运载装置的制作方法

本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载需要高稳定度的片状物件的运载装置。

背景技术：

在半导体产业及光电产业的蓬勃发展下，越来越多专门针对相关产业需求所设计的运载装置被大量地使用，以在厂区内运送半导体元件或光电元件。由于如晶圆、光罩、玻璃基板或芯片等通常都是很容易碎裂的物件，因此在运载这些物件的过程中必须保持稳固，以避免其受到过度摇晃、震动或碰撞而产生碎裂或损伤。特别是集成电路(integratedcircuit,ic)芯片，通常是先被排成阵列地放置在承载盘(tray)中，再将数个承载盘中放入一集成电路承载盘卡匣(ictraycassette)或是一弹匣(magazine)后，在厂区内各工段之间进行传输。由于这些芯片被放置在承载盘中时并未进行固定，而集成电路承载盘卡匣通常也没有对承载盘提供固定或缓冲，因此，当集成电路承载盘卡匣在运载及传送过程中受到震动或撞击等外力并将这些外力作用传递至芯片等物件上时，这些质量远轻于集成电路承载盘卡匣的物件可能就会产生过度的晃动或震动，严重时甚至可能会从放置位置上跳脱掉落并因而受损。

另外，这些产业所使用的基材或元件等物件以及厂内的环境又必须避免受到微粒污染而影响品质，因此也不能使用泡棉等容易产生细屑或微粒的材料作为缓冲。

技术实现要素：

本实用新型提供一种运载装置，运载装置适于容纳至少一物件并包括一盒体以及至少一弹性件。其中盒体的至少一侧壁具有用以容置该至少一物件的至少一边缘的至少一沟槽。弹性件配置于沟槽内并适于抵接物件且通过弹性力固持物件。

在本实用新型的一实施例中，上述的每一侧壁包括一壁部及至少一定位部，壁部具有至少一开槽，定位部结合于开槽，弹性件形成或设置于定位部。

在本实用新型的一实施例中，上述的沟槽包含至少一形成于壁部的第一沟槽及至少一形成于定位部的第二沟槽，且各该第二沟槽的上缘不低于对应的该第一沟槽的上缘，各该第二沟槽的下缘不高于对应的该第一沟槽的下缘。

在本实用新型的一实施例中，上述的定位部与弹性件为一体成形。

在本实用新型的一实施例中，上述的沟槽沿一第一方向延伸，弹性件适于沿垂直于第一方向的一第二方向弹性变形。

在本实用新型的一实施例中，上述的沟槽具有相对的一第一内表面及一第二内表面，第一内表面适于承载物件，弹性件连接于第二内表面且往第一内表面延伸。

在本实用新型的一实施例中，当弹性件未弹性变形时，弹性件与对应的第一内表面之间具有一距离，此距离小于物件于边缘处的厚度。

在本实用新型的一实施例中，上述的弹性件为弯曲状而具有至少一第一弯曲部，至少一第一弯曲部往第一内表面突伸且适于抵接物件。

在本实用新型的一实施例中，上述的弹性件为弯曲状而具有至少一第二弯曲部，每一第二弯曲部往第二内表面突伸，每一第二弯曲部与第二内表面之间具有一间隙。

在本实用新型的一实施例中，上述的第二内表面具有与各第二弯曲部对应的至少一凹部，且当弹性件弹性变形时，每一第二弯曲部的至少部分突伸至对应的凹部内。

在本实用新型的一实施例中，上述的各第一沟槽具有一第一内表面，各第二沟槽具有一第二内表面，第一内表面适于承载物件，第二内表面面向运载装置的底部，各弹性件连接于第二内表面且往远离第二内表面的方向突伸。

在本实用新型的一实施例中，当弹性件未弹性变形时，弹性件与对应的第一沟槽下缘之间具有一距离，此距离小于物件于边缘处的厚度。

在本实用新型的一实施例中，上述的弹性件为弯曲状而具有至少一第一弯曲部，第一弯曲部往远离第二内表面的方向突伸。

在本实用新型的一实施例中，上述的弹性件为弯曲状而具有至少一第二弯曲部，第二弯曲部往第二内表面突伸，第二弯曲部与第二内表面之间具有一间隙。

在本实用新型的一实施例中，上述的第二内表面具有与第二弯曲部对应的至少一凹部，且当弹性件弹性变形时，第二弯曲部的至少部分突伸至对应的凹部内。

基于上述，在本实用新型的运载装置中，通过在盒体的沟槽内设置了弹性件，以使被承载的物件的边缘位于沟槽内时，物件的边缘可与弹性件抵接而受到弹性件以弹性力将其固持定位；并在运载过程中利用弹性件提供的缓冲，以吸收或降低传递至运载装置中承载的物件的外力作用，从而避免物件因过度晃动或震动而受到撞击、由放置位置脱落，甚至因而受损。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的运载装置与物件的立体图；

