一种两用晶圆放置箱的制作方法

本实用新型涉及芯片生产技术领域，特别是一种两用晶圆放置箱。

背景技术：

单晶硅圆片由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅，多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸、14英寸、20英寸以上等。晶圆越大，同于圆片上可生产的集成电路就越多，可降低成本，但对材料技术盒生产技术的要求更高。

由于晶圆在制作完成后，是属于易碎物品，将晶圆移到下一个制程，需要将晶圆装进晶圆放置箱中，以避免晶圆在搬运过程中造成损伤，使晶圆无法进行下一个制程，常用的晶圆尺英寸有6英寸和8英寸。现有的装置，分别设置有6英寸和8英寸存放箱，这样能够满足6英寸和8英寸晶圆产品的存放，但是还存在以下问题：

每种箱体只能存放一种晶圆产品，而且此装置占地面积大，在设备需要6英寸与8英寸框架转换时也非常费时费力。

技术实现要素：

本实用新型的发明目的在于：针对现有技术存在装置每种箱体只能存放一种晶圆产品，而且此装置占地面积大，在设备需要6英寸与8英寸箱体转换时也非常费时费力的问题，提供一种两用晶圆放置箱，该晶圆放置箱设置横槽与竖槽，实现了八英寸和六英寸之间的快速转换，八英寸框架和六英寸框架的一体化设置，使装置更加简洁。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种两用晶圆放置箱，包括左侧板、右侧板、底板和顶板，所述左侧板、右侧板、底板和顶板合围形成矩形结构，在左侧板和右侧板上对应开设若干横槽，分别为左横槽与右横槽，所述左横槽与右横槽之间的距离与八英寸晶圆匹配，在底板和顶板上对应开设有若干竖槽，分别为上竖槽与下竖槽，所述上竖槽与下竖槽之间的距离与六英寸晶圆匹配。

该两用晶圆放置箱，通过设置横槽与竖槽实现了八英寸晶圆与六英寸晶圆存放的两用功能，可在八英寸和六英寸之间快速转换，设置若干横槽与竖槽使得该两用晶圆放置箱可以较多的存放晶圆，既节约了成本，又增加了工作效率，八英寸与六英寸框架一体化设置使装置变得更加简洁。

作为本实用新型的优选方案，所述左侧板分别与底板和顶板可拆卸连接，所述右侧板分别与底板和顶板可拆卸连接，所述底板和顶板分别设有螺纹孔，所述左侧板和右侧板分别设有对应的连接孔。采用螺纹连接将左侧板、右侧板、底板和底板连接在一起，形成存放晶圆的盒体，螺纹连接使装置稳定性高。

作为本实用新型的优选方案，所述横槽与竖槽内分别设有防止晶圆掉落的横卡槽和竖卡槽。设置横卡槽和竖卡槽防止设备振动时晶圆掉落。

作为本使用新型的优选方案，所述横卡槽开设在横槽靠近所述底板一侧中心位置。根据重力作用选择横卡槽位置在靠底板一侧，避免设备振动时晶圆掉落；在横槽中心位置设置横卡槽，放置晶圆后装置重心保持在中心位置，使用时更加稳定，保证晶圆不受损伤。

作为本实用新型的优选方案，所述竖卡槽开设在竖槽底部中心位置。根据重力作用悬着竖卡槽位置在竖槽底部，避免设备振动时晶圆掉落；在竖槽中心位置设置竖卡槽，放置晶圆后装置重心保持在中心位置，使用时更加稳定，保证晶圆不受损伤。

