一种用于真空设备的无油传送装置

本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种用于真空设备的无油传送装置。

背景技术：

真空设备是产生、改善和(或)维持真空的装置，包括真空应用设备和真空获得设备。目前真空设备快速发展，在微电子领域广泛使用，对真空结构设计提出更高要求。目前，大部分真空设备都需要将样品进行传送。

由于现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题。

技术实现要素：

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，用以解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，达到了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品。

优选地，所述装置还包括：联轴器，所述联轴器设置在所述磁力旋转座与所述电机之间。

优选地，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮的高度一致。

优选地，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮分别具有一陶瓷轴承。

优选地，所述磁力杆转动带动所述陶瓷轴承转动使所述皮带轮旋转。

优选地，所述皮带轮旋转带动所述皮带前后运动使所述样品传送托前后运动。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品。通过电机正反转带动磁力旋转座内的磁力杆转动，磁力杆使皮带轮旋转带动皮带前后运动，从而控制样品传送托前后运动，解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

图1为本说明书实施例中用于真空设备的无油传送装置的结构示意图。

附图标记说明：真空腔体1，磁力旋转座2，联轴器3，电机4，第一皮带轮5，皮带6，样品传送托7，样品8，第二皮带轮9。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，用以解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

本发明实施例中的技术方案，本社你请实施例的发明构思为：采用磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品，解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，请参考图1，所述装置包括：

磁力旋转座2，所述磁力旋转座2设置在真空腔体1中，且所述磁力旋转座2内具有一磁力杆；电机4，所述电机4与所述磁力旋转座2的一端的磁力杆连接，且所述电机4带动所述磁力杆转动；

进一步的，所述装置还包括：联轴器3，所述联轴器3设置在所述磁力旋转座2与所述电机4之间。

具体而言，本申请实施例中提供的用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座2、电机4、第一皮带轮5、第二皮带轮9、皮带6、样品传送托7等，所述装置采用的元件均为无油零件，不会有油脂污染腔室，达到无油传送样品。所述装置通过电机正反转带动磁力旋转座内的磁力杆转动，磁力杆使皮带轮旋转带动皮带前后运动，从而控制样品传送托前后运动，将样品传送至所述真空腔体1中的指定位置，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。首先，在真空腔体1中设置所述磁力旋转座2，且所述磁力旋转座2内具有一磁力杆，通过过外部磁力带动内部的所述磁力杆转动，用于真空旋转机构，即所述磁力旋转座2。磁力旋转座是利用磁力作为动力而制造出的一种旋转机构。所述电机4与所述磁力旋转座2的一端的磁力杆连接，且所述电机4带动所述磁力杆转动，所述电机4为所述装置提供动力。在所述磁力旋转座2与所述电机4之间连接有所述联轴器3，所述电机4转动带动所述联轴器3转动，所述联轴器3转动给所述磁力旋转座2带来外部磁力。

第一皮带轮5，所述第一皮带轮5与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮9，所述第二皮带轮9与所述第一皮带轮5对称设置在所述真空腔体1中；

进一步的，所述第一皮带轮5与所述第二皮带轮9的高度一致。进一步的，所述第一皮带轮5与所述第二皮带轮9分别具有一陶瓷轴承。进一步的，所述磁力杆转动带动所述陶瓷轴承转动使所述皮带轮5旋转。

具体而言，在所述真空腔体1中对称设置有所述第一皮带轮5与所述第二皮带轮9，所述第一皮带轮5与所述第二皮带轮9的高度一致，其中，所述第一皮带轮5与所述磁力旋转座2的另一端的磁力杆连接。也就是说，所述第一皮带轮5中的转动轴承采用陶瓷轴承，所述陶瓷轴承与所述磁力杆连接，所述磁力杆转动带动所述陶瓷轴承转动，从而使所述第一皮带轮5转动。其中，陶瓷轴承作为一种重要的机械基础件，由于其具有金属轴承所无法比拟的优良性能，抗高温、超强度等在新材料世界一马当先。由于陶瓷轴承具有耐高温、耐寒、耐磨、耐腐蚀、抗磁电绝缘、无油自润滑、高转速等特性。可用于极度恶劣的环境及特殊工况。目前，陶瓷轴承的套圈及滚动体采用全陶瓷材料，有氧化锆(zro2)、氮化硅(si3n4)、碳化硅(sic)三种。保持器采用聚四氟乙烯、尼龙66，聚醚酰亚氨，氧化锆、氮化硅，不锈钢或特种航空铝制造，从而扩大了陶瓷轴承的应用面。所述第一皮带轮5充当主动轮，所述第二皮带轮9充当从动轮，所述第二皮带轮9中的转动轴承也采用陶瓷轴承，当所述第一皮带轮5转动，则带动所述第二皮带轮9转动。其中，所述陶瓷轴承为不含油脂的零部件，实现了无油传送。

皮带6，所述皮带6与所述第一皮带轮5、所述第二皮带轮9相啮合；样品传送托7，所述样品传送托7与所述皮带6连接，且所述样品传送托7上放置样品8。

进一步的，所述皮带轮5旋转带动所述皮带6前后运动使所述样品传送托7前后运动。

具体而言，通过所述第一皮带轮5转动带动所述第二皮带轮9转动，是在所述第一皮带轮5、所述第二皮带轮9之间设置一皮带6，所述皮带6与所述第一皮带轮5、所述第二皮带轮9相啮合，运动灵活，不得卡滞。所述样品传送托7与所述皮带6连接，且所述样品传送托7上放置样品8，所述皮带轮5旋转带动所述皮带6前后运动使所述样品传送托7前后运动，能够将样品传送至所述真空腔体1中的指定位置。其中，控制所述电机4的正反转可带动所述皮带6的前后运动，所述皮带6可以运动灵活，从而精确控制样品托运动距离，且通过电机参数可以计算出样品托运动距离，结构简单，非常适用于真空环境。

本申请实施例中提供的技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品。通过电机正反转带动磁力旋转座内的磁力杆转动，磁力杆使皮带轮旋转带动皮带前后运动，从而控制样品传送托前后运动，解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。