振动输送装置的制作方法

本发明涉及一种振动输送装置，能使电子零件等输送对象物在输送面上朝向输送方向下游端(前端)移动，从而自输送面的输送方向下游端将上述输送对象物输送到预定的目标供给地。

背景技术：

一直以来，公知一种能够通过振动沿输送路径向预定的目标供给地输送电子零件等作为输送对象物的工件的振动输送装置(振动式送料器)。这种振动输送装置自输送面的前端(输送方向下游端)将在振动的输送路径的输送面上输送的输送对象物排出。例如在设定为向定速旋转的玻璃制圆板台上进行供给的振动输送装置中，为了能够在圆板台上恰当地对输送对象物进行外观检查等检查、处理，要求使被排出到圆板台上的输送对象物等间距地码齐。

但是，虽然在利用适当的部件将在振动的输送面上输送的输送对象物码齐的状态下朝向输送方向下游端输送上述输送对象物，但根据振动的程度的不同，输送面上的输送对象物彼此的间隔容易产生不均，不能或者很难将自输送面的前端(输送方向下游端)排出的输送对象物等间距地排列在圆板台上。

那么，公知一种装置，该装置包括在振动的输送面上对输送对象物进行输送的振动输送路径以及利用沿水平方向空开间隔地相对的两个夹具引导输送对象物来进行码齐的码齐部，此外，该装置在振动输送路径与码齐部之间还设有无振动输送路径，该无振动输送路径使通过了振动输送路径的输送对象物在不振动的输送面上在无间隙地紧密排列的后续的输送对象物的推压力的作用下移动(例如参照下述专利文献1)。

采用这种振动输送装置，自振动输送路径的输送面移动到无振动输送路径的输送面上的输送对象物在该时刻以后利用由后续的输送对象物产生的推压力(从后方推动的力)所引发的推进力而在无振动输送路径的输送面上以无振动状态进行移动。于是，构成为，能使输送对象物保持无振动状态地自无振动输送路径的输送面向码齐部移动，从而进行码齐，由此能够减少自码齐部的前端(输送方向下游端)向圆板台上排出(移载)后的输送对象物的供给间距的不均。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-242952号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

但是，采用上述的结构，为了不使振动输送路径的振动向无振动输送路径传递，需要使无振动输送路径在空间上相对于振动输送路径独立。因此，自振动输送路径向无振动输送路径移动(换乘)的输送对象物可能卡挂于振动输送路径与无振动输送路径之间的间隙而变为不稳定的姿势，或者下落到振动输送路径与无振动输送路径之间的间隙。特别是，为了提高输送处理能力，将振动输送路径的振动设定得越大，振动输送路径的振动幅度越大，因此振动输送路径与无振动输送路径之间的间隙也必须设定得较大，容易产生上述的不良情况，妨碍顺利的输送处理。输送对象物的尺寸越小，这种不良情况越明显。

而且，采用在无振动输送路径的输送面上的输送对象物的移动只依赖于由后续的输送对象物产生的推压力的上述的结构，输送对象物在无振动输送路径的输送面上与无振动输送路径的输送面持续接触，无振动输送路径的输送面的磨损剧烈，输送对象物会卡挂于磨损后的输送面，需要定期对无振动输送路径的输送面进行检查、更换。另外，也考虑会产生由与输送面的接触导致的输送对象物的损耗、由此引发的成品率降低这样的问题。

此外，除振动输送路径之外需要另一个无振动输送路径的上述的装置不仅导致零件件数的增加乃至制造成本的增加，而且还需要达到在不接受由对振动输送路径进行励振的励振源产生的影响的状况下以稳定的姿势支承无振动输送路径的条件，这些可能成为导入装置时的障碍。

另外，采用上述的结构，在最末尾的输送对象物自振动输送路径移动到了无振动输送路径的输送面上的时刻以后，最末尾的输送对象物不会被后续的输送对象物推压，因此在最末尾的输送对象物自振动输送路径向无振动输送路径的输送面移动完成的时刻存在于无振动输送路径的输送面上的输送对象物成为在无振动输送路径的输送面上停止的状态而不向输送方向下游侧移动，未被输送到预定的目标供给地，由此也产生了输送处理效率降低的问题。

本发明是着眼于上述这样的问题而完成的，主要目的在于，提供一种能够防止、抑制供给处理能力的降低的振动输送装置，不使用在空间上与振动输送路径分离的无振动输送路径，就能将在输送面上沿期望的方向输送的输送对象物等间距地供给到预定的目标供给地。

