溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法与流程

本申请主张于2018年11月26日提出申请的日本专利申请第2018-219946号的优先权及其利益，其全部内容以参照的方式并入本申请。

本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。

背景技术：

作为无机薄膜的形成方法，已知溅射法。在实施溅射法的溅射装置中，包括使用平板型溅射靶作为溅射靶的装置、和使用筒型溅射靶作为溅射靶的装置。

这些之中，使用筒型溅射靶的溅射装置形成为下述这样的构成：一边从筒型溅射靶的内侧将靶材冷却，一边在使筒型溅射靶旋转的同时实施溅射。因此，使用筒型溅射靶的溅射装置中，靶材的使用效率达到70％以上。该使用效率与使用平板型溅射靶的溅射装置相比非常高，从节省资源、减轻经济负担的观点出发是有用的。

另一方面，对于筒型溅射靶及平板型溅射靶中的任一者而言，通常，当将溅射靶出货或保管时，均是将其装入树脂制的袋中，然后对内部进行真空抽吸，或者导入非活性气体。这是为了防止灰尘的附着或溅射靶的变性(例如氧化)而实施的。专利文献1中记载了下述溅射靶的包装装置：当对用树脂制的袋覆盖着的例如截面呈u字形的空心阴极型溅射靶进行真空抽吸时，通过在覆盖该溅射靶的空间部的盖上设置的贯通孔来对该溅射靶的空间部进行真空脱气，由此使得即便是包装用的树脂也完全不会触碰到溅射靶的空间部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2005/037649号

技术实现要素：

发明要解决的课题

从前文所述的节省资源、减轻经济负担的观点出发，一直以来关注了筒型溅射靶的使用。尤其是，近年来，考虑到以稳定的状态设置于溅射装置，广泛使用了在一端的开口部的周边设置有凸缘部、且另一端的开口部被盖等密封的筒型溅射靶。

然而，本申请的发明人发现，对于如上所述的具备凸缘部及盖的筒型溅射靶而言，当为了出货或保管等而进行真空抽吸及捆包时，会发生许多问题。第一个问题为，由于筒型溅射靶通常为长条、且内侧的容积大，因此，在一个端部被盖密封的情况下，直至溅射靶的内侧为止均以充分的真空状态进行包装是困难的。第二个问题为，在筒型溅射靶具备凸缘部的情况下，即便以该状态直接实施抽真空，包装材料也会钩挂于凸缘部的边缘部，无法良好地抽出溅射靶的内侧、外侧的空气。

图4为示出使用通常的方法将圆筒型溅射靶真空包装后的状态的截面的概要图。如图4所示，圆筒型溅射靶10在筒部11的内侧具有空间12，在筒部11的一端的开口部设置有凸缘部13，在筒部11的另一端的开口部设置有盖14。对于包装材料20而言，将其罩在圆筒型溅射靶10上而进行包装后，从通常实施抽真空的部位即图4的a(或b)进行抽真空。但是，如前文所述，通常，圆筒型溅射靶10为长条，筒部11的内侧的空间12的容积大，且在凸缘部13周边部位包装材料20会发生钩挂，因此，形成了筒部11的内侧的空间12的空气未被良好地抽出的状态。若以这种方法形成捆包状态，则残留在筒部11内侧的空间12中的空气逐渐向外侧扩散，由此导致利用包装材料20得到的真空包装逐渐松弛，松弛后的包装材料20与圆筒型溅射靶10在输送中摩擦，因此有可能在圆筒型溅射靶10上产生伤痕，或者因未完全排尽的空气及水分而使得圆筒型溅射靶10的表面发生变性(例如氧化)。

本发明的目的在于提供能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包的、溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。

用于解决课题的手段

根据本发明的一实施方式，提供溅射靶的捆包结构体，其具备：

溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和

包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，

所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。

在本发明的一实施方式中，可以是所述密封部位于所述溅射靶的两端的外侧。

在本发明的一实施方式中，可以是所述包装材料与所述溅射靶之间为真空状态。

在本发明的一实施方式中，可以是所述捆包结构体的所述溅射靶的所述凸缘部与所述包装材料之间的分离距离在从捆包起于20℃大气压下经过1周后小于10mm。

根据本发明的一实施方式，提供溅射靶的捆包结构体，其具备：

溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和

由片材构成的包装材料，

所述溅射靶与所述包装材料之间为真空状态，以及/或者，所述溅射靶与所述包装材料为密合状态，

所述溅射靶的所述凸缘部与所述包装材料之间的分离距离在从捆包起于20℃大气压下经过1周后小于10mm。

在本发明的一实施方式中，可以是所述包装材料具有不易透过氧及水的特性。

在本发明的一实施方式中，可以是所述溅射靶具有1000mm以上且5000mm以下的长度方向的长度。

根据本发明的一实施方式，提供溅射靶的捆包方法，其为利用包装材料将溅射靶捆包的方法，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖，所述方法包括下述工序：

将由在一端及另一端具有开口部的筒状片材构成的所述包装材料以所述溅射靶的凸缘部侧朝向所述包装材料的一端的方式罩在所述溅射靶的外侧的工序；

将所述包装材料的一端的开口部封闭的工序；

将所述溅射靶的凸缘部侧的、所述包装材料的开口部被封闭的所述一端推入所述溅射靶的内侧的工序；

从所述溅射靶的盖侧的、所述包装材料的另一端的开口部抽真空，将所述另一端的开口部封闭的工序；和

将所述溅射靶的凸缘部侧的所述包装材料的局部开口，从所述局部的开口部抽真空，将所述局部的开口部封闭的工序。

根据本发明的一实施方式，提供溅射靶的捆包方法，其为利用包装材料将溅射靶捆包的方法，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖，所述方法包括下述工序：