图2是图1的物件移入运载装置后的立体图；

图3是图2的运载装置的局部放大图。

附图标记说明

10：运载装置

20：物件

21：边缘

100：盒体

110：侧壁

111：沟槽

111a：第一沟槽

111b：第一内表面

111c：第二沟槽

111d：第二内表面

112：壁部

112a：开槽

113：定位部

120：顶壁

130：底壁

200：弹性件

210：第一弯曲部

220：第二弯曲部

a：容纳空间

d：距离

n1：第一方向

n2：第二方向

t：间隙

u：凹部

w：厚度

具体实施方式

图1是本实用新型一实施例的运载装置与物件的立体图。图2是图1的物件移入运载装置后的立体图。

请参考图1及图2，本实施例的运载装置10包括一盒体100，盒体100适于容纳物件20。

在本实施例中，物件20示出的数量为一个，但在其他实施例中，物件20的数量也可以为多个，且多个物件20彼此间隔叠设。另外，本实施例中所例示的物件20为一方形基板，但在其他实施例中，物件20也可以是放置集成电路芯片用的承载盘，或是晶圆、光罩等片状或板状物体。本实用新型不对此加以限制。

盒体100包括顶壁120、连接于顶壁120且彼此相对的两侧壁110以及连接于两侧壁110且与顶壁120相对的底壁130。顶壁120、两侧壁110以及底壁130共同定构出容纳空间a，以容纳物件20。

盒体100的两侧壁110各自具有多个与底壁130平行设置的沟槽111，且两侧壁110上的多个沟槽111彼此相互对应。物件20的边缘21适于分别伸入两侧壁110上的多个沟槽111的其中两相对应的沟槽111。

图3是图2运载装置的局部放大图。请同时参考图3，本实施例的运载装置10还包括多个弹性件200。弹性件200的材质可有许多不同的选择，例如是金属、塑胶或其它具有弹性的材质，本实用新型不对此加以限制。

各弹性件200分别被设置或形成于多个沟槽111内，且适于抵接物件20的上表面邻近边缘21处，并通过因为弹性变形而产生的弹性力来抵压、固持物件20，使物件20被保持在定位。

同时，由于盒体100的沟槽111内设置了弹性件200，故当被承载的物件20的边缘21位于沟槽111内时，在运载过程中，物件20能利用弹性件200作为缓冲，以吸收或降低运载装置10所受到的外力作用，从而避免物件20于运载装置10内产生晃动、震动或跳动。

如图1及图2所示，各沟槽111均沿着第一方向n1延伸，物件20适于沿第一方向n1进入盒体100的容纳空间a。而弹性件200适于沿垂直于第一方向n1的第二方向n2弹性变形并抵压物件20邻近边缘21处。其中第二方向n2与底壁130相互垂直。

各侧壁110可以分别一体成形，或者是如图1至图3所示范的：各侧壁110包括一壁部112及两个定位部113。各侧壁110的壁部112分别具有两个开槽112a，各定位部113则分别结合于一开槽112a中。

在这种实施方式下，各沟槽111包含至少一形成于壁部112的第一沟槽111a及至少一形成于定位部113的第二沟槽111c。弹性件200则是设置或形成于各定位部113上的各第二沟槽111c内。

如图3所示，为了使物件20在被置入或移出运载装置10时，物件20的边缘21能够顺利地沿着沟槽111移动，因此各第二沟槽111c的上缘必须不低于对应的第一沟槽111a的上缘，而各第二沟槽111c的下缘则不可高于对应的第一沟槽111a的下缘。

弹性件200与定位部113可以分别制作后再将弹性件200设置于定位部113上，或是弹性件200也可以与定位部113一体成形并使得各弹性件200凸露于容纳空间a中。定位部113与开槽112a的结合方式可以采取卡合、扣合、粘合或其他任意一种适合的方式，本实施例对此并不加以限制。

在其他实施例中，每一侧壁110也可以具有一个或是两个以上的定位部113。定位部113的数量可以视物件20的大小、对稳定性的要求等不同的需求而定。当每一侧壁110具有两个或以上的定位部113时，这些定位部113是沿着沟槽111延伸的方向排列，且每一列的定位部113彼此相互对齐。

另外，本实施例中的开槽112a以对称设置为范例，从而，各定位部113能够较平均地定位于物件20的边缘21上的两处位置。在其他实施例中，开槽112a可为其他适当形式的设计，本实用新型不对此加以限制。

