一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置的制作方法

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置。

背景技术：

国内fpd（flatpaneldisplay，平板显示）产品前段制造企业工厂中的滚轮传送段，不时发现由于静电因素所导致的tft（thinfilmtransistor，薄膜晶体管）array（阵列）玻璃esd（electro-staticdischarge，静电放电）不良损坏案例，给国内的fpd产品制造企业造成了生产良品率与产品可靠性品质降级的行业损失，静电损坏位置主要分为以下三种情形：

情形一：如图1所示，金属线路ⅰ102和金属线路ⅱ103均为与绝缘介质膜层ⅰ101同膜层内隔离开的线路，图1中a为静电损坏位置。

情形二：如图2所示，金属线路ⅲ203、金属线路ⅳ204均为与绝缘介质膜层ⅲ202同膜层内隔离开的线路，绝缘介质膜层ⅱ201将同膜层内的金属线路ⅲ203、金属线路ⅳ204与不同膜层内的金属线路ⅴ205隔离开来。图2中b、c、d均为不同的静电损坏易于发生的位置。

情形三：如图3所示，金属线路ⅵ302、金属线路ⅶ303分别位于绝缘介质膜层ⅳ301上下两侧不同膜层内，图3中e为静电损坏位置。

国内fpd产品前段制造企业当前对于滚轮传送段采取的静电防护措施，包括安装离子化设备、更换滚轮材质等并未实现有效解决fpd产品在滚轮传送段的静电不良损坏问题。

因此，我们提出一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置解决上述问题。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，以解决滚轮传送段静电不良损坏的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，包括滚轮、静电压测试设备、离子化设备和静电抑制机构，滚轮构成传送带，滚轮上方放置有需要进行加工的玻璃基板，所述静电压测试设备位于传送带的上方，用于判断玻璃基板的静电带电水平，离子化设备安装在传送带的下方区域，静电抑制机构安装在传送带下方的设定区域。

作为本发明进一步的方案，所述离子化设备安装在传送带下方区域的中端和末端。

作为本发明进一步的方案，所述离子化设备安装在传送带下方区域的前端。

作为本发明进一步的方案，所述设定区域为离子化设备无法安装的区域。

作为本发明进一步的方案，所述静电抑制机构的结构为整体式、方格网式、斜网式、条纹式和筛孔式中的一种，具体结构根据滚轮传送带的特别条件进行相适应选取。

作为本发明进一步的方案，所述静电抑制机构位于滚轮之间，同时静电抑制机构与地线连接。

综上所述，本发明与现有技术相比具有以下有益效果：一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置考虑到了fpd产品制造工厂中的生产线体差异性因素，并相应提出了针对两种不同现实情形滚轮传送带的静电防护技术方案，可以有效解决fpd产品前段制造中不同滚轮传送带中的产品静电不良损失与产品静电可靠性损失问题。

附图说明

图1为现有技术静电不良损坏情形之一的结构示意图；

图2为现有技术静电不良损坏情形之二的结构示意图；

图3为现有技术静电不良损坏情形之三的结构示意图；

图4为本发明中实施例1的结构示意图；

图5为本发明中实施例2的结构示意图；

图6为本发明中实施例3的结构示意图；

图7为本发明中整机式静电抑制机构的结构示意图；

图8为本发明中方格网式静电抑制机构的结构示意图；

图9为本发明中斜纹式静电抑制机构的结构示意图；

图10为本发明中条纹式抑制机构的结构示意图；

图11为本发明中筛孔式静电抑制机构的结构示意图。

附图标记：101-绝缘介质膜层ⅰ、102-金属线路ⅰ、103-金属线路ⅱ、201-绝缘介质膜层ⅱ、202-绝缘介质膜层ⅲ、203-金属线路ⅲ、204-金属线路ⅳ、205-金属线路ⅴ、301-绝缘介质膜层ⅳ、302-金属线路ⅵ、303-金属线路ⅶ、401-滚轮、402-玻璃基板、5-静电压测试设备、6-离子化设备、7-静电抑制机构。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

由图4所示，一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，包括滚轮401、静电压测试设备5和离子化设备6，滚轮401构成传送带，滚轮401上方放置有需要进行加工的玻璃基板402，所述静电压测试设备5位于传送带的上方，用于判断玻璃基板402的静电带电水平，离子化设备6安装在传送带下方区域的中端和末端。

实施例2

由图5所示，一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，包括滚轮401、静电压测试设备5和离子化设备6，滚轮401构成传送带，滚轮401上方放置有需要进行加工的玻璃基板402，所述静电压测试设备5位于传送带的上方，用于判断玻璃基板402的静电带电水平，离子化设备6安装在传送带下方区域的前端。

实施例3

由图6所示，一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，包括滚轮401、静电压测试设备5、离子化设备6和静电抑制机构7，滚轮401构成传送带，滚轮401上方安放有需要进行加工的玻璃基板402，所述静电压测试设备5位于传送带的上方，用于判断玻璃基板402静电带电水平，离子化设备6安装在下方无法安装离子化设备6的区域入口处的传送带下方区域的前端，传送带下方部分无法安装离子化设备6的区域设有静电抑制机构7，在安装静电抑制机构7区域的末端传送带下方安装离子化设备6。

如图7～11所示，所述静电抑制机构7的结构可以为整机式、方格网式、斜纹式、条纹式、筛孔式中的一种，具体结构根据滚轮传送带的特别条件进行相适应选取，静电抑制机构7位于滚轮401之间，静电抑制机构7与地线连接。

综上所述，本发明的工作原理是：一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置：通过优化离子化设备6安装方式，有效抑制玻璃基板402在滚轮401上传送中的高静电累积，避免玻璃基板402在滚轮401上传送中发生静电放电，从而提高玻璃基板402的产品合格率；在下方无法安装离子化设备6的传送带下方区域加装静电抑制机构7，用于抑制玻璃基板402在滚轮401上传送中发生静电放电，提高玻璃基板402的产品合格率，大大降低生产成本。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。