一种半导体薄片材料的高速高精送料机构的制作方法

本实用新型涉及半导体自动化设备技术领域，更具体地说，是涉及一种半导体薄片材料的高速高精送料机构。

背景技术：

半导体产业对于国家的信息技术发展具有重要的战略意义,其中,半导体设备业是整个产业的核心。随着技术的发展，半导体器件的尺寸越来越小，厚度也越来越薄，导致生产半导体器件的原材料基板也越来越薄。作为半导体设备重要的附属机构-送料机构，其送料精度、送料速度等，都直接影响半导体设备运行的稳定性和效率。

现有的送料机构在针对不同的基板时需要配套不同的机型，通用性强，且在送料时对基板的平面度不能很好的进行控制，容易导致点胶固晶时的产品累计误差变大。同时，对不同宽度的基板不能很好的进行调节。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种可快速夹料送料、定位精准、可适应不同尺寸的基板、通用性强、生产效率高的半导体薄片材料的高速高精送料机构。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种半导体薄片材料的高速高精送料机构，包括基座、第一基板滑道、第二基板滑道、Y轴横移平台、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴横移驱动装置、X轴导轨、X轴滑块、若干个电磁式夹爪和至少一个X轴横移驱动装置，所述Y轴横移平台的底部通过Y轴滑块与装设在基座顶部的Y轴导轨滑动连接，所述第一基板滑道装设在基座的顶部，所述第二基板滑道装设在Y轴横移平台的侧边，所述第一基板滑道和第二基板滑道沿X轴方向设置并互相平行，所述Y轴横移驱动装置与Y轴横移平台传动连接，并能够带动Y轴横移平台沿Y轴方向横向移动，所述电磁式夹爪的底部通过X轴滑块与装设在Y轴横移平台顶部的X轴导轨滑动连接，每个X轴横移驱动装置分别与各自对应的电磁式夹爪传动连接，并能够带动各自对应的电磁式夹爪独立沿X轴方向横向移动，或者所述X轴横移驱动装置与所有电磁式夹爪同步传动连接，并能够带动所有电磁式夹爪同步沿X轴方向横向移动，所述第二基板滑道穿过所有电磁式夹爪的夹料部位。

作为优选的，所述Y轴横移驱动装置包括Y轴电机，所述Y轴电机的输出轴通过Y轴丝杆与装设在Y轴横移平台底部的Y轴丝杆螺母座传动连接。

作为优选的，所述X轴横移驱动装置包括X轴电机，所述X轴电机的输出轴通过X轴丝杆与设有螺纹孔或者X轴丝杆螺母座的电磁式夹爪传动连接。

作为优选的，所述电磁式夹爪包括夹爪底座、夹爪夹板、限位螺钉、电磁铁和弹簧，所述电磁铁装设在夹爪底座的顶部一端，所述夹爪夹板的一端通过限位螺钉与夹爪底座相连接，所述夹爪夹板位于电磁铁的上方并能够相对于夹爪底座上下移动，所述弹簧位于夹爪底座与夹爪夹板之间，所述夹爪底座的夹料一端设有底座夹料头，所述夹爪夹板的夹料一端设有夹板夹料头。

作为优选的，所述夹爪底座的夹料一端设有供第二基板滑道穿过的滑道活动槽，所述滑道活动槽位于底座夹料头的内侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型的Y轴横移驱动装置能够驱动Y轴横移平台带动安装在其上的第二基板滑道在Y轴方向上移动，自动调节第一基板滑道与第二基板滑道之间的距离以适应不同尺寸的基板，通用性强，电磁式夹爪采用电磁夹紧，具有超快的响应速度以实现快速夹紧，同时X轴横移驱动装置可实现X轴的快速送料及精准定位，本实用新型在针对不同尺寸的基板时无需更换不同的送料机构型号，夹料和送料速度快，放置位置精准，有效提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的半导体薄片材料的高速高精送料机构的结构示意图；

图2是本实用新型提供的半导体薄片材料的高速高精送料机构的部分结构侧视图；

图3是本实用新型提供的Y轴横移驱动装置、Y轴横移平台和电磁式夹爪的装配图；

图4是本实用新型提供的电磁式夹爪的拆解图；

图5是本实用新型提供的X轴横移驱动装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1，本实用新型的实施例提供了一种半导体薄片材料的高速高精送料机构，包括基座1、第一基板滑道2、第二基板滑道3、Y轴横移平台4、Y轴导轨5、Y轴滑块6、Y轴横移驱动装置7、X轴导轨8、X轴滑块9、电磁式夹爪10和X轴横移驱动装置11，下面结合附图对本实施例进行详细说明。