用于解决问题的方案

即，本发明涉及一种通过振动沿期望的输送方向对输送面上的输送对象物进行输送而供给到预定的目标供给地的振动输送装置。这里，本发明中的“输送面”只要是能对输送对象物进行输送的面即可，是包含水平或大致水平的面(水平面)或相对于水平以预定角度倾斜的面(倾斜面、铅垂面)的任一种面的概念。另外，作为输送对象物，例如能够举出电子零件等微小零件，但也可以是电子零件以外的物品。

并且，本发明的振动输送装置的特征在于，包括：输送路径，将该输送路径的输送面中的至少输送方向下游端部分或面对输送面的面中的至少输送方向下游端部分设定为由多孔质材料形成的多孔质面；以及吸引部，其自多孔质面中的预先设定的吸引对象面的预定方向经由多孔质材料吸引空气，并且将通过振动在吸引对象面上输送中的输送对象物吸引到吸引对象面侧，将由吸引部产生的吸引力设定为，使吸引到吸引对象面侧的输送对象物(在该吸引对象面上不停止且)以慢于在比吸引对象面靠上游的输送面输送中的输送对象物的输送速度被输送的吸引力。

本发明中的“多孔质面”可以是设定在输送面中的至少输送方向下游端部分的全部或一部分的面，也可以是设定在面对输送面的面中的至少输送方向下游端部分的全部或一部分的面。另外，本发明包含将“吸引对象面”设定为多孔质面的全部的结构以及将“吸引对象面”设定为多孔质面的一部分的结构的这两种结构。作为后者(在多孔质面的一部分设定有吸引对象面的结构)的一个例子，能够举出将多孔质面沿输送方向分隔为多个区域，将其中的1个或多个区域(可以是沿输送方向连续的区域，也可以是沿输送方向间断地设定的不连续的区域)设定为吸引对象面的结构。在本发明中，作为“多孔质面中的预先设定的吸引对象面的预定方向”的具体例子，若是在输送面设定有多孔质面的结构，则能够举出“吸引对象面的下方”，若是在面对输送面的面设定有多孔质面的结构，则能够举出“吸引对象面面对输送面的方向”。

采用上述这种振动输送装置，能够利用吸引部经由多孔质材料对吸引对象面上的输送对象物或吸引对象面所面对的输送面上的输送对象物进行吸引(在以下的说明中，将“吸引对象面上的输送对象物或吸引对象面所面对的输送面上的输送对象物”称为“被吸引输送对象物”)，使被强制地吸引到吸引对象面侧的被吸引输送对象物的移动速度慢于在比吸引对象面靠上游的输送面移动中的输送对象物的输送速度。结果，能在使在输送面的输送方向下游端部分减速后的多个被吸引输送对象物沿输送方向无间隙地排列的状态下输送该被吸引输送对象物，从而能将这些被吸引输送对象物自输送面的输送方向下游端等间距地排出到预定的目标供给地。

这样，采用本发明的振动输送装置，为了使多个输送对象物成为沿输送方向无间隙地排列的状态，不必进行对输送面的振动力进行微调的复杂的控制，而且能将振动的输送面本身设定为从输送方向上游端到输送方向下游端连续的面，因此能够消除当采用在与振动输送路径在空间上分离的无振动输送路径的输送面上进行输送的结构时产生的不良情况，即，输送对象物卡挂于输送面彼此的间隙而变为不稳定的姿势或者下落入间隙中的不良情况，从而发挥即使是微小尺寸的输送对象物，也能等间距地供给到预定的目标供给地的稳定的处理能力。

此外，在本发明的振动输送装置中，由于采用了使被吸引输送对象物在输送面上减速且不停止地进行移动的结构，因此利用输送面的振动，成为使移动中的输送对象物暂时自输送面悬浮而与输送面非接触的状态的时机以及成为与输送面接触的状态的时机能够交替地到来。因而，相比于输送对象物与不振动的输送面持续接触而只依赖于由后续的输送对象物产生的推压力来进行移动的结构，能够防止、抑制因输送对象物与输送面的持续接触而导致的输送面的磨损，从而能够实现输送对象物在平滑的输送面上的顺利的移动。

