有活塞限位板，活塞限位板将气腔b分成活塞限位板上方的气腔c、活塞限位板下方的气腔d，微型泵的进气口与气腔a连通，微型泵的出气口与气腔d连通，启动微型泵，微型泵将气腔a内的气体泵入气腔b，活塞在气腔b内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭微型泵，气腔b内的高压消失，活塞在自身重力作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。为了获得远程操控功能，本方案的微型泵包括微型泵无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过微型泵无线控制模块控制微型泵的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。

实施例三

如图11所示，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔a，活塞的下方设有锁销驱动装置，活塞与锁销驱动装置间设有气腔b，锁销驱动装置与锁销形成螺纹传动连接，锁销驱动装置通过上述螺纹传动连接驱动锁销升降形成解锁或锁定状态。为了获得远程操控功能，本方案的锁销驱动装置包括驱动无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过驱动无线控制模块控制锁销驱动装置的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。

为了减少光阻剂在瓶身内积留，节省材料，本方案还公开了一种瓶身内部结构，如图7所示，具体是瓶盖上设有进气管、出液管，瓶身内的底面是漏斗锥面，底面的最低处向下开设有聚料孔，出液管的下端头向下延伸入聚料孔，进气管输入的正压将瓶身内的光阻液从出液管排出。进一步，为了避免打开瓶盖时，光阻剂从出液管下端滴漏，本方案公开了一种出液管的局部结构，如图8所示，具体是出液管的下端包括弹性扩容段、平头缺吸口，平头缺吸口包括吸口外沿，吸口外沿上开有平头缺口，扭紧瓶盖，平头缺吸口与聚料孔底部接触压缩弹性扩容段，扭开瓶盖，弹性扩容段在自身弹性应力的作用下扩展吸收平头缺吸口内的残留光阻液。其中，平头缺吸口相比楔形斜面吸口能够吸取更多的残留光阻剂，提高了光阻剂的利用率。

本方案公开了一种存放光阻剂的容器，容器为1加仑玻璃瓶并且瓶口下方有把手，目前大多数光刻工艺都使用此类玻璃容器存放光阻。本方案的光阻瓶包括瓶盖锁定装置，锁定控制模块和通信模块。瓶盖锁定装置通过在设备端光阻瓶盖上增加锁定销，并以气缸控制锁定销的伸缩。锁定销伸出的状态为锁定状态，此时如果逆时针拧设备端瓶盖，伸出状态的锁定销(锁销)会被把手挡住，无法松开设备端瓶盖，操作人员不能进行正常的更换动作。锁定销缩回状态为解锁状态，此时可以拧设备端瓶盖，操作人员可以进行正常的更换光阻剂动作。锁定控制模块用电磁阀控制压缩空气的开关，用来控制锁定模块中气缸的伸缩。通信模块接收设备端或者网络光阻管理系统端发出的对指定光阻瓶盖锁的锁定与解锁命令。本方案在设备端光阻瓶盖上增加锁定销，通过加长设备端瓶盖上原有的固定螺丝固定气缸锁底座以及气缸，不影响正常拧瓶盖的动作。在更换光阻过程中可以远程控制瓶盖解锁，协助操作人员选择正确的光阻瓶，避免操作人员因判断失误选错光阻瓶而引起的错误，而且对设备端光阻瓶盖的锁定效果明显，加装简便，无需改造设备，不会对设备原来的生产带来影响。基于以上特点，本方案的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶相比现有的产品具有突出的实质性特点和显著的进步。

本方案的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶并不限于具体实施方式中公开的内容，实施例中出现的技术方案可以基于本领域技术人员的理解而延伸，本领域技术人员根据本方案结合公知常识作出的简单替换方案也属于本方案的范围。