将由一端具有闭口部且另一端具有开口部的袋状片材构成的所述包装材料以所述溅射靶的凸缘部侧朝向所述包装材料的闭口部的方式罩在所述溅射靶的外侧的工序；

将所述溅射靶的凸缘部侧的、所述包装材料的闭口部的所述一端推入所述溅射靶的靶的内侧的工序；

从所述溅射靶的盖侧的、所述包装材料的另一端的开口部抽真空，将所述另一端的开口部封闭的工序；和

将所述溅射靶的凸缘部侧的所述包装材料的局部开口，从所述局部的开口部抽真空，将所述局部的开口部封闭的工序。

在本发明的一实施方式中，将所述包装材料推入所述溅射靶的内侧的工序可以包括：一边将芯子插入所述溅射靶的内侧，一边将所述包装材料推入所述溅射靶的内侧。

在本发明的一实施方式中，可以是从所述另一端的开口部的抽真空及从所述局部的开口部的抽真空中的至少一者在将所述芯子插入所述溅射靶的内侧的状态下实施，所述方法包括在抽真空后将所述芯子拔出的工序。

根据本发明的一实施方式，提供溅射靶的捆包方法，其为利用包装材料将溅射靶捆包的方法，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖，所述方法包括下述工序：

将由一端具有开口部且另一端具有闭口部的袋状片材构成的所述包装材料以所述溅射靶的凸缘部侧朝向所述包装材料的开口部的方式罩在所述溅射靶的外侧的工序；

将所述包装材料的一端的开口部封闭的工序；

将所述溅射靶的盖侧的所述包装材料的闭口部的局部开口的工序；

将所述溅射靶的凸缘部侧的所述包装材料的局部开口的工序；

将所述溅射靶的凸缘部侧的、所述包装材料的开口部被封闭的所述一端推入所述溅射靶的内侧的工序；

从所述盖侧的局部的开口部抽真空，将所述盖侧的局部的开口部封闭的工序；和

从所述凸缘部侧的局部的开口部抽真空，将所述凸缘部侧的局部的开口部封闭的工序。

在本发明的一实施方式中，将所述包装材料推入所述溅射靶的内侧的工序可以包括：一边将芯子插入所述溅射靶的内侧，一边将所述包装材料推入所述溅射靶的内侧。

在本发明的一实施方式中，从所述盖侧的局部的开口部的抽真空及从所述凸缘部侧的局部的开口部的抽真空中的至少一者在将所述芯子插入所述溅射靶的内侧的状态下实施，所述方法包括在抽真空后将所述芯子拔出的工序。

在本发明的一实施方式中，可以是所述包装材料具有不易透过氧及水的特性。

在本发明的一实施方式中，可以是所述包装材料的长度方向的长度为所述溅射靶的长度方向的长度的2倍以上的长度。

在本发明的一实施方式中，所述方法可以包括下述工序：在将所述包装材料罩在所述溅射靶的外侧后，以所述包装材料的内径变小的方式沿所述包装材料的长度方向将所述包装材料密封。

发明的效果

本发明的溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部、且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包。

附图说明

图1a：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1b：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1c：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1d：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1e：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1f：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1g：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图1h：为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的工序的概略图。

图2：为示出以图1a～图1h的方法捆包而成的圆筒型溅射靶的捆包结构体的截面图。

图3：为示出将图2的凸缘部周边放大而成的截面的图。

图4：为示出使用通常的方法将圆筒型溅射靶真空包装后的状态的截面的概要图。

附图标记说明

10、100圆筒型溅射靶

11、101筒部

12、102空间

13、103凸缘部

14、104盖

20、200包装材料

200a第一端部

200b第二端部

201闭口部

202、203密封部

300芯子

400圆筒型溅射靶的捆包结构体

具体实施方式

以下，使用附图对本发明的实施方式进行详述，但本发明不限于该实施方式。

图1a～图1h为示出本发明的一个实施方式中的圆筒型溅射靶的捆包方法的各工序的概略图。在图1a～图1h中，圆筒型溅射靶100及包装材料200以平行于中心轴的截面示出。以下，使用图1a～图1h对各工序的详情进行说明。

第一，如在图1a中所示的那样，将由筒状片材构成的包装材料200以圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧朝向包装材料200的一端的方式罩在圆筒型溅射靶100的外侧。

圆筒型溅射靶100在筒部101的内侧具有空间102，在筒部101的一端的开口部设置有凸缘部103，在筒部101的另一端的开口部设置有盖104。

圆筒型溅射靶100的材料无特别限定，为在利用溅射法进行的成膜中通常使用的靶材料即可。作为这种靶材料，可举出例如al、cu、cr、fe、ta、ti、zr、w、mo、nb、ag、co、ru、pt、pd、ni及包含这些金属的合金、锡掺杂氧化铟(ito)、铝掺杂氧化锌(azo)、镓掺杂氧化锌(gzo)、钛掺杂氧化锌、in-ga-zn系复合氧化物(igzo)等。在它们中，优选为铝(纯度99.99％(4n)以上、优选纯度99.999％(5n)以上的纯al)、铝合金(作为添加元素，可举出si、cu、nd、mg、fe、ti、mo、ta、nb、w、ni、co等，优选包含si、cu作为添加元素。另外，除添加元素以外的母材的al纯度为99.99％以上，优选为99.999％以上。)或铜(纯度99.99％(4n)以上)。对于如上所述的圆筒型溅射靶100的材料而言，圆筒型溅射靶100的主体部分的材料、与凸缘部103及盖104的部分的材料也可以不同。

圆筒型溅射靶100的图1a所示长度方向的长度x1为1000mm以上且5000mm以下，优选1500mm以上且4500mm以下，更优选2000mm以上且4000mm以下，进一步优选2200mm以上且3500mm以下，进一步更优选2500mm以上且3000mm以下。

