炉管储存系统的制作方法

本实用新型涉及一种储存系统，特别是涉及一种炉管储存系统。

背景技术：

一般而言，目前于半导体产业之制程中，常见且广泛地通过炉管做为晶圆之承载体，以利晶圆于制程反应设备进行后续的表面处理之程序，而现今常用的炉管多半以石英(SiO2)制成为主要材质。在大部分的情况下，炉管之使用暨维护方式主要系经过清洁、干燥，以及保存之步骤，使得炉管可以保持良好的洁净状态，以方便后续程序的再利用，同时也兼顾晶圆的品质及其制程良率。

然而，传统的炉管保存方式系直接放置于盛放架，或者是收纳于储存柜内，由此，当炉管的数量较多时，势必需要增加盛放架或储存柜的数量，导致其占地面积也因此扩大，更造成盛放架或储存柜占据室内空间太大的情况。

技术实现要素：

本实用新型之一目的在于提供一种炉管储存系统，以改善上述先前技术的缺点以及不足。

本实用新型的炉管储存系统在一些实施态样中，适用于存放多个炉管，并包含储存柜，及至少一储存座。所述储存柜界定出至少一第一容室，并包括位于第一容室下方的层板，所述第一容室具有开口。所述储存座设置于所述第一容室，并包括枢轴件、承载盘、至少一分隔件，及至少一减震件。所述枢轴件沿中心轴枢设于所述层板并能以所述中心轴为轴心相对于所述层板旋转。所述承载盘套设于所述枢轴件并适用于供所述炉管置放于其上表面，且能受所述枢轴件连动而以所述中心轴为轴心旋转，并使所述承载盘上的每个炉管绕所述中心轴转动而靠近或远离所述开口。所述分隔件套设于所述枢轴件且位于所述承载盘上方，且能受所述枢轴件连动而绕所述中心轴转动，并包括套设于所述枢轴件的固定部，及多个相间隔地自所述固定部周缘向外延伸的凸臂部，相邻的两个凸臂部之间供所述炉管其中一者容置，所述固定部具有多个第一外侧缘，每个第一外侧缘的两相反端分别连接于相邻的两个凸臂部，每个凸臂部具有两个位于相反侧的第二外侧缘，每个第二外侧缘的一端连接于所述第一外侧缘其中一者。所述减震件设置于所述第一外侧缘与所述第二外侧缘而供所述炉管靠抵。

在一些实施态样中，所述储存座包括两个相间隔地套设于所述枢轴件的分隔件，及两个分别设置于所述分隔件的减震件，所述分隔件的所述凸臂部在平行所述中心轴的方向上上下对齐。

在一些实施态样中，所述分隔件分别定义为一第一分隔件及一第二分隔件，所述第一分隔件的每个凸臂部定义为第一凸臂部，所述第二分隔件的每个凸臂部分别为第二凸臂部，所述第一分隔件位于所述第二分隔件与所述承载盘之间，所述储存座还包括多个连接于所述枢轴件且位于所述第一分隔件及所述承载盘之间的第一隔板，所述第一隔板的底面连接于所述承载盘，所述第一隔板的顶面分别连接于所述第一凸臂部的底面。

在一些实施态样中，所述储存座还包括多个连接于所述枢轴件且位于所述第一分隔件及所述第二分隔件之间的第二隔板，每个第二隔板的顶面与底面对应连接于其中一第一凸臂部的顶面及其中一第二凸臂部的底面。

在一些实施态样中，所述减震件是环绕于所述分隔件且包覆所述第一外侧缘与所述第二外侧缘。

在一些实施态样中，所述减震件为防震胶条。

在一些实施态样中，所述储存座还包括多个护管件，每个护管件连接于相邻的两个凸臂部且供其中一炉管设置于所述护管件与所述分隔件之间。

在一些实施态样中，每个护管件具有绳体，及两个分别设置于所述绳体相反两端的卡钩，每个凸臂部具有多个供所述卡钩扣接的连接孔。

在一些实施态样中，每个凸臂部的所述连接孔呈两排地在所述凸臂部长度方向上间隔排列。

在一些实施态样中，所述储存座还包括多个分别设置于所述承载盘的上表面的缓冲件。

在一些实施态样中，所述承载盘具有多个连通其上表面及下表面的通气孔。

本实用新型的有益的效果在于：承载盘适用于承载多个炉管，并通过将承载盘套设于枢接在储存柜中的枢轴件，使承载盘能以通过枢轴件的中心轴为轴心旋转，因此能将承载盘上的炉管轮流旋转至靠近储存柜开口处；另外，通过在枢轴件上套设与承载盘相间隔的分隔件，明确划分出多个供炉管容置的区域，并通过在分隔件周缘设置减震件，增加储存座对炉管的避震效果。

