手动上货辅助装置的制作方法

文档序号:19882581发布日期:2020-02-11 08:56阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种手动上货辅助装置,其包括移动小车和起吊装置,所述起吊装置固定在移动小车上,随移动小车移动,起吊装置的起吊臂自由端能够实现左右和上下两个方向上的自由活动。其特别适用于小型晶圆厂的晶圆移动,避免直接人工搬运造成人员手部受伤,且搬运过程中会对晶圆造成磨损。

技术研发人员:李秉隆;冯会来;蔡少夫
受保护的技术使用者:芯恩(青岛)集成电路有限公司
技术研发日:2019.03.05
技术公布日:2020.02.11

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