圆筒型溅射靶100的图1a所示外径y1为75mm以上且400mm以下，优选100mm以上且350mm以下，更优选120mm以上且300mm以下，进一步优选140mm以上且250mm以下，进一步更优选150mm以上且200mm以下。图1a所示内径y2为50mm以上且250mm以下，优选70mm以上且200mm以下，更优选80mm以上且180mm以下，进一步优选100mm以上且160mm以下，进一步更优选110mm以上且150mm以下。

通过将圆筒型溅射靶100的长度方向的长度x1、外径y1及内径y2设计为前述那样的大小，作为液晶显示器(lcd)用的布线材料等中使用的筒型溅射靶是适宜的。

另外，圆筒型溅射靶100也可以是由圆筒形的溅射靶材、和被插入于该溅射靶材内部的圆筒型衬管(backingtube)构成。衬管为在一端设置有凸缘部、且另一端被密封的结构。

包装材料200的片材当为能将圆筒型溅射靶100真空包装的片材时，其可以为任意材料。本说明书中，所谓“真空”、“真空状态”及“真空包装”，并非是指完全不含空气的、完美的真空状态(或真空包装)，而是指可以包含不可避免的微量的空气等物质的实质上的真空状态(或真空包装)。具体而言，将包装材料罩于对象物、并使用市售的抽真空装置(例如真空脱气装置或真空泵等)从捆包有对象物的包装材料中的空间将气体分子吸出而充分地进行了抽真空的情况下，可以说包装材料与对象物之间为真空状态。更具体而言，为由jisz8126-1：1999规定的低真空(100kpa)以下的真空度即可。真空度(绝对压力)优选为50kpa以下，更优选为20kpa以下。

对于包装材料200的片材而言，优选的是，片材具有不易透过氧及水的特性。由此，能够抑制圆筒型溅射靶100表面的氧化等变性。所谓不易透过氧及水的特性，是指下述这样的特性，即，透氧度为100cc/m²atm·day(cc/m²原子·天)以下，优选80cc/m²atm·day以下，更优选70cc/m²atm·day以下，透湿度为20g/m²·day(g/m²·天)以下，优选15g/m²·day以下，更优选10g/m²·day以下。透氧度及透湿度是指利用根据jisk7126及jisk7129的测定方法所测得的值。

例如，作为片材的具体材料，可举出树脂制膜。作为树脂，可举出例如聚丙烯、聚乙烯、纳米复合系涂层聚对苯二甲酸乙二醇酯、蒸镀有铝的聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)或未拉伸聚丙烯(cpp)、蒸镀有二氧化硅或氧化铝的pet或双轴拉伸尼龙(ony)、聚偏二氯乙烯(pvdc)、尼龙、pvdc涂层双轴拉伸尼龙(kon)或双轴拉伸聚丙烯(kop)、pet、聚氯乙烯(pvc)、双轴拉伸聚丙烯(opp)、高密度聚乙烯(hdpe)、低密度聚乙烯(ldpe)、乙烯/乙烯基醇共聚树脂(evoh)等，但不限于此。另外，也可以是上述树脂的层叠膜、共挤出多层膜等。包装材料200优选为层叠膜或多层膜。通过形成为上述膜层的形态，易于兼具防湿性、耐氧透过性、耐热性、热封性、机械强度、柔软性等多种功能。

对于包装材料200而言，由于其为筒状，因此，图1a所示第一端部200a(本说明书中，相当于包装材料200中的一端)及第二端部200b(本说明书中，相当于包装材料200中的另一端)是开口的。上述结构可以利用本领域技术人员已知的任意方法来形成。例如，可以使用1张上述那样的树脂制膜的片材，将端部重叠并适当密封(例如，热熔接或粘接等)，从而形成筒状。或者，也可以将市售的筒状的树脂制膜的片材根据需要切断而直接使用。

图1a所示包装材料200的长度方向的长度x优选为圆筒型溅射靶100的长度方向的长度x1的2倍以上的长度。更优选2倍以上且3倍以下，进一步优选2.1倍以上且2.5倍以下，更进一步优选2.1倍以上且2.3倍以下的长度。图1a所示的筒状的包装材料200的内径y比前述圆筒型溅射靶100的外径y1大即可，无特别限定。但是，优选的是，包装材料200的内径y为下述这样的大小，即，考虑到圆筒型溅射靶100的外径y1，不会小至当罩在圆筒型溅射靶100的外侧时变得困难的程度，并且不会大至当罩在圆筒型溅射靶100的外侧时过度地盈余的程度。

通过以这样的方式适当地设定包装材料200的长度方向的长度x及内径y的大小，从而在实施本实施方式的捆包方法的过程中，能够避免包装材料的无谓的使用，能够削减成本。具体而言，x优选为2000mm以上且15000mm以下，更优选3000mm以上且10000mm以下，进一步优选4000mm以上且8000mm以下，进一步更优选5000mm以上且7000mm以下。

包装材料200的厚度没有特别限定，根据包装材料200中使用的片材的种类而适宜调整为能够以真空状态保护圆筒型溅射靶100的厚度即可。优选的是，包装材料200的厚度被调整为能将透湿度及透氧度抑制在前述那样的范围内的厚度。例如，为20μm以上，优选30μm以上且500μm以下，更优选40μm以上且200μm以下，进一步优选50μm以上且100μm以下。