附图说明

本实用新型之其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本实用新型炉管储存系统的一实施例的一示意图；

图2是一立体图，说明所述实施例的一储存座；

图3是一立体分解图，说明所述储存座的细部结构；

图4是一立体图，说明所述储存座适用于供多个炉管置放；及

图5是图4的一俯视图，说明所述储存座的俯视状态。

具体实施方式

参阅图1，本实用新型炉管储存系统100之一实施例，适用于存放多支炉管9(见图4)，且所述炉管9的管径大小至少可区分为两种不同尺寸。所述炉管储存系统100包含一储存柜1、两个过滤装置2，及两个储存座3。所述储存柜1包括一柜本体11、两组门板12、五个抽屉13，及两个侧板架14。

所述柜本体11具有一底板111、一自所述底板111的三个相连接的侧缘向上延伸的围板112、一连接于所述围板112的顶板113、一连接于所述围板112且与所述底板111和所述顶板113相间隔的层板114，及一垂直地连接于所述围板112与所述层板114的间隔板115。所述围板112、所述顶板113、所述层板114及所述间隔板115共同围绕出两个第一容室116，且每个第一容室116具有一开口116a。所述底板111、所述围板112及所述层板114共同围绕出一第二容室117。所述底板111具有多个用以供所述储存柜1外的气体与所述第二容室117中的气体对流交换的第一透气孔111a。所述顶板113具有两个第一安装孔113a。所述层板114具有多个第二透气孔114a及两个分别与所述第一安装孔113a上下对齐的第二安装孔114b。所述第二透气孔114a用以供所述第一容室116中的气体与所述第二容室117中的气体对流交换。所述第一安装孔113a、所述第二安装孔114b供所述储存座3对应枢接。

所述门板12分别枢设于所述围板112及间隔板115的两个侧边，并分别用于启闭所述开口116a。所述抽屉13设置于所述底板111与所述层板114之间的所述第二容室117，且每个抽屉13适用于收纳其中一管径较大的炉管9。所述侧板架14彼此相对的设置于所述围板112的内侧面，并具有一可相对于所述围板112滑动地拉出所述第一容室116的所述开口116a的拉板141，及多个设置于所述拉板141的架体142。所述架体142适用于供管径较小的所述炉管9挂设收纳。

所述过滤装置2设置于所述顶板113且分别对应于所述第一容室116，用以循环并过滤所述第一容室116与所述第二容室131中的气体，且所述第一容室116与所述第二容室131通过所述层板114的所述第二透气孔114a相连通。所述储存座3分别设置于所述第一容室116。不过在其他的实施态样中，所述储存柜1也可以将所述间隔板115取出而只有一个第一容室116，储存座3的数量也可以视实际储存柜1的第一容室116体积大小而对应调整为一个或两个以上，并不以本实施例为限。

另配合参阅图2至图4，每个储存座3包括一枢轴件31、一承载盘32、多个缓冲件33、两个分隔件34、两个减震件35、四个第一隔板36、四个第二隔板37，及八个护管件38。所述枢轴件31沿一中心轴C1垂直地枢设于所述层板114，且所述枢轴件31两端分别枢接于所述顶板113的所述第一安装孔113a与所述层板114的所述第二安装孔114b，以使所述枢轴件31能相对于所述顶板113与所述层板114绕所述中心轴C1转动。

所述承载盘32套设于所述枢轴件31且邻近所述储存柜1的所述底板111顶面，并适用于供管径较大的所述炉管9置放于其上表面。所述承载盘32具有多个连通其上表面及下表面的通气孔321，以加强所述炉管9内气体流动的效果。所述承载盘32能受所述枢轴件31连动而以所述中心轴C1为轴心旋转，是以所述承载盘32上的每个炉管9可绕所述中心轴C1转动而旋转靠近所述开口116a或旋转远离所述开口116a。

每个缓冲件33为长条状，且所述缓冲件33以所述中心轴C1为中心在两个相互垂直的方向上设置于所述承载盘32的上表面，以防止所述炉管9的底面直接接触于所述承载盘32造成刮伤。