而且，采用本发明的振动输送装置，不必除振动输送路径之外设置另一种无振动输送路径，也不必考虑在不受到由对振动输送路径进行励振的励振源产生的影响的状况下以稳定的姿势支承无振动输送路径的条件，因此与除振动输送路径之外设有另一种无振动输送路径的结构相比，能使装置整体简化以及小型化。

若是输送对象物只在由后续的输送对象物产生的推压力的作用下移动的结构，则未接受由后续的输送对象物产生的推压力的作用的输送对象物不会进一步向输送方向下游侧移动而在无振动输送路径的输送面上停止，从而产生无法被输送到预定的目标供给地的问题，但采用本发明的振动输送装置，上述这样的问题均能被悉数解决。

在本发明中，作为输送路径，能够应用沿输送方向具有多个吸引对象面的结构。在该情况下，虽然也能将吸引部对各吸引对象面的吸引力设定为全都相同，但也能够将吸引部对相对靠输送方向下游侧的吸引对象面的吸引力设定为比吸引部对相对靠输送方向上游侧的吸引对象面的吸引力大。

在将吸引部对相对靠输送方向下游侧的吸引对象面的吸引力设定为比吸引部对相对靠输送方向上游侧的吸引对象面的吸引力大的情况下，随着接近输送方向下游端，作用于被吸引输送对象物的制动力增大，能使被吸引输送对象物的移动速度逐渐下降，避免伴有由紧急制动的作用引发的被吸引输送对象物彼此的较大的冲击的碰撞。

特别是，在输送路径包括具有输送面的输送路径主体以及相对于输送路径主体独立的引导部的情况下，能将引导部的一部分设定为多孔质面。作为一个例子，若引导部具有面对输送面的引导面并且沿引导面在输送方向上引导输送面上的输送对象物，则能够举出将引导面中的至少输送方向下游端部分的全部或一部分设定为多孔质面的结构。通过将多孔质面设定在面对输送面的引导面，而不是设定在输送面本身，不必进行对输送路径主体的大规模的加工，而且通过实施在与输送路径主体分别独立的引导部设置多孔质面的加工，能够实现与输送对象物的种类、所需的吸引力对应的各种各样的振动输送装置。

发明的效果

采用本发明，通过经由由多孔质材料形成的多孔质面朝向在输送面中的靠近输送方向下游端的部分移动中的输送对象物吸引空气，能使制动力作用于输送对象物而使输送对象物减速，不用在空间上分离的输送面上对在输送面上沿期望的方向输送的输送对象物进行输送，就能将输送对象物等间距地供给到预定的目标供给地，提高振动输送装置的输送处理能力。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的振动输送装置(线性送料器)的整体图。

图2是图1的主要部分放大图。

图3是图1的主要部分分解图。

图4是图2的另一主要部分放大图。

图5是图2所示的主要部分的俯视图。

图6是图4的a-a剖视图。

图7是表示以往的线性送料器的图。

图8是与图6对应地表示本发明中的输送面的一变形例的图。

附图标记说明

1、输送路径主体；11、输送面(线性输送面)；2、引导部；21、引导面；22、多孔质材料；23、多孔质面；4、吸引部；w、输送对象物；x、l、振动输送装置(线性送料器)。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的一实施方式。

如图1所示，本实施方式的振动输送装置x是向作为目标供给地的圆板台t(例如玻璃制圆板台)供给电子零件等输送对象物w(工件)的装置。在图1中表示的是将振动盘送料器b和线性送料器l组装后得到的零件送料器，上述振动盘送料器b通过振动在螺旋状的输送路径(振动盘输送路径b1)上输送自未图示的料斗装置供给的输送对象物w，上述线性送料器l具有与振动盘输送路径b1的终止端连续的直线状的输送路径(线性输送路径l1)。并且，线性送料器l相当于本实施方式的振动输送装置x。

振动盘送料器b包括：俯视呈大致圆形的贮存部b2，其形成在底面；以及振动盘输送路径b1(也称为螺旋路径)，其将贮存部b2的周缘部的预定部分作为起始端沿内周壁形成为上升倾斜的螺旋状。

贮存部b2具有中心侧被设定为比径向外侧高的作为朝上的面的载置面，贮存部b2使载置面上的输送对象物w向径向外侧移动。在载置面上向径向外侧移动后的输送对象物w到达振动盘输送路径b1的起始端，直接通过振动盘输送路径b1的起始端而沿振动盘输送路径b1移动。