在前述工序中，优选的是，如图1a所示，将包装材料200以与从圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端部起至第一端部200a为止的距离相比、从圆筒型溅射靶100的盖104侧的端部起至第二端部200b为止的距离更近的方式罩在圆筒型溅射靶100的外侧。更优选的是，以下述方式罩上包装材料200，即，圆筒型溅射靶100整体位于从包装材料200的长度轴上的中央部位至包装材料200的第二端部200b之间的位置，并且圆筒型溅射靶100的盖104侧的端部位于朝向包装材料200的第二端部200b的位置。进一步优选的是，在使圆筒型溅射靶100位于前述方式的位置而罩上包装材料200的情况下，圆筒型溅射靶100的盖104侧的端部与第二端部200b之间(圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面(即，盖104的端面)、与从该端面沿垂线方向引出的线和第二端部200b的交点之间)的距离即图1a所示的距离a具有比圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面的外半径大的距离。其比率(距离a/圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面的外半径)优选为1.1倍以上，更优选1.5倍以上且10倍以下，进一步优选1.8倍以上且8倍以下，更进一步优选2倍以上且5倍以下，特别优选2.5倍以上且4倍以下。具体而言，具有50mm以上且1000mm以下、优选100mm以上且500mm以下、更优选150mm以上且400mm以下、进一步优选200mm以上且300mm以下的距离。通过以上述方式罩上包装材料200，之后无需经过多余工序而能够简易地实施捆包。此外，还能够减小待抽真空的体积，在盖104侧的后续抽真空工序及密封部形成工序中，能够提高操作性。

第二，如在图1b中所示，将包装材料200的第一端部200a中的开口部封闭而形成闭口部201。闭口部201可使用本领域技术人员已知的任意方法来形成。例如，可以使用市售的封口机(例如长条封口机)等来进行热熔接、粘接或密封从而形成。

第三，如在图1c中所示，一边将芯子300插入圆筒型溅射靶100的内侧，一边将圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的、包装材料200的具有闭口部201的第一端部200a推入圆筒型溅射靶100的内侧。通过使用芯子300推入至圆筒型溅射靶100的内侧的盖104方向的端部、优选直至包装材料200的闭口部201与盖104接触，从而能够将包装材料200插入圆筒型溅射靶100的内侧，预先减少内侧的空气。由此，在此后的抽真空工序中，能够更理想地发挥出由本发明的捆包方法带来的、以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的外侧及内侧捆包这样的效果。尤其是，通过使用与圆筒型溅射靶100的内径y2匹配的适当大小的芯子300，能够以更加密合于圆筒型溅射靶100内侧的状态进行捆包。另外，圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端部与包装材料200的凸缘部103侧的折回部之间(圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端面(即，凸缘部103的端面)、与在利用芯子300将包装材料200向溅射靶100推入的方向的反方向上距该端面最远的包装材料200的前端)的距离b可具有比圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端面的外半径大的距离。所谓包装材料200的凸缘部103侧的折回部，是指如后续图f及图1g中所示那样的、插入于圆筒型溅射靶100的内侧时折弯的部分。距离b也如图f及图1g所示。其比率(距离b/圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端面的外半径)优选为1.1倍以上，更优选1.5倍以上且10倍以下，进一步优选1.8倍以上且8倍以下，更进一步优选2倍以上且5倍以下，特别优选2.5倍以上且4倍以下。具体来讲，具有50mm以上且1000mm以下、优选100mm以上且500mm以下、更优选150mm以上且400mm以下、进一步优选200mm以上且350mm以下的距离。通过以上述方式罩上包装材料200，能够减少待抽真空的体积，在凸缘部103侧的后续抽真空工序及密封部形成工序中，能够提高操作性。

第四，在与圆筒型溅射靶100的尺寸相比较、包装材料200的直径更大的情况下，如图1d中所示，也可以以包装材料200的内径y变小的方式、沿包装材料200的长度方向将包装材料200密封。密封方法可使用本领域技术人员已知的任意方法。例如，可以使用市售的封口机(例如长条封口机)等来进行热熔接或粘接，从而进行密封。由此，能预先减少外侧的空气，在后续抽真空的工序中，能够更理想地发挥出由本发明的捆包方法带来的、以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的外侧及内侧捆包这样的效果。

第五，如图1e中的箭头所示，从圆筒型溅射靶100的盖104侧的包装材料200的第二端部200b的开口部抽真空。优选的是，在实施抽真空前，预先将包装材料200的松弛、褶皱伸展。由此，能够抑制圆筒型溅射靶100与包装材料200之间空气积存的发生。另外，抽真空时，有可能在褶皱的部分、圆筒型溅射靶100的层差部等处发生空气积存。因此，优选的是，例如，在用手使空气积存向圆筒型溅射靶100的盖104侧移动的同时实施抽真空。然后，如图1f中所示，将上述开口部封闭，形成密封部202。对于密封部202而言，使其形成于圆筒型溅射靶100的端部侧。在上述抽真空工序中，主要能够在圆筒型溅射靶100的外侧使包装材料200密合而形成真空状态。

对于抽真空的方法而言，可使用本领域技术人员已知的任意方法。例如，可举出使用市售的抽真空装置(例如真空脱气装置或真空泵等)将气体分子充分地从对象空间吸出的方法。对于密封部202而言，其可以与前述闭口部201同样地使用本领域技术人员已知的任意方法来形成。

第六，如图1g中所示，将圆筒型溅射靶100的凸缘部103的端部侧的包装材料200的局部、优选圆筒型溅射靶100的凸缘部103的端部的外侧的包装材料200的局部开口，从上述局部的开口部如箭头所示地进行抽真空。所谓圆筒型溅射靶100的凸缘部103的端部的外侧，是指从圆筒型溅射靶100的凸缘部103的端部起、在圆筒的长度方向上与圆筒型溅射靶100相反的一侧。在上述抽真空工序中，能够在不钩挂于凸缘部103的情况下、主要在圆筒型溅射靶100的内侧使包装材料200密合而形成真空状态。在从凸缘部103侧抽真空时，也有可能在褶皱的部分、圆筒型溅射靶100的层差部等处发生空气积存。因此，优选的是，例如，在用手使空气积存向圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧移动的同时实施抽真空。