所述分隔件34相间隔地套设于所述枢轴件31并位于所述于承载盘32上方，且能受所述枢轴件31连动而绕所述中心轴C1转动。具体而言，于本实施例中，每个分隔件34整体呈十字状，并具有一略呈方形且套设于所述枢轴件31的固定部341，及四个分别自所述固定部341周缘的四个夹角向外延伸的凸臂部342。所述固定部341具有四个第一外侧缘3411，且每个第一外侧缘3411的两相反端分别连接于相邻的两个凸臂部342。所述分隔件34的所述凸臂部342在平行所述中心轴C1的方向上上下对齐，且每个凸臂部342具有两个位于相反侧的第二外侧缘3421，及六个贯穿所述凸臂部342上下表面的连接孔3422。每个第二外侧缘3421的一端连接于所述第一外侧缘3411其中一者。所述连接孔3422呈两排地在所述凸臂部342长度方向上间隔排列。于本实施例中，相邻的两个凸臂部342之间可供所述炉管9的其中一者容置，因此所述储存座3最多可容置四个管径较大的炉管9。不过在其他的实施态样中，所述凸臂部342的数量也可以只有三个或多于四个，相邻的两个凸臂部342之间也可以容置多于一个炉管9，不以本实施例为限。

所述减震件35呈环状，且整体轮廓与所述分隔件34相同。每个减震件35环绕于每个分隔件34的外周缘且包覆每个分隔件34的所述第一外侧缘3411与所述第二外侧缘3421。另配合参阅图5，相邻的两个凸臂部342的所述第二外侧缘3421及位于所述第二外侧缘3421之间的所述第一外侧缘3411可共同夹持所述炉管9的其中一者，使所述炉管9能稳固地容置于所述储存座3。所述减震件35除了能供所述炉管9靠抵而防止所述炉管9在所述承载盘32的旋转过程中发生倾倒或碰撞，也能防止所述炉管9的侧面直接接触于所述分隔件34造成刮伤。于本实施例中，所述减震件35为防震胶条。在其他的实施态样中，分隔件34的数量也可以只有一个，减震件35的数量也因此可以对应地只有一个。

再次参阅图2至图4，为了更清楚地说明本实施例中所述分隔件34的相对位置与连接关系，下面段落将所述分隔件34定义为一第一分隔件34a及一第二分隔件34b，所述第一分隔件34a的每个凸臂部342定义为第一凸臂部342a，所述第二分隔件34b的每个凸臂部342定义为第二凸臂部342b。所述第一分隔件34a位于所述承载盘32与所述第二分隔件34b之间。

所述第一隔板36连接于所述枢轴件31且位于所述第一分隔件34a及所述承载盘32之间，以在所述承载盘32划分出四个分别供所述炉管9放置的区域。详细的说，所述第一隔板36以所述中心轴C1为中心呈十字状地排列于所述承载盘32。所述第一隔板36的底面连接于所述承载盘32，且从所述枢轴件31的外周面延伸至所述承载盘32的外周缘。所述第一隔板36的顶面分别连接于所述第一凸臂部342a的底面，且从所述枢轴件31的外周面延伸至所述第一凸臂部342a的末端。

所述第二隔板37连接于所述枢轴件31并位于所述第一分隔件34a及所述第二分隔件34b之间。每个第二隔板37的顶面与底面对应连接于相互对齐的其中一第一凸臂部342a的顶面及其中一第二凸臂部342b的底面，且所述第二隔板37的顶面从所述枢轴件31的外周面延伸至所述第二凸臂部342b的末端，所述第二隔板37的底面从所述枢轴件31的外周面延伸至所述第一凸臂部342a的末端。

每个护管件38连接于相邻的两个凸臂部342且供所述炉管9的其中一者设置于所述护管件38与所述分隔件34之间。详细的说，每个护管件38具有一用以拴住其中一炉管9的绳体381，及两个分别设置于所述绳体381相反两端且可分离地扣接于所述凸臂部342的所述连接孔3422的卡钩382。所述卡钩382可视炉管9的管径大小对应调整扣接的位置。举例来说，当所述承载盘32上的炉管9管径较小，可将所述卡钩382扣接于远离所述凸臂部342的末端的连接孔3422，以使所述护管件38靠近所述分隔件34的所述固定部341而能拴紧管径较小的所述炉管9，而当所述承载盘32上的炉管9管径较大，则可将所述卡钩382扣接于接近所述凸臂部342的末端的连接孔3422，以使所述护管件38远离所述分隔件34的所述固定部341且能拴紧管径较大的所述炉管9。

综上所述，本实用新型炉管储存系统的承载盘32适用于承载多个炉管9，并通过将承载盘32套设于一枢接在储存柜1中的枢轴件31，使承载盘32能以一通过枢轴件31的中心轴C1为轴心旋转，因此能将承载盘32上的炉管9轮流旋转至靠近储存柜1开口116a处；另外，通过在枢轴件31上套设与承载盘32相间隔的分隔件34，不但能明确划分出多个供炉管9容置的区域，且能用以夹持所述炉管9，并通过在分隔件34周缘设置减震件35，增加储存座3对炉管9的避震效果，故确实能达成本实用新型之目的。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。