每一第一沟槽111a具有一第一内表面111b。第一内表面111b即为第一沟槽111a向上的一面，适于向上抵接物件20邻近边缘21处的下表面以承载物件20。各第二沟槽111c具有一第二内表面111d。第二内表面111d即为第二沟槽111c向下的一面。

弹性件200连接于第二内表面111d朝向下方延伸。当物件20的边缘21伸入第一沟槽111a及第二沟槽111c后，各弹性件200抵接物件20邻近边缘21处的上表面。而各弹性件200也受到物件20的顶推而向上弹性变形，并因而产生一向下的弹性力，因而可将物件20定位及固持于盒体100内部。

详细来说，物件20的边缘21尚未进入第一沟槽111a及第二沟槽111c内、弹性件200尚未被物件20顶推而弹性变形时，第一沟槽111a的下缘与弹性件200之间具有一距离d，物件20的边缘21处的厚度w大于距离d。

当物件20的边缘21伸入第一沟槽111a及第二沟槽111c内时，由于第一沟槽111a的下缘与弹性件200之间原本的距离d小于物件20的边缘21处的厚度w，因此弹性件200受到来自物件20的顶推而向上弹性变形，同时产生一向下回复的弹性力而抵压并固持物件20。

当运载装置10在运载物件20的过程中因故发生摇晃或震动等状况时，由于弹性件200可以通过弹性变形吸收外力而发挥缓冲的效果，因此可以避免物件20产生过度的晃动或震动。

特别是所运载的是载有集成电路芯片的承载盘时，还可通过弹性件200所发挥的缓冲效果，来避免摇晃或震动的力量传递至承载盘，然后再由承载盘传递至其上所承载的芯片而使芯片因过度震动而受损，或是因过度震动而由承载位置跳脱掉落导致损坏。

弹性件200可以有许多不同形式的结构设计，在本实施例中的各弹性件200以弯曲状，且具有两第一弯曲部210以及一介于两第一弯曲部210间的第二弯曲部220而呈波浪状的造型结构为范例。

所述两第一弯曲部210往远离该第二内表面111d的方向突伸且适于抵接物件20邻近边缘21处的上表面。所述第二弯曲部220介于两第一弯曲部210之间，且第二弯曲部220往第二内表面111d突伸。

这样的结构，使得每一弹性件200可通过多个第一弯曲部210来增加其固持物件20的范围，而提供更好的固定效果。但却不需要增加太多与物件20接触的面积，以避免由于物件20滑动通过时双方间的摩擦所产生的粉尘。在其他实施例中，弹性件200可为其他适当形式的结构设计，本实用新型不对此加以限制。

另外，第二弯曲部220与第二内表面111d之间具有间隙t。间隙t的宽度必须大于弹性件200因受到物件20的顶推而向上弹性变形的距离，如此才能在物件20被置入盒体100内时，能有足够的空间让弹性件200向上弹性变形以让物件20的边缘21从第一弯曲部210与第一内表面111b之间通过。

在一更佳的实施方式中，第二内表面111d具有可容纳弹性件200的第二弯曲部220的凹部u。由于凹部u的表面其实也是第二内表面111d的一部分，因此，凹部u表面与第二弯曲部220同样也具有间隙t。

当物件20被置入盒体100内时，弹性件200受到物件20的顶推而向上弹性变形，此时第二弯曲部220就可向着凹部u内移动。当弹性件200弹性变形时，第二弯曲部220的至少部分突伸至对应的凹部u内。

当运载装置10受到外力作用而震动或跳动时，这些作用力也会经由承载物件20的第一内表面111b而传递至物件20。此时，必须靠弹性件200的弹性力以压抵物件20。除此之外，弹性件200还可利用弹性变形的能力来提供缓冲的效果。

在一变化的实施方式中，运载装置10也可不设有开槽及定位部。此时，各沟槽111就不再有第一沟槽及第二沟槽之分，第一内表面111b即为沟槽111的下表面，第二内表面111d即为沟槽111的上表面。除此之外，其对于固持物件20的功效及动作机制皆与上述的说明相同，故此处便不再重复赘述。

综上所述，本实用新型的运载装置中，盒体的沟槽内设置了弹性件，故当被承载的物件的边缘位于沟槽内时，物件的边缘可与弹性件抵接而受到弹性件以弹性力将其固持定位。同时，运载装置在运载过程中，能利用弹性件提供的缓冲，以吸收或降低传递至其中承载的物件的外力作用，而使物件不致在运载装置内因为过度晃动或震动而受到撞击、由放置位置脱落，甚至因而受损。

虽然本实用新型已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本实用新型的保护范围当视权利要求所界定的为准。