第七，如图1h中所示，将上述局部的开口部封闭，形成密封部203。对于密封部203而言，与前述密封部202同样地，使其形成于圆筒型溅射靶100的端部侧。对于抽真空的方法及密封部203的形成方法，也与前述同样地，可使用本领域技术人员已知的任意方法。在本发明中，由于被捆包材料为由较高硬度的金属、合金、陶瓷形成的圆筒型溅射靶100，因此，不会发生与由抽真空导致的包装材料200的移动相伴的被捆包材料的变形等。因此，若以该状态直接实施抽真空，则下述可能性较高：包装材料钩挂于圆筒型溅射靶100的边缘部，在圆筒型溅射靶100与包装材料200之间、尤其是在圆筒型溅射靶100的内侧残存空气。如本实施方式这样，通过从圆筒型溅射靶100的两端侧实施抽真空，能够以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的外侧及内侧捆包。

如图1e～图1h所示，在充分地进行抽真空等之后，将芯子300从圆筒型溅射靶100的内侧拔出，从而制作圆筒型溅射靶100的捆包结构体。若以上述方式在将芯子300插入于圆筒型溅射靶100内侧的状态下实施两方的抽真空工序，则在抽真空时，能够防止包装材料200移动，能够更易于使包装材料200与圆筒型溅射靶100接触，能够更理想地发挥出由本发明带来的、以充分的真空状态将溅射靶的外侧及内侧捆包这样的效果。

需要说明的是，在其他实施方式中，在实施前述实施方式的图1a～图1h的圆筒型溅射靶100的捆包之前，也可以进一步以覆盖圆筒型溅射靶100的内侧及外侧的局部或全部的方式，预先粘贴保护膜。保护膜只要为能保护圆筒型溅射靶100的表面且能剥离的膜即可，没有特别限定。作为保护膜，可举出例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯系树脂膜；聚乙烯、聚丙烯膜等聚烯烃系树脂膜；丙烯酸系树脂膜等。优选从由聚酯系树脂膜、聚烯烃系树脂膜及丙烯酸系树脂膜组成的组中选择。通过粘贴保护膜，从而在实施抽真空时，能够防止对圆筒型溅射靶100(尤其是溅射面、作为针对溅射装置的安装面的密封面)造成损伤。

在另一实施方式中，圆筒型溅射靶100的凸缘部103及盖104不限于前述实施方式的图1所示形状的那些。例如，在前述实施方式的图1a～图1h中，凸缘部103形成为朝向筒部101的外侧具有凸部。但是，在另一实施方式中，也可以是在筒部101的外侧及内侧不具有凸部的筒状。此外，在又一实施方式中，凸缘部103也可以形成为朝向筒部101的内侧或者筒部101的外侧及内侧这两者而具有凸部。但是，在形成有在筒部101的外侧具有凸部的凸缘部103的圆筒型溅射靶100中，能够更理想地发挥出以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的外侧及内侧捆包这样的效果。在又一其他实施方式中，在图1a～图1h的实施方式中，盖104在筒部101的端部处以沿圆筒型溅射靶100的长度轴方向延伸的方式设置，但也可以以例如形成凸部或凹部的方式来设置。

前述实施方式的图1a～图1h所示的圆筒型溅射靶100为圆筒型的形状，但在其他实施方式中，只要为能用作溅射靶的筒型形状即可，可以为任意形状的溅射靶。例如，在筒型形状中，不仅包括与长度方向的轴垂直的截面为圆形的形状，还包括与长度方向的轴垂直的截面为椭圆形、四角形或多角形的形状。即，在筒状的形状中，不仅包括圆筒形状，还包括方筒形状。

在其他实施方式中，前述实施方式的图1a中所示的将包装材料200罩在圆筒型溅射靶100的外侧的工序、与图1b中所示的将包装材料200中的一端的开口部封闭从而形成闭口部201的工序的顺序也可以是相反的。

在另一实施方式中，在前述实施方式的图1a及图1b中，也可以不是使用两个端部(第一端部200a及第二端部200b)开口的筒状的包装材料200来罩在圆筒型溅射靶100的外侧，而是使用由一端(相当于第一端部200a侧)具有闭口部且另一端(相当于第二端部200b侧)具有开口部、或一端(相当于第一端部200a侧)具有开口部且另一端(相当于第二端部200b侧)具有闭口部的袋状的片材构成的包装材料200来罩在圆筒型溅射靶100的外侧。

在该情况的一个实施方式中，以使得凸缘部103侧朝向包装材料200的原本所形成的闭口部的方式将包装材料200罩在圆筒型溅射靶100的外侧。因此，在该实施方式中，将无需前述实施方式的图1b中的在包装材料200中形成闭口部201的工序。

或者，在该情况的另一个实施方式中，以使得凸缘部103侧朝向包装材料200的开口部的方式将包装材料200罩在圆筒型溅射靶100的外侧。因此，在该实施方式中，将凸缘部103侧的包装材料200的开口部封闭，将被封闭的包装材料200的一端推入圆筒型溅射靶100的内侧。当进行盖104侧的抽真空时，将包装材料200的原本所形成的闭口部的局部开口，从此处进行抽真空，并将盖104侧的包装材料200的局部的开口部封闭。对于盖104侧的包装材料200的原本所形成的闭口部的开口而言，在将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧前、或者将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧时进行。在推入前及推入时的任一情况下，通过将盖104侧的包装材料200的闭口部开口，从而能够使空气从开口部逸出，并且能够充分地将包装材料200推入。通过该工序，主要能够在圆筒型溅射靶100的外侧使包装材料200密合而形成真空状态。另外，作为其他实施方式，在不将盖104侧的闭口部的局部开口的情况下，针对封闭着的包装材料200的一端，在将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧前或者在将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧时，将凸缘部103侧的包装材料200的局部(未被插入于圆筒型溅射靶100内侧的部分)开口。在推入前及推入时中的任一情况下，通过将凸缘部103侧的包装材料200的局部开口，从而能够使空气从该局部的开口部逸出，并且能够充分地将包装材料200推入。在将包装材料200推入后，从该凸缘部103侧的该局部的开口部抽真空，将凸缘部103侧的包装材料200的该局部的开口部封闭，然后，将盖104侧的闭口部的局部开口，从此处进行抽真空，并将盖104侧的包装材料200的局部的开口部封闭。