振动盘输送路径b1的起始端与贮存部b2连续，将振动盘输送路径b1的作为朝上的面的振动盘输送面设定为例如朝向径向外侧地向下方倾斜的平坦的面。并且，利用输送对象物w因振动而接受的输送力中的朝向径向外侧的力以及振动盘输送面的倾斜，在使输送对象物w与内周壁接触的状态下，朝向输送方向下游侧(振动盘输送路径b1的终止端侧)对输送对象物w进行输送。构成为，在这样的振动盘输送路径b1的预定部位设置码齐部件(省略图示)，利用码齐部件只将预定姿势的输送对象物w输送到输送方向下游侧，使不是预定姿势的输送对象物w向贮存部b2返回(下落)。利用振动盘送料器b输送至振动盘输送路径b1的终止端的处于码齐状态的输送对象物w移动到与振动盘输送路径b1的终止端连续的线性输送路径l1(也称为直线路径)的起始端，由线性送料器l输送至线性输送路径l1的终止端(前端)。

如图1～图5(图2是主要部分放大图，图3是图2所示的线性送料器l的主要部分分解图，图4是图2所示的线性送料器l的主要部分俯视图，图5是表示图2的另一主要部分的放大图，图6是图4的a-a剖视图)所示，本实施方式的线性送料器l是如下装置：使输送对象物w在振动的线性输送路径l1上沿输送方向f移动而自线性输送路径l1的前端(输送方向f下游端)依次排出，并供给到预定的目标供给地(圆板台t)。

如图2和图3等所示，线性输送路径l1包括：输送路径主体1(滑道基台)，其具有呈一直线状延伸的线性输送面11(相当于本发明的“输送面”)；引导部2，其具有面对线性输送面11的引导面21；以及盖部3，其从上方覆盖线性输送面11。

输送路径主体1自输送方向f上游侧(与振动盘输送路径b1的终止端连结的那一侧)朝向输送方向f下游侧(线性输送路径l1的前端侧)输送在适当的励振部件的作用下进行往复振动的线性输送面11上的输送对象物w。在输送路径主体1设有使输送姿势不是正常的姿势的输送对象物w返回到振动盘送料器b的返回输送路径12(参照图1)。并且，在本实施方式中，遍布长条的输送路径主体1的全长地形成线性输送面11，在输送路径主体1的从输送方向f中间附近到下游端的区域安装引导部2和盖部3。

如图6所示，本实施方式中的线性输送路径l1包括作为平坦的水平面的线性输送面11和自线性输送面11的一侧端侧面向线性输送面11的立起面13。由此，在使一侧端面与立起面13靠近的状态下向输送方向f下游侧输送线性输送面11上的输送对象物w。

如图6所示，引导部2具有面对线性输送面11且与立起面13相对的引导面21。在俯视观察下，引导面21的终止端(前端)位于与线性输送面11的终止端(前端)相同的位置。并且，如图4和图5所示，将本实施方式的线性送料器l的引导面21中的输送方向f下游端部分(输送方向f下游端及其附近区域的部分)设定为由多孔质材料22形成的多孔质面23。

通过将例如由无机物质材料的粉粒体形成的骨料与连结骨料彼此的结合材料(粘合剂)的混合物烧结而形成本实施方式中的多孔质材料22。作为由无机物质材料的粉粒体形成的骨料的较佳的例子，能够举出氧化铝、碳化硅，作为结合材料的较佳的例子，能够举出陶瓷结合剂、树脂结合剂、水泥、橡胶以及玻璃等。通过将骨料与结合材料的混合材料投入成型模具进行烧结，能将这种陶瓷制的多孔质材料22形成为与模具对应的成形品。多孔质材料22利用烧结工序在内部形成无数个微小气孔，在多孔质材料22的表面形成开口的微小气孔与内部的微小气孔相连而形成空气流路。与进行机械加工的情况相比，微小气孔的内径明显较小，并且遍布多孔质材料22的整个表面形成许多个。另外，本发明中的骨料、结合材料的种类不限定于上述的材料，能够应用适当地选择的材料。在本实施方式中，使用适当的模具等形成用于构成引导部2的一部分的块状的多孔质材料22。在以下的说明中，将由多孔质材料22形成的块体称为“多孔质块体2a”。

