一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机的制作方法

文档序号:17281792发布日期:2019-04-03 01:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:包括

横向设置的载具输送机构;

至少一载具,用于装载硅片,设置在载具输送机构两端的上方,并与载具输送机构驱动连接,以实现在载具输送机构的驱动下沿横向方向往复移动;

升降机构,设置在输送装置的下方,并能驱动载具内的硅片沿竖直方向升降,以实现载具内最顶端的硅片保持在固定的水平面上;

风刀机构,设置在载具输送机构的上方,能发出规律的气流,以实现将位于最顶端的硅片吹起,与底下的硅片分离;

硅片搬运机构,纵向设置在输送机构的上方,位于风刀机构的旁侧,以实现将载具内最顶端的硅片沿纵向方向运送;

上料输送机构,设置在输送装置的后侧,用于将硅片搬运机构中沿横向方向输送,流入下一个工位处;

横向传输机构,横向并排设有若干个,用于接收从上料输送机构处流出的硅片,并将硅片横向排列好;

第一称重单元,设置在上料输送机构和横向传输机构之间,用于检测硅片进入横向传输机构前的重量;

称重机械手,设有伯努利吸盘,用于将在上料输送机构中和第一称重单元之间传递硅片;

纵向传输机构,对应设置在横向传输机构的后侧,用于将横向传输机构上的硅片往纵向方向输送;

第二称重单元,设置在纵向传输机构的后侧,用于称量从纵向传输机构流入的硅片的重量。

2.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述载具包括载物框架,载物框架通过滑轨副与载物输送机构滑动连接,载物框架的底板处设有一通孔,载物框架的底板上方设有硅片托板,升降机构的输出端穿过通孔与硅片托板接触。

3.根据权利要求2所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述升降机构包括升降底板、硅片顶杆、升降丝杠、升降滑块和升降伺服电机,升降底板固定连接所述载具输送机构的下方,升降滑块固通过滑轨副与升降底板滑动连接,硅片顶杆的一端与升降滑块固定连接,另一端穿过通孔与所述硅片托板接触,升降丝杠竖直设置在升降底板上,并与升降滑块驱动连接,升降伺服电机的动力输出端与升降丝杠驱动连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述硅片顶杆与硅片托板的一端设有第一感应器,用于检测所述载具中是否有硅片,若载具中无硅片存在;风刀机构上设有第二感应器,用于检测最顶端的硅片是否到位。

5.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述硅片搬运机构包括龙门架、搬运滑块、下压气缸、吸盘安装架、伯努利吸盘和搬运伺服电机,龙门架沿纵向方向设置,并跨越过所述输送机构和所述上料输送机构,搬运滑块通过滑轨副与龙门架滑动连接,搬运伺服电机与搬运滑块驱动连接,下压气缸竖直向下安装于搬运滑块,吸盘安装架安装于下压气缸的动力输出端,伯努利吸盘安装于吸盘安装架,当下压气缸驱动吸盘安装架竖直向下运动时,伯努利吸盘将所述载具内最顶端的硅胶片吸附住。

6.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述上料输送机构的上方设有硅片检测机构,当硅片在上料输送机构的带动下经过硅片检测机构时,检测硅片是否存在缺角或叠片的不良情况。

7.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述横向传输机构包括滚轮安装架,滚轮安装架上具有前后对称且横向设置的横向运输滚轮,横向运输滚轮的表面绕设有同步带,运输滚轮的下方设有与之驱动连接的滚轮驱动电机,滚轮安装架的底部设有与之驱动连接的底部顶升机构,以实现滚轮安装架整体上升或下降;前后对称且横向设置的横向运输滚轮之间设有纵向设置的运输滚轮,由独立的驱动电机与之驱动连接,当底部顶升机构将滚轮安装架往上顶起时,横向输送装置位于纵向设置的运输滚轮水平面以上,并将硅片沿横向方向排列输送,当底部顶升机构将滚轮安装架往下降落时,横向输送装置位于纵向设置的运输滚轮水平面以下,纵向设置的运输滚轮接住硅片,并将硅片沿纵向方向运送往所述纵向传输机构处。

8.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述纵向传输机构包括从前往后依次设置的第一段纵向传输机构和第二段纵向传输机构。

9.根据权利要求1-8任一所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述载具输送机构包括输送底板,输送底板的下方设有输送气缸,输送底板的表面设有滑轨副,滑轨副上设有输送移动板,输送气缸的动力输出端与输送移动板驱动连接,载具设置在输送移动板上。

10.根据权利要求1所述的一种具有重量检测功能的硅片自动堆叠式上料机,其特征在于:所述第一称重单元和第二称重单元的表面均设有升降罩,当需要称量硅片重量时,升降罩自动盖合。

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