在上述实施方式的情况下，在将芯子300插入于内侧的状态下，实施从盖104侧的局部的开口的抽真空及从凸缘部103侧的局部(未被插入于圆筒型溅射靶100内侧的部分)的开口的抽真空中的至少一者、优选两者，在抽真空后将芯子300拔出，由此，能够防止包装材料200在抽真空时移动，更易于使包装材料200与圆筒型溅射靶100接触，能够以充分的真空状态来捆包圆筒型溅射靶100。

在前述实施方式的图1c中，使用芯子300将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧，但在又一实施方式中，只要能够将包装材料200的一端推入圆筒型溅射靶100的内侧即可，可使用本领域技术人员已知的任意方法。例如，可以吹喷高压的空气、各种气体，或者，也可以以使得凸缘部103侧向上的方式配置圆筒型溅射靶100，在圆筒型溅射靶100的内侧夹着包装材料200而配置重物并使其落下，由此将包装材料200的一端推入圆筒型靶100的内侧。

在其他实施方式中，针对前述实施方式的图1d，在将包装材料200的内径y的大小设定为如前文所述与圆筒型溅射靶100的外径y1匹配的适当大小的情况下，也可以不包括上述工序。

在又一实施方式中，前述实施方式的图1d的工序可以在捆包工序中的任意阶段来实施。例如，可以在罩于圆筒型溅射靶100之前以包装材料200成为适当尺寸的方式将包装材料200密封，或者也可以在前述实施方式的图1a中刚刚将包装材料200罩在圆筒型溅射靶100的外侧之后、或在前述实施方式的图1c中包装材料200的一端被推入圆筒型溅射靶100的内侧之前的阶段等中实施。从提高将包装材料200罩于圆筒型溅射靶100时的操作性、防止与包装材料200摩擦而对圆筒型溅射靶100造成损伤的效果、及预先减少外侧的空气从而使得易于以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的外侧及内侧捆包的效果的观点出发，优选的是，前述实施方式的图1d的工序在比将包装材料200罩于圆筒型溅射靶100的工序靠后、且比各抽真空的工序靠前来实施。

在其他实施方式中，前述实施方式的图1e及图1f所示盖104侧的抽真空及密封部202的形成的工序、与图1g及图1h所示凸缘部103侧中的局部的开口、抽真空及密封部203的形成的工序的顺序也可以相反。但是，从使得易于以充分的真空状态将圆筒型溅射靶100的内侧捆包的效果的观点出发，优选的是，如前述实施方式那样，先实施盖104侧的抽真空及密封部202的形成，在圆筒型溅射靶100的内侧的抽真空(凸缘部103侧的抽真空)之前形成密合状态。

在前述实施方式中，在实施2次抽真空后将芯子300拔出，但在其他实施方式中，将芯子300从圆筒型溅射靶100的内侧拔出的时间点只要是在将包装材料200的闭口部201推入圆筒型溅射靶100后即可，没有特别限定。可以在前述实施方式的图1c中刚刚将包装材料200推入圆筒型溅射靶100的内侧之后、在图1d中沿包装材料200的长度方向将包装材料200密封后、以及在图1e及图1f中实施盖104侧的抽真空及密封部202的形成后的任意阶段中将芯子300拔出。

根据上述本发明涉及的捆包方法，在包装材料200被从圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧推入溅射靶的内侧后，从溅射靶的凸缘部103侧及盖104侧的两端侧实施2次抽真空，因此，不会使包装材料200钩挂于凸缘部103，并且能够使得直至具备盖104的圆筒型溅射靶100的内侧为止成为充分的真空状态，从而使包装材料200密合于圆筒型溅射靶100的内壁面。

图2为示出利用图1a～图1h的方法捆包而成的圆筒型溅射靶的捆包结构体的截面图。

如图2所示，圆筒型溅射靶的捆包结构体400具备圆筒型溅射靶100和包装材料200。如前文所述，圆筒型溅射靶100在筒部101的内侧具有空间102，在筒部101的一端的开口部设置有凸缘部103，在筒部101的另一端的开口部设置有盖104。包装材料200以密合状态覆盖圆筒型溅射靶100的内表面及外表面、优选内表面的大致整面及外表面的大致整面，在圆筒型溅射靶100的两端侧具备密封部202(盖104侧)及密封部203(凸缘部103侧)。优选的是，在包装材料200与圆筒型溅射靶100之间，成为真空状态。真空状态的含义如前文所述。

本说明书中，所谓“密合”或“密合状态”，可以是对象物彼此并未完全没有间隙地紧密地接合，也可以隔着前述保护膜。本说明书中，对于形成“密合”或“密合状态”而言，是指下述状态：应用前述捆包方法、利用包装材料以充分的真空状态将对象物的内侧及外侧包裹，包装材料沿对象物的轮廓形状而大致紧密地接合。

