静电吸附体的制作方法

本发明涉及一种可利用电性吸附力吸附被吸附物的静电吸附体，详细而言涉及一种对于纸或布等片状的绝缘物也能够吸附的静电吸附体。

背景技术：

自从前以来，已报告有几个把持、输送纸或布等片状的被吸附物的手段，特别是报告有自多张堆积的布等一张一张地剥离、把持、输送的手段。例如报告有：使用粘着带作为被吸附物的保持部，同时对其吸附面下功夫(参照专利文献1)；使用在辊的表面具有多根勾挂针的勾挂辊(参照专利文献2)；作为把持部而利用这些粘着带或针或者空气的负压，同时对堆积的布等吹附空气而设法进行剥离的方法(参照专利文献3)。然而，在如专利文献1那样的使用粘着带的方法中，随着粘着力变弱而需要更换，成本变高，另外，存在自粘着带剥离被吸附物时也需要下功夫等问题。另外，在如专利文献2那样的使用针来进行勾挂把持的方法中，有损伤被吸附物之虞而欠佳，进而，在如专利文献3的方法那样在被吸附物的把持或剥离中使用负压或压缩的空气的方法中，除了在被吸附物残留吸附痕的问题以外，也有需要压缩机而使装置大型化等问题。

另一方面，与如上所述的方法不同，特别是作为把持、搬送布等产生空气泄漏的片状的搬送物的方法，报告有使把持部带电而利用其静电力的方法(参照专利文献4)。根据专利文献4，报告有：自并用的带电装置(带电枪)照射电子或离子，使把持部(第一把持片17)或被吸附物(搬送物101)带电的方法；或者利用静电卡盘(chuck)等作为把持部(第一把持片17)。

且说，作为通过电性吸附力而使被吸附物吸附的装置，自从前以来一直使用静电卡盘。静电卡盘适合用于对半导体基板或玻璃基板进行处理时的吸附或保持，通常包括自上下方向分别利用电介质夹入电极的结构，通过根据吸附原理对电极施加电压，可将其中一个电介质的表面作为吸附面而吸附被吸附物，有时具有如下的结构，即，包括加热部件，或者与包括使冷媒流动的管路的金属制基底一体粘接。另外，除了对此种半导体基板等进行处理的静电卡盘以外，本申请的发明人等人也已提出有应用静电卡盘的电性吸附的结构及原理的静电吸附结构体。

例如，专利文献5中提出有一种构造变更的便利性高的静电吸附结构体，其可通过使在两个电介质之间夹入电极的多个片构件层叠，并对电极间施加电压，而将构件彼此吸附固定，并且可使其他吸附面吸附纸或树脂片等展示物或公开物等，在使用后可通过切断电压的施加，而使片构件彼此或被吸附物容易地分离。另外，例如，专利文献6中提出有一种发电装置，将在两个绝缘层之间夹入有吸附电极的静电卡盘的表面作为拆装部件，在其上安装膜状的太阳电池，由此使设置场所的选择性及拆装性优良。这些专利文献5的静电吸附结构体或专利文献6的发电装置使用静电卡盘的吸附原理，拆装性优良，另外虽然薄且在操作性方面下了功夫，但根据本申请的发明人等人的事先研究而发现：在如专利文献5所记载的静电吸附结构体或专利文献6所记载的发电装置那样的至今为止所报告的静电卡盘中，作为介电层(绝缘体)而使用的聚酰亚胺膜或聚对苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalate，pet)膜的体积电阻率高达1×10¹⁷ω·cm左右，推测是利用库仑力(coulombforce)来吸附被吸附物，因此特别是对于绝缘性高的布，未必可表现出强的吸附力。