作为本实用新型的优选方案，所述右侧板外壁设有文件盒。设置文件盒用于放置随工单，使环境更加整洁，文件与产品放置在一起方便随时查看产品信息。

作为本实用新型的优选方案，所述顶板顶面上连有把手。设置把手方便提放。

作为本实用新型的优选方案，所述两用晶圆放置箱还设有挡板，所述挡板设置在矩形开口一端。在矩形一端设置挡板减小晶圆掉落损坏的几率。

作为本实用新型的优选方案，所述挡板为铁皮制成。采用铁皮制造挡板节省成本。

作为本实用新型的优选方案，所述两用晶圆放置还设有限位挡门，所述限位挡门设置在矩形开口另一端，包括左门框、右门框和合页，所述左门框、右门框通过合页分别与所述左侧板和右侧板铰接，所述左门框上设有卡钩，所述右门框上设有门栓，所述门栓与右门框铰接。设置门减小晶圆掉落的几率，有利于晶圆产品的存放和转运。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、实现了八英寸和六英寸之间的快速转换，八英寸框架和六英寸框架的一体化设置，既使装置更加简洁，又节约了成本；

2、在横槽和竖槽中心位置设置横卡槽和竖卡槽，防止设备振动时晶圆掉落，保证晶圆在存放和运送过程中不受损伤；

3、晶圆箱设文件盒，使产品与文件一一对应，方便查看；

4、晶圆箱设置把手、挡板、门便于晶圆产品的拿放、转运，减小晶圆损伤的几率。

附图说明

图1是本实用新型两用晶圆放置箱的结构示意图。

图2为图1中左侧板的结构示意图。

图3为图1中底板的结构示意图。

图4为图3中竖卡槽的放大图。

图中标记：1-左侧板，101-横槽，102-横卡槽，2-右侧板，3-底板，301-竖槽，302-竖卡槽，4-顶板，5-晶圆，6-文件盒，7-把手。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1、2、3和4所示，本实施例两用晶圆放置箱，包括左侧板1、右侧板2、底板3和顶板4，所述左侧板1、右侧板2、底板3和顶板4合围形成矩形结构，在左侧板1和右侧板2上对应开设六个横槽101，分别为左横槽与右横槽，所述左横槽与右横槽之间的距离与八英寸晶圆匹配，在底板3和顶板4上对应开设有八个竖槽301，分别为上竖槽与下竖槽，所述上竖槽与下竖槽之间的距离与六英寸晶圆匹配。

具体的，所述左侧板1分别与底板3和顶板4可拆卸连接，所述右侧板2分别与底板3和顶板4可拆卸连接，所述底板3和顶板4分别设有螺纹孔，所述左侧板1和右侧板2分别设有对应的连接孔。采用螺纹连接将左侧板、右侧板、底板和底板连接在一起，形成存放晶圆的盒体，螺纹连接使装置稳定性高。

综上所述，该两用晶圆放置箱，通过设置横槽与竖槽实现了八英寸晶圆与六英寸晶圆存放的两用功能，可在八英寸和六英寸之间快速转换，多槽设置使得该两用晶圆放置箱可以较多的存放晶圆，既节约了成本，又增加了工作效率，八英寸与六英寸框架一体化设置使装置变得更加简洁。

实施例2

根据实施例1所述的两用晶圆放置箱，所述横槽101与竖槽301内分别设有防止晶圆掉落的横卡槽102和竖卡槽302，所述横卡槽102开设在横槽101靠近所述底板3一侧中心位置，所述竖卡槽302开设在竖槽301底部中心位置。在横槽和竖槽设置横卡槽和竖卡槽，防止设备振动时晶圆掉落，设置在中心位置，放置晶圆后装置重心保持在中心位置，使用时更加稳定，保证晶圆不受损伤。

实施例3

根据实施例1或2任一所述的两用晶圆放置箱，所述右侧板3外壁设有文件盒6，顶板顶面上连有把手7，该两用晶圆放置箱还设有挡板，挡板设置在矩形开口一端，所述两用晶圆放置还设有限位挡门，所述限位挡门设置在矩形开口另一端，包括左门框、右门框和合页，所述左门框、右门框通过合页分别与所述左侧板和右侧板铰接，所述左门框上设有卡钩，所述右门框上设有门栓，所述门栓与右门框铰接。设置把手、挡板、门，有利于晶圆产品的存放和转运，减小晶圆掉落的几率，避免不必要的损伤。

实施例4

根据实施例3所述的两用晶圆放置箱，所述挡板为铁皮制成。采用铁皮制造挡板节省成本。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。