一种无接触的物料传送装置的制作方法

本发明涉及一种物料传送装置，特别涉及一种无接触物料传送装置，属于物料传输领域。

背景技术：

光伏硅片是一种非常薄的半导体元件，在制造过程中，对被加工的光伏硅片的洁净程度要求越来越高，但是现有传输半导体晶片的方式通常是采用夹具或吸力固定物料，通过皮带机带动辊轮输送，这种传输方式存在以下问题：⑴传送机构与物料有直接接触，增加了物料被污染的概率；⑵物料在吸住和卸下及传输过程中容易造成损坏。

技术实现要素：

本发明无接触的物料传送装置公开了新的方案，采用无接触的物料传送方案，解决了现有方案采用接触传输方案存在的物料污染以及损坏的问题。

本发明无接触的物料传送装置包括气浮传送线，气浮传送线包括若干气浮传送轨道，上述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，悬浮物料上方设有驱动轨道，气浮传送轨道上设有气浮网孔板，气浮网孔板上密布喷气孔，驱动轨道包括与气浮传送线延伸方向相同的驱动导轨，驱动导轨上设有滑块部件，滑块部件包括升降柱，升降柱的下端设有引力发生部，气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料，升降柱驱动引力发生部向下运动与悬浮物料产生隔空引力作用，滑块部件在外部动力牵引下通过上述隔空引力作用带动悬浮物料沿驱动导轨运动。

进一步，本方案的气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨，输送限位侧轨包括“工”型导轨架，“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮，悬浮物料是平面片状物料，平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。

更进一步，本方案的气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道a、气浮传送轨道b，悬浮物料是平面四方形片状物料，气浮传送轨道a设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方，气浮传送轨道b设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方。

进一步，本方案的无接触的物料传送装置还包括气传自控系统，气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、滑块部件控制模块、升降柱控制模块、引力发生控制模块、中央控制单元，物料悬浮高度探测器包括摄像头，中央控制单元通过控制轨道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态，中央控制单元通过滑块部件控制模块控制外部动力牵引滑块部件沿驱动导轨移动至悬浮物料处，中央控制单元通过升降柱控制模块控制升降柱升降，中央控制单元通过引力发生控制模块控制引力发生部产生驱动悬浮物料的引力，中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态，中央控制单元根据物料的悬浮状态控制轨道气压电控阀、滑块部件控制模块调节物料的运动状态。

更进一步，本方案的引力发生部是静电发生部件或近场超声波发生部件。

本发明无接触的物料传送装置采用无接触的物料传送方案，具有物料无污染、损坏传输的特点。

附图说明

图1是无接触的物料传送装置的原理图之一。

图2是无接触的物料传送装置的原理图之二。

图3是无接触的物料传送装置的实施例的示意图。

其中，1是悬浮物料(物料)，2是引力发生部(物料导向机构)，3是升降柱(升降机构)，4是固定板，5是驱动导轨(导轨)，6是滑块部件(滑块)，7是气浮传送轨道(多孔制气浮板)，8是底板，9是输送限位侧轨。

上述标号后的部件或装置名称与括号内的名称指代相同的部件或装置，是同一部件或装置的不同名称。

具体实施方式

本发明无接触的物料传送装置包括气浮传送线，气浮传送线包括若干气浮传送轨道，上述若干气浮传送轨道的上方设有悬浮物料，悬浮物料上方设有驱动轨道，气浮传送轨道上设有气浮网孔板，气浮网孔板上密布喷气孔，驱动轨道包括与气浮传送线延伸方向相同的驱动导轨，驱动导轨上设有滑块部件，滑块部件包括升降柱，升降柱的下端设有引力发生部，气浮传送轨道内的高压气体从喷气孔向上喷出浮起悬浮物料，升降柱驱动引力发生部向下运动与悬浮物料产生隔空引力作用，滑块部件在外部动力牵引下通过上述隔空引力作用带动悬浮物料沿驱动导轨运动。上述方案采用无接触的物料传送方案，物料在气流由下而上的冲力作用下悬浮在空中，物料在引力发生部的作用下实现跟随滑块部件沿驱动导轨传送，物料传输的全程基本不与外部结构接触，避免了污染和损坏，提高了输送效率和可靠性，降低了损失。