再者，作为所述以外的静电卡盘所涉及的发明，本申请的申请人也提出有专利文献7及专利文献8中所记载的技术。此处，关于专利文献7，在其段落0066(试验例4)及图26中，记载有表示将体积电阻率自聚酰亚胺所具有的1×10¹⁴ω·m减少至1×10⁸ω·m附近的情况下的时间常数及电阻的变化的曲线图，但其终归只是设想所述文献的段落0041中作为课题的静电卡盘的时间常数降低(消除自试样吸附面剥去试样的困难性)的情况下的数值仿真，实际的聚酰亚胺膜不会采用如此低的体积电阻率。另外，一般聚酰亚胺具有3gpa左右的高拉伸弹性系数，对被吸附物的形状追随性不足，因此如上所述，于在被吸附物的吸附面使用作为介电层(绝缘体)的聚酰亚胺膜的情况下，对于绝缘性高的布等片状的吸附物难以表现出高的吸附力。另外，关于专利文献8，在其段落0028的记载中记载有使用弹性系数为0.5mpa以上且10mpa以下的树脂材料作为构成工件处理装置的材料，但所述树脂材料终归只是起到在所述文献所记载的工件加热装置中，期待用来将加热器构件与基底基盘吸附固定的作用的“吸附片”的作用，依然未公开是为了吸附绝缘性高的布等片状的吸附物，而用作被吸附物的吸附面的介电层(绝缘体)的使用形式。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开昭62-244830号公报

专利文献2：日本专利特开平6-178883号公报

专利文献3：日本专利特开平7-68066号公报

专利文献4：日本专利特开2014-30887号公报

专利文献5：wo2011/001978号公报

专利文献6：wo2012/128147号公报

专利文献7：wo2005/091356号公报

专利文献8：wo2012/090782号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

如上所述，在现有的静电卡盘中，特别是在对布等绝缘性高的片状的被吸附物难以表现出充分的吸附力的状况下，本申请的发明人等人进行了深入的研究，结果发现，通过至少在对被吸附物的吸附面上，采用具有特定的拉伸弹性系数并且具有特定的体积电阻率的树脂膜，将其制成与其他绝缘体一并夹入电极层并层叠而成的层叠片，并设为与可对电极层施加电压那样的电源装置一并使用的简便的静电吸附体的构造，对于布等绝缘性高的片状的被吸附物也可表现出强的吸附力，从而完成了本发明。进而，本申请的发明人等人也发现，通过除了设为如上所述的静电吸附体的构造以外，也对所述静电吸附体的形状等下功夫，可一张一张地确实地吸附(剥离)所述片状的被吸附物。

因此，本发明的目的在于提供一种利用电性吸附力，特别是对布等绝缘性高的片状的被吸附物可表现出高吸附力的静电吸附体。

解决问题的技术手段

即，本发明的主旨如以下所述。

[1]一种静电吸附体，以静电吸附力吸附被吸附物，所述静电吸附体的特征在于包括：层叠片，依次层叠有厚度20μm～200μm的绝缘体、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的树脂膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；至少所述树脂膜的拉伸弹性系数为1mpa以上且未满100mpa，并且其体积电阻率为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹³ω·cm，且所述电极层包含具有正电极及负电极的双极型电极，通过对所述电极层施加电压所产生的静电吸附力，而将所述树脂膜作为吸附面来吸附被吸附物。

[2]根据[1]所述的静电吸附体，其中所述树脂膜包含软质聚氯乙烯。

[3]根据[1]或[2]所述的静电吸附体，其特征在于包含所述双极型电极的电极层为一对梳齿状电极。

[4]根据[3]所述的静电吸附体，其特征在于包含所述双极型电极的电极层是一对梳齿状电极的梳齿彼此相互保持一定的间隔并在同一平面啮合而形成，各梳齿的宽度为0.5mm～20mm，且所述梳齿彼此的间隔为0.5mm～10mm。

[5]根据[1]～[4]中任一项所述的静电吸附体，其特征在于至少是与被吸附物的吸附面具有曲面。

[6]根据[1]～[5]中任一项所述的静电吸附体，其特征在于吸附面的面积小于被吸附物的面积。

[7]根据[1]～[6]中任一项所述的静电吸附体，其特征在于被吸附物为片状绝缘物。

发明的效果

根据本发明，可提供一种利用电性吸附力，同时特别是能够对布等绝缘性高的片状的被吸附物表现出高吸附力的静电吸附体。如上所述通过电性吸附力即可吸附或固定，因此能够不使用粘着带或针等物理手段，而简便且确实地吸附或把持布等片状的被吸附物，成本性也优良。并且，通过利用本发明的技术，例如能够通过搭载于机器人而由缝制工厂中的缝制作业的效率化来提高衣服制品的生产性，例如，可期待向服装(apparel)等领域及业界的发展。