如上所述，多孔质块体2a在内部形成有无数个微小气孔，并且具有因在表面形成开口的微小气孔与内部的微小气孔相连而形成的空气流路。即，多孔质块体2a具有能供流体流通(通过)的内部，且在整个表面无遗漏地暴露有许多个孔。另外，各孔(微小气孔)为不会使输送对象物w下落入该孔的微小尺寸，例如，输送对象物w的大小为0603尺寸(0.6mm×0.3mm的尺寸)，相对于此，各孔(微小气孔)的孔径为60μm程度的大小。

在本实施方式中，在引导部2的预定部分，具体而言在前端部分形成有能供多孔质块体2a安置的凹部24，在将多孔质块体2a安置于该凹部24的状态下，使引导部2中的面对线性输送面11的引导面21与多孔质块体2a中的面对线性输送面11的多孔质面23沿输送方向f无间隙地连续，从而设定为使引导面21与多孔质面23共同形成没有凹凸的平坦的面(参照图5)。在本实施方式中，将多孔质面23的整体或大致整体设定为吸引对象面。因而，涉及本实施方式的以下的说明中的“多孔质面23”是指与“吸引对象面”相同的区域。另外，在本实施方式中，在引导部2的凹部24中的优先与多孔质块体2a接触的面(在图5中是标注了预定的图案的面)上涂敷粘接剂而将多孔质块体2a固定于凹部24，但将多孔质块体2a固定于引导部2的手段不限定于此，也能使用螺栓等适当的固定用具进行固定。

另外，在以下的说明中，将线性输送面11上的输送对象物w的输送方向f下游端侧设为“前侧”，将输送方向f上游端侧设为“后侧”，将俯视观察下与输送对象物w的输送方向f正交的方向设为宽度方向(左右方向)，将在宽度方向上进行比较的2个面中的距离线性输送面11的宽度方向中心相对较近的面设为“内侧面”，将距离线性输送面11的宽度方向中心相对较远的面设为“外侧面”。

如图4所示，在将多孔质块体2a安置于引导部2的凹部24的状态下，只将与引导面21连续的内侧面2aa和作为内侧面2aa的相反侧的面的外侧面2ab设定为具有通气性的通气面，将除此之外的面，即，朝上的面2ac、底面2ad、前表面2ae以及后表面2af设定为封闭面。作为设定为封闭面的具体的处理，能够举出在设为对象的面上涂敷粘接剂的掩模处理、在使不具有通气性的板与设为对象的面紧密接触的状态下进行固定的处理等。在本实施方式中，应用掩模处理。

本实施方式的线性送料器l在将多孔质块体2a安置于引导部2的凹部24的状态下，在凹部24与多孔质块体2a的外侧面2ab之间形成有预定尺寸的间隙，将该间隙设定为作为空气室2s发挥功能。另外，本实施方式的线性送料器l具有吸引部4，该吸引部4通过吸引空气室2s的空气，经由多孔质材料22使多孔质面23所面对的线性输送面11上的空间成为负压。

这里，引导部2由不具有通气性的原料(例如不锈钢、金属制或塑料制等)形成，如图3和图5所示，具有在凹部24形成开口的空气室2s(换言之是在内侧形成开口的空气室2s)、面对空气室2s的空心部25以及与空心部25连通且能供构成吸引部4的空气接头41的一端插入的插入口26。在本实施方式中，利用沿宽度方向延伸的空心部25和沿高度方向延伸的插入口26形成空气吸引口27。

吸引部4包括吸引源(省略图示)、一端安装于空气吸引口27的空气接头41以及适当地配置在空气接头41与吸引源之间的配管42(参照图4)。另外，也能应用还包括接通/断开控制阀等的吸引部4。

在本实施方式中，利用螺栓n将安装有多孔质块体2a的引导部2固定于输送路径主体1。另外，使吸引部4与空气吸引口27连接的时机可以是进行将引导部2固定于输送路径主体1的处理前的时机或该处理后的时机的任一时机。