为了避免悬浮物料偏离气浮传送线，本方案在气浮传送线两侧设置了输送限位侧轨，为了避免物料与输送限位侧轨产生过量的摩擦，影响传输，本方案采用了滚动摩擦的方式，如图2所示，气浮传送线的两侧设有输送限位侧轨，输送限位侧轨包括“工”型导轨架，“工”型导轨架上设有沿传送方向等距布置的导轮，悬浮物料是平面片状物料，平放在气浮传送线上的悬浮物料的两侧与导轮滑动限位连接。基于以上方案，为了保证物料传输平稳，本方案公开了具体的方案，即气浮传送线包括相互平行的气浮传送轨道a、气浮传送轨道b，悬浮物料是平面四方形片状物料，气浮传送轨道a设在悬浮物料沿传送方向左侧端的下方，气浮传送轨道b设在悬浮物料沿传送方向右侧端的下方。

为了能准确控制物料的起浮和移动，实现自动控制物料的传输，本方案的无接触的物料传送装置还包括气传自控系统，气传自控系统包括轨道气压电控阀、物料悬浮高度探测器、滑块部件控制模块、升降柱控制模块、引力发生控制模块、中央控制单元，物料悬浮高度探测器包括摄像头，中央控制单元通过控制轨道气压电控阀的启闭程度控制物料的起浮状态，中央控制单元通过滑块部件控制模块控制外部动力牵引滑块部件沿驱动导轨移动至悬浮物料处，中央控制单元通过升降柱控制模块控制升降柱升降，中央控制单元通过引力发生控制模块控制引力发生部产生驱动悬浮物料的引力，中央控制单元根据摄像头上传的实时监视视频判断物料的悬浮状态，中央控制单元根据物料的悬浮状态控制轨道气压电控阀、滑块部件控制模块调节物料的运动状态。上述方案的引力发生部是静电发生部件或近场超声波发生部件，即采用静电引力作用或近场超声波引力作用实现驱动。

本方案公开了一种无接触的物料传送方法，物料在浮起状态下，在驱动单元的作用下，实现物料的无接触传送，保证物料不受污染并提高物料传输的可靠性。如图1、2、3所示，无接触的物料传送装置包括物料1、物料导向机构2、升降机构3、固定板4、导轨5、滑块6、多孔制气浮板7、底板8，导轨5固定在固定板4上，升降机构3固定在滑块6上，导向机构2固定在升降机构3上，多孔制气浮板7固定在底板8上，物料1在物料传输过程中悬浮在多孔制气浮板7上，物料导向机构2在物料1上方，与物料1不接触，可带动物料1运动。整个物料传输过程中，物料1一直悬浮在多孔制气浮板7上方，导向机构2对物料1施加作用力，使物料1跟随导向机构2运动，整个过程保证了物料1无接触，不会受到任何碰撞，安全性能更好。具体是，给多孔制气浮板7通入压缩空气，在多孔制气浮板7出气面(顶面)形成气膜，从而实现物料1悬浮在多孔制气浮板7上方。导向机构2可以是静电装置，通过静电带动物料1运动，也可以是超声波装置，两种装置都不与物料1接触，都可以带动物料1运动。多孔制气浮板7通入压缩空气后，物料1悬浮在多孔制气浮板7上方，升降机构3下降到合适位置，使导向机构2对物料1产生作用力，然后在外部驱动单元(图中未画出)的作用下，带动物料1沿导轨方向运动。采用以上结构，不但机械结构简单，同时降低了物料污染问题，提高物料传输过程中的可靠性，降低了物料损坏成本。

本方案无接触的物料传送装置并不限于具体实施方式中公开的内容，实施例中出现的技术方案可以基于本领域技术人员的理解而延伸，本领域技术人员根据本方案结合公知常识作出的简单替换方案也属于本方案的范围。