附图说明

[图1]图1是用于说明实施例1的静电吸附体(层叠片)中所使用的双极型电极(以下有时将其称为“平板状”)的示意图，(i)是平面图，(ii)是x-x剖面的剖面说明图〔图中的数值表示各电极宽度为30mm、电极的间隔(间距)为2mm〕。

[图2]图2是用于说明实施例2的静电吸附体(层叠片)中所使用的双极型电极(以下有时将其称为“梳齿状”)的平面图〔图中的数值表示各梳齿的宽度(电极宽度)为10mm、电极的间隔(间距)为2mm)。

[图3]图3是用于说明实施例中进行的静电吸附体的吸附性的评价方法的说明照片。图中的白箭头表示水平方向。

[图4]图4是用于说明试验例18～试验例19中的吸附性的评价的示意图，(i)表示试验例18的吸附状态，(ii)表示试验例19的吸附状态。

[图5]图5是用于说明试验例20～试验例21中的吸附性的评价的示意图，(i)表示试验例20的吸附状态，(ii)表示试验例21的吸附状态。

具体实施方式

以下，对本发明进行详细说明。

如图1所示，本发明的静电吸附体至少包括：将相对于被吸附物而成为吸附面的树脂膜、电极层、及绝缘体依次层叠，而将电极层夹入树脂膜及绝缘体而成的层叠片；以及对电极层施加电压的电源装置(未图示)。另外，如图1及图2所示，作为电极层，包括具有正电极及负电极的双极型电极。以下，对各构造进行详细说明。

＜树脂膜＞

在本发明的静电吸附体中，作为与被吸附物间的吸附面而使用的树脂膜，其体积电阻率需要为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹³ω·cm。如后述的实施例中所示，若所述成为吸附面的树脂膜的体积电阻率超过1×10¹³ω·cm，则对被吸附物的吸附力会下降，例如，也会因被吸附物的自重而落下。另一方面，若体积电阻率未满1×10¹⁰ω·cm，则虽然可推测作用于被吸附物的静电吸附力自身会增大，但在吸附面与被吸附物之间产生泄漏电流，有可能对纸或布等纤维(被吸附物)造成损伤，因此欠佳。自吸附力的表现或安全性的方面而言，优选的是所述体积电阻率可为1×10¹⁰ω·cm～1×10¹²ω·cm。

另外，对于成为吸附面的所述树脂膜，需要将其拉伸弹性系数(杨氏模量(young'smodulus))设为1mpa以上且未满100mpa。关于其理由，虽然详细的原理尚不确定，但在本申请中特别是作为吸附对象的片状的绝缘物大多较薄且柔软，为了可追随此种被吸附物的形状等来吸附，对于所述树脂膜，至少将成为吸附面的所述树脂膜的拉伸弹性系数(杨氏模量)设为所述范围。另外，作为其他理由，如后所述，原因在于，在本申请中特别是在使作为吸附对象的片状的绝缘物一张一张地吸附、剥离的情况下，优选的是使本发明的静电吸附体的吸附面以具有曲面的方式成为辊状的形状等，但在加工成此种形状的情况下也优选为具有所述拉伸弹性系数。

另外，对于所述树脂膜，为了确保绝缘性、柔软性、对被吸附物的吸附追随性及吸附力等，需要将其厚度设为20μm～200μm，优选的是可设为50μm～100μm。在所述厚度未满20μm的情况下，容易引起绝缘破坏(electricabreakdown)，由此若在树脂膜上形成针孔(pinhole)，则有无法作为静电吸附体发挥功能之虞。另一方面，在超过200μm的情况下，对被吸附物的吸附追随性或柔软性变差、或相对于被吸附物的距离变大，由此有吸附力下降之虞，因而欠佳。

而且，作为如上所述的树脂膜的具体例，可列举聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)、尼龙、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯等，或者可列举为了调整这些的导电性而经加工(混入填料等)的树脂膜等，为了将体积电阻率及拉伸弹性系数设为所述规定的范围内，优选为聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯，更优选为软质聚氯乙烯。