盖部3具有盖面31，在利用螺栓n将盖部3固定于输送路径主体1的状态下，该盖面31从上方覆盖线性输送面11(参照图6)。在本实施方式中，将从线性输送面11到盖面31的高度尺寸(分开尺寸)设定为不使线性输送面11上的输送对象物w与盖面31接触的尺寸。另外，在本实施方式中使用的盖部3构成为能够根据输送对象物w的尺寸改变从线性输送面11到盖面31的高度尺寸。盖部3的盖面31作为限制线性输送面11上的输送对象物w向上方跳跃而脱离线性输送面11的按压面发挥功能。在俯视观察下，盖面31的终止端(前端)位于与线性输送面11的终止端(前端)相同的位置。另外，在图4中，为了能够把握输送对象物w的输送状态，省略了盖部3中的含有盖面31的预定部分。在本实施方式中，在输送路径主体1的左右宽度方向的一侧配置引导部2，在另一侧配置盖部3。

说明以上这样的结构的线性送料器l的使用方法和作用。

在使用本实施方式的线性送料器l的情况下，利用适当的操作使输送路径主体1沿输送方向f往复振动，在进一步使由吸引部4获得的空气吸引状态为开启时，本实施方式的线性送料器l自空气吸引源经由空气接头41对引导部2的空气室2s的内部进行吸引。结果，在线性输送面11中的输送方向f下游端附近且多孔质面23所面对的区域产生向作为与引导面21连续的多孔质面23(通气面)的多孔质块体2a的内侧面2aa侧进行吸引的空气的气流。这基于：多孔质块体2a中的面对空气室2s的外侧面2ab以及面对输送面的内侧面2aa均为通气面(保持多孔质面23不变)，以及空气能在多孔质块体2a的内部通过。

另外，由于只将多孔质块体2a中的面对空气室2s的外侧面2ab以及面对输送面的内侧面2aa设定为具有通气性的通气面，将除此之外的面，即，朝上的面2ac、底面2ad、前表面2ae以及后表面2af设定为封闭面，因此与将也包含朝上的面2ac、底面2ad、前表面2ae以及后表面2af在内的所有的面设定为通气面的形态相比，线性输送面11中的输送方向f下游端附近且多孔质面23所面对的区域对输送中的输送对象物w的吸引效率增大。

采用以上这样的结构，在本实施方式的线性送料器l中，能使线性输送面11中的输送方向f下游端附近且多孔质面23所面对的区域la产生向多孔质面23侧进行吸引的气流，从而能使在线性输送面11上朝向输送方向f下游端移动的输送对象物w中的到达了该吸引气流产生区域la的输送对象物w的输送速度慢于在线性输送面11中的比吸引气流产生区域la靠上游侧的区域移动的输送对象物w的输送速度。

这里，关于对输送对象物w的吸引力，能够利用未图示的控制部控制吸引部4的工作，在本实施方式中，利用控制部将吸引部4控制为产生如下的吸引力，即，在满足不使输送对象物w吸附于多孔质面23、也就是不使输送对象物w在线性输送面11上停止的条件以及不使制动力作用于输送对象物w的条件的范围内适当调整、设定的吸引力。

本实施方式的线性送料器l通过利用吸引部4产生满足上述这样的条件的吸引力，能使到达了线性输送面11中的输送方向f下游端附近且多孔质面23所面对的区域(吸引气流产生区域la)的被吸引输送对象物w的输送速度减速，并且能够利用线性输送面11的振动朝向输送方向f下游端输送被吸引输送对象物w。结果，采用本实施方式的线性送料器l，如图4所示，能使在线性输送面11中的吸引气流产生区域la通过的被吸引输送对象物w减速，并且能在被吸引输送对象物w沿输送方向f无间隙地紧密排列了的状态下输送该被吸引输送对象物w，从而能将这些被吸引输送对象物w自线性输送面11的输送方向f下游端向作为预定的目标供给地的圆板台t等间距地排出。另外，沿着输送方向f的吸引气流产生区域la的长度能够适当地调整、选择，在本实施方式中，如图4所示，设定为供18个至20个左右的被吸引输送对象物w沿输送方向f无间隙地排列的长度。

因而，通过使用本实施方式的线性送料器l，能将自线性输送面11的前端(输送方向f下游端)等间距地排出的输送对象物w等间隔地排列在定速旋转的圆板台t上，从而能够恰当地在圆板台t上对输送对象物w进行外观检查等检查、处理。能够根据圆板台t的转速，调整在圆板台t上等间距地排列的输送对象物w彼此的间隔。

