一种防护固定晶圆转运包装盒的制作方法

本实用新型涉及半导体存储领域，具体涉及一种防护固定晶圆转运包装盒。

背景技术：

晶圆包装盒主要用于储存晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生破裂。晶圆包装盒主要包括立式晶圆包装盒与罐式晶圆包装盒两种，立式晶圆包装盒的优点在于洁净度高、离子低，低气体释放，用于晶圆的垂直运输，承载，降低晶圆污染的风险，罐式晶圆包装盒的优点在于简洁的设计易于清洁和使用，同时保证了产品在运输或存放过程中的安全性，通过提高包装密度实现运输成本最低化。

目前，罐式晶圆包装盒主要采用采用双层结构，如专利号为“cn201821661515.6”的一种晶圆包装盒，采用双层侧壁设计，可在包装盒受到外界冲撞起到缓冲作用，并通过盒盖处的充气孔向包装盒内充入氮气，保证包装盒内的晶圆不受外界空气的污染。

但是实现应用过程中上述包装盒还存在以下缺陷和不足：

当将晶圆放入包装盒内后，并密封盒盖后，晶圆与盒盖之间存在一定的空隙，从而在转运过程中，晶圆与盒盖内壁容易碰撞，造成晶圆的损坏，同时该盒盖与包装盒的采取卡接方式，密封性差，外界空气容易进入包装盒内，进而晶圆受到外界空气的污染几率增加。

技术实现要素：

解决的技术问题

针对现有技术所存在的上述缺点，本实用新型提供了一种防护固定晶圆转运包装盒，能够有效地解决现有技术的晶圆与盒盖之间存在一定的空隙，从而在转运过程中，晶圆与盒盖内壁容易碰撞，造成晶圆的损坏，同时该盒盖与包装盒的采取卡接方式，密封性差，外界空气容易进入包装盒内，进而晶圆受到外界空气的污染几率增加的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种防护固定晶圆转运包装盒，包括盒体和螺纹连接在盒体上下侧的上盖体与下盖体，盒体内侧通过若干组矩形加强筋连接有容纳环，所述盒体上下内侧壁均设置有螺纹部，上盖体下侧与下盖体上侧均设置有密封槽，密封槽外圈内侧壁均设置有与螺纹部螺纹配合的密封螺纹，上盖体下侧轴心与下盖体上侧轴心均开设有光滑凹槽，所述容纳环上下侧均卡接有固定组件，所述固定组件包括与光滑凹槽间隙配合的光滑柱体和设置在光滑柱体下侧的垫片，光滑柱体圆周侧壁均匀设置有若干组支撑件，垫片通过若干组弹性橡胶件连接在支撑件下侧，所述容纳环内侧壁上下均开设有若干组与支撑件远离光滑柱体一端卡接配合的卡槽。

更进一步地，所述上盖体上侧开设有通孔，通孔上设置有与之配合的密封塞，通过通孔先将该包装盒内的空气抽出，再通过通孔向该装置内充入氮气，最后用密封塞密封通孔，实现氮气保护作用。

更进一步地，所述上盖体下侧与下盖体圆周外侧壁均设置有防滑纹，上盖体上侧开设有若干组扇形内凹槽，且若干组扇形内凹槽均围绕上盖体轴心，下盖体下侧设置有若干组与扇形内凹槽卡接配合的扇形外凸件，且若干组扇形外凸件均围绕下盖体轴心，通过设置若干组扇形内凹槽和扇形外凸件，不仅提高上盖体与下盖体的缓冲作用，而且可通过扇形外凸件与扇形内凹槽的卡接配合，便于若干组包装盒上下叠加。

更进一步地，所述容纳环内侧壁均匀开设有若干组缺槽，便于从容纳环内取出晶圆。

更进一步地，若干组所述支撑件之间连接有若干组弧形加强筋，提高支撑件的牢固性和稳定性。

有益效果

采用本实用新型提供的技术方案，与已知的公有技术相比，具有如下有益效果：

本实用新型结构简单，通过螺纹密封，提高该装置的密封性，从而减少外界空气进入包装盒内，进而减少包装盒内的晶圆受到外界空气污染的几率；通过垫片可对晶圆两侧进行挤压固定，从而将晶圆固定在容纳环中，避免晶圆在容纳环内产生晃荡而造成的碰撞损坏；同时该装置包装晶圆时，上盖体、下盖体以及固定组件可无特定方向的安装在容纳环两侧，从而提高晶圆的包装效率，进一步提高该装置的市场竞争力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的主视角结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的爆炸结构示意图；