详细而言，对于圆筒型溅射靶的捆包结构体400而言，图3的放大图中所示的圆筒型溅射靶100的凸缘部103与包装材料200之间的分离距离d在从捆包起于20℃大气压下经过1周后优选小于10mm，更优选为0.01mm以上且9mm以下，进一步优选为0.02mm以上且8mm以下，更进一步优选为0.03mm以上且5mm以下，特别优选为0.05mm以上且2mm以下。当分离距离d为上述上限以下时，能够防止因真空包装的松弛而导致与包装材料200发生摩擦并由此使圆筒型溅射靶100产生伤痕的情况，另外，能够防止由未完全排尽的空气及水分导致的圆筒型溅射靶100的表面发生变性(例如氧化)。另外，当分离距离d为上述下限以上时，能够防止尤其是刚刚抽真空之后的圆筒型溅射靶100的边缘部附近的包装材料200的破裂。所谓分离距离d，是指以20n的力将包装材料200在与圆筒型溅射靶100的面垂直的方向上拉伸时、圆筒型溅射靶100与包装材料200之间的距离中分离最远的距离(除层差部、包装材料200的褶皱部分外)。从测定的容易性出发，优选的是，对比凸缘部103侧的密封部202及盖104侧的密封部203中的任一者更靠外侧的、多余的包装材料200进行拉伸来进行测定。为了以恒定负荷来进行拉伸，优选使用弹簧秤、张力计等能测定拉伸力的仪器。详细而言，例如，利用穿孔机、针等在多余部分的包装材料200中开出孔，将测定仪器钩挂于该孔，在以恒定负荷拉伸的状态下测定分离距离d。分离距离d可以使用例如尺子、游标卡尺等来进行测定。在分离距离d小的情况下，例如，可以从对凸缘部进行拍摄而得的放大照片求出。

另外，在图4所示的将圆筒型溅射靶10真空包装后的状态下，由于空间12的容积大，因此，在抽真空后圆筒型溅射靶10的内部成为负压，会发生包装材料20的局部从圆筒型溅射靶10的凸缘部13侧被吸入内部的现象。但是，在利用本发明涉及的捆包方法所得的圆筒型溅射靶的捆包结构体400中，由于包装材料200以密合状态覆盖圆筒型溅射靶100的内表面，因此不会发生该现象。在圆筒型溅射靶的捆包结构体400中，能够防止当包装材料200被拉至圆筒型溅射靶100的内部时、例如凸缘部103的角、层差等边缘部与包装材料200摩擦所导致的包装材料200的破损。

对于盖104侧的密封部202及凸缘部103侧的密封部203而言，如前文所述，它们是在各抽真空后、例如将2层包装材料200合在一起后，使用市售的封口机(例如长条封口机)等进行热熔接、粘接或密封而形成的密封部。

密封部202及密封部203位于圆筒型溅射靶100的两端侧、优选位于圆筒型溅射靶100的两端的外侧。所谓圆筒型溅射靶100的两端侧，是指圆筒型溅射靶100的长轴的两端侧(凸缘部103侧及盖104侧)。所谓圆筒型溅射靶100的两端的外侧，是指从圆筒型溅射靶100的长轴的两端(凸缘部103及盖104)起、在圆筒的长度方向上与圆筒型溅射靶100的两端相反的一侧。即，是指捆包状态下的密封部202与密封部203之间的距离大于圆筒型溅射靶100的长度。

从圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面起至密封部202的距离(从圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面起至在垂线方向上引出的线与密封部202的交点之间的距离)及从圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端面起至密封部203的距离(从圆筒型溅射靶100的凸缘部103侧的端面起至在垂线方向上引出的线与密封部203的交点之间的距离)可具有比圆筒型溅射靶100的盖104侧的端面的外半径大的距离。相对于该外半径而言的比率优选为1.1倍以上，更优选1.2倍以上且7倍以下，进一步优选1.3倍以上且5倍以下，更进一步优选1.4倍以上且3倍以下，特别优选1.5倍以上且2.5倍以下。具体来讲，具有45mm以上且750mm以下、优选80mm以上且450mm以下、更优选100mm以上且300mm以下、进一步优选120mm以上且250mm以下的距离。通过将密封部设置于上述位置，抽真空后的密封部形成的操作性良好，并且还能够确保设置用于再次抽真空的开口部的空间。通过确保这样的空间，能够对在抽真空中存在缺陷者、因长期保管而真空状态松弛者进行重复抽真空。

通过使在各抽真空后形成的密封部202及密封部203位于圆筒型溅射靶100的两端侧、优选两端的外侧，从而能够提高包装材料200相对溅射靶的外侧及内侧的密合度，并且可适宜改善因对凸缘部103的钩挂所带来的影响。进一步地，能够在更长的期间内在包装材料200不松弛的情况下进行保管等。

或者，圆筒型溅射靶的捆包结构体400具备圆筒型溅射靶100和包装材料200，圆筒型溅射靶100与包装材料200之间为真空状态、以及/或者、圆筒型溅射靶100与包装材料200为密合状态，圆筒型溅射靶100的凸缘部103与包装材料200之间的分离距离d在从捆包起于20℃大气压下经过1周后小于10mm。真空状态和密合状态的含义如前文所述。

另外，为了防止覆盖着圆筒型溅射靶100的包装材料200在运输时因外力而破损、或者为了即使包装材料200发生破损也能够将圆筒型溅射靶100周围维持为真空状态，也可以进一步用包装材料200覆盖圆筒型溅射靶的捆包结构体400的外侧。这样的层结构也可以为3层以上的多层。此时，各层间的空间优选利用抽真空而成为真空状态。各层的包装材料200可以相同也可以不同。包装材料200的第2层以后的捆包可利用与第1层相同的方法来实施，而由于已利用第1层的包装材料200而将圆筒型溅射靶100以充分的真空状态进行了捆包，因此，也可以使包装材料200仅密合于圆筒型溅射靶100的外侧来进行捆包。

以下，示出本发明的实施例及比较例。下述本发明的实施例及比较例的方式仅仅只是示例，本发明不受其任何限定。

实施例

(实施例1)