这样，采用本实施方式的线性送料器l，不必进行为了使多个输送对象物w成为沿输送方向f无间隙地排列的状态而对线性输送面11的振动力进行微调的复杂的控制，而且能将振动的线性输送面11本身设定为从输送方向f上游端到输送方向f下游端连续的面，因此能够消除在采用图7所示的那样的以往的结构，也就是使振动的输送路径y的振动输送面与不振动的输送路径z的无振动输送面z1在空间上分离，并使振动输送面上的输送对象物w向无振动输送面z1移动而自无振动输送面z1的下游端排出的结构时产生的不良情况，即，输送对象物卡挂于振动输送面与无振动输送面z1的间隙而变为不稳定的姿势或下落入间隙中的不良情况，发挥即使是微小尺寸的输送对象物、也能等间距地供给到预定的目标供给地的稳定的处理能力。

此外，采用本实施方式的线性送料器l，由于在使被吸引输送对象物w减速但不停止的状态下利用线性输送面11的振动使被吸引输送对象物w朝向输送方向f下游端移动，因此减速中的输送对象物w交替地反复处于暂时自线性输送面11悬浮而不与线性输送面11接触的状态以及与线性输送面11接触的状态，并且移动。因而，与图7所示的那样的使输送对象物w与无振动输送面z1持续接触而只利用由后续的输送对象物w产生的推压力使输送对象物w移动的结构相比，能够防止、抑制因输送对象物w与无振动输送面z1的持续接触而导致的线性输送面11的磨损，从而能够实现被吸引输送对象物w在线性输送面11上的顺利的移动。

而且，采用本实施方式的线性送料器l，不必除具有图7所示的那样的振动输送面的振动输送路径y之外设置另一种具有无振动输送面z1的无振动输送路径z，也不必考虑在不受到由对振动输送路径y进行励振的励振源产生的影响的状况下以稳定的姿势支承无振动输送路径z的条件，因此与图7所示的结构相比，能使装置整体简化以及小型化。

另外，采用图7所示的那样的在无振动输送面z1上使输送对象物w只利用由后续的输送对象物w产生的推压力进行移动的结构，未接受由后续的输送对象物w产生的推压力的作用的输送对象物w不会进一步向输送方向f下游侧移动而在无振动输送面z1上停止，从而产生无法被输送到预定的目标供给地的问题，但采用本实施方式的线性送料器l，也能解决这种问题。

另外，在本实施方式的线性送料器l中，作为输送路径l1，应用了包括输送路径主体1和引导部2的结构，上述输送路径主体1具有线性输送面11，上述引导部2具有面对线性输送面11的引导面21，并且沿引导面21在输送方向f上引导线性输送面11上的输送对象物w，将引导面21的输送方向f下游端部分设定为多孔质面23，因此不必进行在线性输送面11设置多孔质面23的加工，能够使用现有的线性输送路径l1，并且能使制动力可靠地作用于沿引导面21向输送方向f下游侧输送的输送对象物w中的到达了输送方向f下游端部分的输送对象物w，消除输送对象物w彼此的间隙，能向作为下一工序的圆板台t等间隔地供给输送对象物w。

另外，本发明并不限定于上述的各实施方式。例如在上述的本实施方式中，例示了将作为面对输送面的面的引导面中的输送方向下游端部分设定为由多孔质材料形成的多孔质面的形态，但本发明也包含如下结构，即，将除引导面之外的面且是面对输送面的面中的输送方向下游端部分设定为由多孔质材料形成的多孔质面的结构。

此外，在本发明中，也能采用将输送面中的输送方向下游端部分设定为多孔质面的结构。作为一个例子，无论是否设置引导部、盖部，都能在输送路径面的至少输送方向下游端部分直接配置多孔质材料，从而利用由多孔质材料形成的多孔质面(吸引对象面)形成输送面的一部分。在该情况下，吸引部发挥如下功能，即，自多孔质面中的预先设定的吸引对象面的下方经由多孔质材料吸引空气，并且将通过振动在吸引对象面上输送中的输送对象吸引到作为吸引对象面的输送面侧的功能，将由吸引部产生的吸引力设定为以慢于在输送面中的比吸引对象面靠上游的区域输送中的输送对象物的输送速度对吸引到作为吸引对象面的输送面侧的输送对象物进行输送的吸引力即可。由此，使制动力作用于到达了吸引对象面的输送对象物，这样的输送对象物在吸引对象面上减速并且不停止地朝向输送方向下游端输送。因而，采用这种结构，由于一部分设有多孔质面的振动的输送面本身包含多孔质面在内是从输送方向上游端到输送方向下游端连续的面，因此也能消除在采用图7所示的以往的结构时产生的不良情况。