图4为本实用新型的盒体结构示意图；

图5为本实用新型的上盖体上侧与下盖体下侧结构示意图；

图6为本实用新型的上盖体下侧与下盖体上侧结构示意图；

图7为本实用新型的固定组件结构示意图；

图中的标号分别代表：1-盒体；2-上盖体；3-下盖体；4-矩形加强筋；5-容纳环；6-密封槽；7-光滑凹槽；8-光滑柱体；9-垫片；10-支撑件；11-弹性橡胶件；12-卡槽；13-通孔；14-扇形内凹槽；15-扇形外凸件；16-缺槽；17-弧形加强筋。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

实施例

本实施例的一种防护固定晶圆转运包装盒，参照图1-7：包括盒体1和螺纹连接在盒体1上下侧的上盖体2与下盖体3，盒体1内侧通过若干组矩形加强筋4连接有容纳环5，盒体1上下内侧壁均设置有螺纹部，上盖体2下侧与下盖体3上侧均设置有密封槽6，密封槽6外圈内侧壁均设置有与螺纹部螺纹配合的密封螺纹，上盖体2下侧轴心与下盖体3上侧轴心均开设有光滑凹槽7，容纳环5上下侧均卡接有固定组件，固定组件包括与光滑凹槽7间隙配合的光滑柱体8和设置在光滑柱体8下侧的垫片9，光滑柱体8圆周侧壁均匀设置有若干组支撑件10，垫片9通过若干组弹性橡胶件11连接在支撑件10下侧，容纳环5内侧壁上下均开设有若干组与支撑件10远离光滑柱体8一端卡接配合的卡槽12。

其中，上盖体2上侧开设有通孔13，通孔13上设置有与之配合的密封塞；上盖体2下侧与下盖体3圆周外侧壁均设置有防滑纹，上盖体2上侧开设有若干组扇形内凹槽14，且若干组扇形内凹槽14均围绕上盖体2轴心，下盖体3下侧设置有若干组与扇形内凹槽卡接配合的扇形外凸件15，且若干组扇形外凸件15均围绕下盖体3轴心；容纳环5内侧壁均匀开设有若干组缺槽16；若干组支撑件10之间连接有若干组弧形加强筋17。

使用时，通过卡槽12和支撑件10的卡接配合，先将一组支撑件10卡接在容纳环5一侧，再通过下盖体3的密封螺纹与盒体1内侧壁的螺纹部配合，同时将光滑柱体8对准光滑凹槽7，将下盖体3螺纹密封在一侧，使得支撑件10与光滑主体8固定在容纳环5一侧，从而实现其中一组垫片9固定在容纳环5一侧，之后，将容纳环5倒置，使得下盖体3位于容纳环5下侧，将若干组晶圆垂直放置在容纳环5内，再将另外一组的支撑件10卡入容纳环5的另外一侧，再将上盖体2的光滑凹槽7对准该侧的光滑柱体8，并螺旋密封在容纳环5的另外一侧，从而实现晶圆包装在该容纳环5内。

该装置结构简单，通过上盖体2的密封槽6和下盖体3的密封槽6均与盒体1的螺纹密封，提高该装置的密封性，从而减少外界空气进入包装盒内，进而减少包装盒内的晶圆受到外界空气污染的几率；通过上盖体2和下盖体3分别对其同侧的光滑柱体8的挤压固定，使得容纳环5两侧的支撑件10稳定固定在容纳环5两侧，并通过弹性橡胶件11连接支撑件10与垫片9，由于弹性橡胶件11具有一定的弹性，从而垫片9可对晶圆两侧进行挤压固定，从而将晶圆固定在容纳环5中，避免晶圆在容纳环5内产生晃荡而造成的碰撞损坏；同时该装置包装晶圆时，上盖体2、下盖体3以及固定组件可无特定方向的安装在容纳环5两侧，从而提高晶圆的包装效率，进一步提高该装置的市场竞争力。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。