准备具有长度为2750mm、外径为165mm、内径为126mm的圆筒部、并且在圆筒部的一端的开口部具备凸缘部且在另一端具备盖的圆筒型溅射靶(全长为2950mm)。圆筒型溅射靶的筒部主体由高纯度(99.999％)的铝形成，凸缘部及盖为铝合金制，盖侧及凸缘侧的端面的外半径分别为70mm、82.5mm。用保护膜(“mitsuimaskingtape”(注册商标)，mitsuichemicalstohcelloinc.制)对圆筒型溅射靶的圆筒部表面进行保护。将圆筒型溅射靶穿入切割成长度方向的长度为约6400mm而得的筒状包装材料(starplasticindustryinc.制的s-wrapal(透氧度：60cc/m²atm·day，透湿度：9g/m²·day))之中而将其罩上。此时，以使得圆筒型溅射靶的盖侧的端部位于距约6400mm的包装材料的端部约250mm的位置的方式进行配置。然后，将圆筒型溅射靶的凸缘部侧的包装材料的一端密封，使用芯子将所述一端推入直至其到达圆筒型溅射靶的内侧的空间的盖方向的端部。

将处于已推入的状态的包装材料的松弛去除后，使用带真空泵脱气性能的长条封口机(fujiimpulseco.，ltd.制的los-1000-nt1)，一边用手使空气积存向圆筒型溅射靶的盖侧移动、一边从圆筒型溅射靶的盖侧的包装材料的开口部进行30秒抽真空，然后，将开口部密封。然后，将圆筒型溅射靶的凸缘侧的包装材料的端部的局部切割，使用同一装置进行120秒抽真空后，将开口部密封。此时，包装材料也密合于盖侧的端面，在盖的中央处包装材料彼此密合在一起，盖侧的密封部位于距圆筒型溅射靶的盖侧的端面约150mm的位置。另外，包装材料也密合于凸缘部的端面，凸缘部侧的密封部位于距圆筒型溅射靶的凸缘部侧的端面约150mm的位置。在完全结束密封后，将芯子拔出，制作圆筒型溅射靶的捆包结构体。除圆筒型溅射靶的层差部、包装材料的褶皱部分以外，包装材料均密合于圆筒型溅射靶的外表面的大致整面、内表面的大致整面。

(实施例2)

关于待捆包的圆筒型溅射靶，使用筒部主体由高纯度(99.99％)的无氧铜形成、且凸缘部及盖为无氧铜制的圆筒型溅射靶，除此以外，利用与前述实施例1同样的方法来制作圆筒型溅射靶的捆包结构体。

(比较例)

准备与前述实施例1同样的圆筒型溅射靶，用保护膜(“mitsuimaskingtape”(注册商标)，mitsuichemicalstohcelloinc.制)对表面进行保护。将圆筒型溅射靶穿入切割成长度方向的长度为约3450mm而得的筒状包装材料(starplasticindustryinc.制的s-wrapal(透氧度：60cc/m²atm·day，透湿度：9g/m²·day)))之中而将其罩上。此时，以使得圆筒型溅射靶的盖侧的端部位于距约3450mm的包装材料的端部约250mm的位置的方式进行配置。然后，用带真空泵脱气性能的长条封口机(fujiimpulseco.，ltd.制的los-1000-nt1)将圆筒型溅射靶的盖侧的包装材料的开口部密封。此时，未实施抽真空。然后，使用同一装置，一边用手使空气积存向圆筒型溅射靶的凸缘部侧移动、一边从圆筒型溅射靶的凸缘侧的包装材料的开口部进行120秒抽真空，然后，将凸缘侧的包装材料的开口部密封，制作圆筒型溅射靶的捆包结构体。以使盖侧的密封部处于距圆筒型溅射靶的盖侧的端面约150mm的位置、并且使凸缘部侧的密封部处于距圆筒型溅射靶的凸缘部侧的端面约150mm的位置的方式进行了密封，但包装完成后，凸缘侧的密封部如图4所示那样被略微吸入至圆筒型溅射靶的内部。

(评价)

将实施例1、实施例2及比较例的圆筒型溅射靶的捆包结构体在20℃大气压下保管1周。针对保管后的各圆筒型溅射靶的捆包结构体，用穿孔机在比凸缘部侧的密封部更靠外侧的包装材料上开出约6mm的孔，在此处安装设置有钩部的数字测力计(imadaco.，ltd.制，dsv-200n)，用20n的力向圆筒型溅射靶的长度方向外侧(相对凸缘部侧的端面而言大致垂直的方向)拉伸。用尺子对此时产生的包装材料与圆筒型溅射靶的凸缘部侧的端面之间的间隙进行测定。针对各捆包结构体，在5处实施测定，结果，在实施例1及实施例2的圆筒型溅射靶中，最大的间隙分别为1mm以下。另一方面，在比较例的捆包结构体中，最大的间隙为10mm。需要说明的是，针对实施例1、实施例2及比较例的圆筒型溅射靶的捆包结构体，在刚刚刚真空包装之后，也实施与上述同样的评价，圆筒型溅射靶与包装材料之间的间隙为1mm以下。

如上所述，实施例1及实施例2的圆筒型溅射靶的捆包结构体即使在捆包后经过1周，捆包着圆筒型溅射靶的包装材料也未松弛。另一方面，对于比较例的圆筒型溅射靶的捆包结构体而言，当其在捆包后经过1周时，捆包着圆筒型溅射靶的包装材料发生了松弛。由上述结果可以理解，通过将包装材料的一端推入圆筒型溅射靶的内侧、并在此后从圆筒型溅射靶的凸缘部侧及盖侧这两侧实施2次抽真空，从而即使是对于在两端具有凸缘部及盖的长条的圆筒型溅射靶而言，也能够以充分的真空状态将其外侧及内侧进行捆包。

产业上的可利用性

根据本发明的溅射靶的捆包方法，针对在一端设置有凸缘部、且另一端被盖等密封的长条的筒型溅射靶，能够在包装材料不会钩挂于凸缘部的情况下、并且以使得直至溅射靶的外侧及内侧为止形成充分的真空状态的方式来进行捆包。