另外，在利用多孔质材料将输送面中的输送方向下游端部分设定为多孔质面的结构的情况下，通过在多孔质材料的下方设置与多孔质材料之间形成空气室的空间部，吸引空气室的空气，从而能够形成向多孔质面侧吸引多孔质面上的输送对象物的气流。

另外，在本发明中，代替上述的实施方式所示的那样的将多孔质面的整体或大致整体设定为吸引对象面的结构，能够应用只将多孔质面的一部分设定为吸引对象面的结构，或在多孔质面设定有沿输送方向相互分隔的多个吸引对象面的结构。

特别是，在本发明中，在应用了设定有沿输送方向相互分隔的多个吸引对象面的结构的情况下，虽然也能将吸引部对各吸引对象面的吸引力设定为全都相同，但也能将吸引部对相对靠输送方向下游侧的吸引对象面的吸引力设定为比吸引部对相对靠输送方向上游侧的吸引对象面的吸引力大。采用后者的结构，随着接近输送方向下游端，作用于被吸引输送对象物的制动力增大，能使被吸引输送对象物的移动速度逐渐下降，避免伴有由紧急制动的作用引发的被吸引输送对象物彼此的较大的冲击的碰撞。另外，沿输送方向相互分隔的吸引对象面的数量不限定于2个，也可以为3个以上。

在采用设定有沿输送方向相互分隔的多个吸引对象面的结构的情况下，通过将由单一的多孔质材料形成的多孔质面分设在通气面的区域和封闭面的区域，能使所有的吸引对象面由共用的多孔质材料形成。另一方面，通过在含有输送面或面对输送面的面的输送方向下游端部分的预定区域沿输送方向以预定间隔设置分别各不相同的多孔质材料，并在吸引对象面设定各多孔质材料的多孔质面，也能使设定有沿输送方向相互分隔的多个吸引对象面的结构得到实现。

在本发明中，在应用了设定有沿输送方向相互分隔的多个吸引对象面的结构的情况下，能够适当地选择将吸引对象面的数量和吸引部的数量设定为相同的形态(使每个吸引对象面关联单独的吸引部进行工作的形态)或使吸引面的数量与吸引部的数量不同的形态(例如使所有的吸引对象面关联共用(单一)的吸引部进行工作的形态)的任一种形态。

也可以是，将输送面中的至少输送方向下游端部和面对输送面的面中的至少输送方向下游端部这两者均设定为由多孔质材料形成的多孔质面。

在本发明中，也能应用输送面的截面形状形成为弯曲状或压曲状(例如u字形、v字形或w字形等)的槽状的输送路径。即使在该情况下，也是将输送面中的至少输送方向下游端部分或面对输送面的面中的至少输送方向下游端部分设定为由多孔质材料形成的多孔质面即可。

也能应用将所有的面设定为通气面的多孔质材料。在该情况下，不必进行用于形成为封闭面的掩模处理等。

本发明中的吸引部也可以是，通过对设定在输送路径的预定区域的空气室的空气进行吸引，来形成将空气室所面对的多孔质材料的多孔质面上的输送对象物吸引到多孔质面侧的气流、即使是在输送路径的预定区域未设定空气室的结构也通过直接地吸引多孔质材料来形成将输送对象物吸引到多孔质材料侧的气流。

在执行对输送对象物进行输送的处理的期间，吸引部的吸引力可以始终恒定，也可以利用吸引力调整部件在适当的时机改变该吸引力。

本发明的振动输送装置不限定于具有线性输送路径的线性送料器，也能应用在具有振动盘输送路径的振动盘送料器、其他的振动输送装置、例如沿彼此不同的3个方向独立地三维振动的振动输送装置以及利用了超声波振动的超声波输送装置等中。

另外，在本发明中，也可以代替形成为块状、板状的多孔质材料或在该多孔质材料的基础上，利用例如形成为片状的多孔质材料构成多孔质面。

在本发明中，也能代替水平或大致水平的“输送面”地应用例如图8所示的那样的设定为倾斜面的输送面11、13。另外，图8是与图6对应地表示具有设定为倾斜面的输送面11、13的振动输送装置的主要部分截面的示意图。

另外，输送对象物可以是电子零件或食品等电子零件以外的物品。

其他各部分的具体结构也不限定于所述实施方式，能在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形。