如图1和图2所示，Y轴横移平台4的底部通过Y轴滑块6与装设在基座1顶部的Y轴导轨5滑动连接，第一基板滑道2装设在基座1的顶部，第二基板滑道3装设在Y轴横移平台4的侧边，第一基板滑道2和第二基板滑道3沿X轴方向设置并互相平行，半导体薄片基板可以放置在第一基板滑道2和第二基板滑道3上，Y轴横移驱动装置7与Y轴横移平台4传动连接，并能够带动Y轴横移平台4沿Y轴方向横向移动。

在本实施例中，如图3所示，Y轴横移驱动装置7可以包括Y轴电机71，Y轴电机71的输出轴通过Y轴丝杆72与装设在Y轴横移平台4底部的Y轴丝杆螺母座73传动连接，其中，Y轴丝杆72与Y轴丝杆螺母座73螺纹连接。Y轴电机71工作时能够带动Y轴丝杆72旋转，从而通过Y轴丝杆螺母座73带动Y轴横移平台4移动，以调节第一基板滑道2与第二基板滑道3之间的距离，适应不同尺寸的基板。当然，根据实际需要，在其他实施例中，该Y轴横移驱动装置7也可以设置为气缸、直线模组、伺服滑台等各种能够提供线性移动的驱动设备，非本实施例为限。

如图1和图2所示，电磁式夹爪10的底部通过X轴滑块9与装设在Y轴横移平台4顶部的X轴导轨8滑动连接。在本实施例中，如图4所示，电磁式夹爪10包括夹爪底座101、夹爪夹板102、限位螺钉103、电磁铁104和弹簧105，电磁铁104装设在夹爪底座101的顶部一端的凹槽内，电磁铁104通过导线与控制器相连接，由控制器控制其通电或断电，夹爪夹板102的一端通过限位螺钉103与夹爪底座101相连接，夹爪夹板102位于电磁铁104的上方并能够相对于夹爪底座101上下移动，弹簧105位于夹爪底座101与夹爪夹板102之间，夹爪底座101的夹料一端设有底座夹料头106，夹爪夹板102的夹料一端设有夹板夹料头107。

此外，夹爪底座101的夹料一端设有供第二基板滑道3穿过的滑道活动槽108，滑道活动槽108位于底座夹料头106的内侧，第二基板滑道3穿过所有电磁式夹爪10的滑道活动槽108。

在电磁铁104断电时，夹爪夹板102在弹簧105的弹力作用下能够产生弹性变形(即夹爪夹板102的夹料端往上翻起)，此时与夹爪底座101的夹料端的间隙加大，处于开夹状态。在电磁铁104通电后，电磁铁104产生的电磁吸力大于弹簧105对夹爪夹板102的推力，吸住夹爪夹板102往夹爪底座101靠拢，使底座夹料头106和夹板夹料头107夹紧位于基板滑道上的基板。

在本实施例中，X轴横移驱动装置11和电磁式夹爪10分别设有四个，每个X轴横移驱动装置11分别与各自对应的电磁式夹爪10传动连接，并能够带动各自对应的电磁式夹爪10独立沿X轴方向横向移动。如图5所示，X轴横移驱动装置11可以包括X轴电机111，X轴电机111的输出轴通过X轴丝杆112与电磁式夹爪10传动连接。其中，X轴丝杆112可以与夹爪底座101上设置的螺纹孔109或者X轴丝杆螺母座螺纹连接。

当然，根据实际需要，X轴横移驱动装置11也可以只设置一个，其与所有电磁式夹爪10同步传动连接，并能够带动所有电磁式夹爪10同步沿X轴方向横向移动(比如与X轴电机111的输出轴相连接的X轴丝杆112穿过所有夹爪底座101上的螺纹孔109)。此外，在其他实施例中，该X轴横移驱动装置11也可以设置为气缸、直线模组、伺服滑台等各种能够提供线性移动的驱动设备，非本实施例为限。

综上所述，本实用新型的Y轴横移驱动装置能够驱动Y轴横移平台带动安装在其上的第二基板滑道在Y轴方向上移动，自动调节第一基板滑道与第二基板滑道之间的距离以适应不同尺寸的基板，通用性强，电磁式夹爪采用电磁夹紧，具有超快的响应速度以实现快速夹紧，同时X轴横移驱动装置可实现X轴的快速送料及精准定位，本实用新型在针对不同尺寸的基板时无需更换不同的送料机构型号，夹料和送料速度快，放置位置精准，有效提高生产效率。

在此需要说明的是，本实施例中的各个电机和电磁铁均可通过电脑、控制箱、控制触摸屏等目前市面上常见的任意一种控制器进行控制，但本实施例并不涉及该控制器的结构和电路的改进，本领域技术人员可以在现有的控制器中选择一种合适与该高速高精送料机构进行搭配。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。