＜绝缘体＞

另外，在本发明中，关于在与被吸附物的吸附面为相反侧所使用的绝缘体，可使用与所述树脂膜相同者，或者也可为不同者，但有使应经由所述树脂膜而在与被吸附物之间流动的电流向所述绝缘体侧流动之虞，因此对于所述绝缘体，优选的是采用与所述树脂膜的体积电阻率相同、或体积电阻率较其更大的绝缘体。另外，就静电吸附体(层叠片)整体显现柔软性的观点而言，所述绝缘体的拉伸弹性系数(杨氏模量)优选的是与所述树脂膜的拉伸弹性系数(杨氏模量)为相同程度。再者，关于所述绝缘体的厚度，需要设为20μm～200μm，优选的是可设为50μm～100μm，其是基于与所述树脂膜的情况相同的理由。

作为此种绝缘体的具体例，没有限定，可使用与所述树脂膜相同者、或者氮化铝、氧化铝等陶瓷等，优选的是与所述树脂膜同样地可列举聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)、尼龙、聚丙烯、聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯等，或者可列举为了调整这些的导电性而经加工(混入填料等)的绝缘体等，为了将体积电阻率及拉伸弹性系数设为所述规定的范围内，优选为聚氨基甲酸酯、软质聚氯乙烯，更优选为软质聚氯乙烯。

＜电极层＞

作为本发明中所使用的电极层，若假设要设为单极，则需要在被吸附物这一方配置电极，特别是在被吸附物为布的情况下，不可能以所述方式配置，因此至少设为具有正电极及负电极的双极型电极。对其材质、形状等并无特别限定，但需要将其厚度设为1μm～20μm。在厚度未满1μm的情况下，有因静电吸附体的变形而引起电极层的断开或导电性的下降之虞，另一方面，在厚度超过20μm的情况下，存在电极层的硬度变高的倾向，因此阻碍静电吸附体整体的柔软性，有对被吸附物的追随性不足之虞。关于材质、制法，例如可直接使用金属箔，或可为将通过溅射法、离子镀(ionplating)法等而成膜的金属蚀刻为规定的形状而获得，另外，也可为喷镀金属材料，或印刷导电性油墨而形成为规定的形状。

此处，作为所述双极型电极的形状，例如可适当选择如平板状、半圆状、梳齿状或网眼那样的图案形状等，但优选的是可使用一对梳齿状电极，更优选的是可如图2所示，使用一对梳齿状电极的梳齿彼此相互保持一定的间隔并在同一平面啮合而形成者，对于本发明中使用的被吸附物可更强地表现吸附力，因而优选。作为其理由，虽然详细原理并不确定，但在本发明中特别是作为吸附对象的纸或布等为片状绝缘物，因此推测在被吸附物为导体或半导体的情况下支配性地产生的库仑力变少，与此相对，若使用如上所述的一对梳齿状电极作为电极层，则确认到在与所述片状的绝缘物(被吸附物)之间表现出梯度力(gradientforce)，与使用一般的包含正电极及负电极的平板状的双极型电极的情况相比，可表现出更强的吸附力。

而且，对于本发明的双极型电极，如上所述，在一对梳齿状电极的梳齿彼此相互保持一定的间隔并在同一平面啮合而形成的情况下，优选的是各梳齿的宽度(电极宽度)可为0.5mm～20mm，另外，所述梳齿彼此的间隔(间距)可为0.5mm～10mm，更优选的是各梳齿的宽度(电极宽度)为1mm～10mm，另外，所述梳齿彼此的间隔(间距)为1mm～2mm。通过将各梳齿的宽度(电极宽度)设为1mm以上，电极的加工性提高，另一方面，通过将所述宽度设为10mm以下，可抑制吸附力的下降，因而优选。另外，通过将梳齿彼此的间隔(间距)设为1mm以上，有助于抑制电极间的放电，另一方面，通过将所述间隔设为2mm以下，可抑制吸附力的下降，因而优选。即，通过设为此种各梳齿的宽度(电极宽度)及梳齿彼此的间隔(间距)来形成，可确保吸附力、电极的加工性及使用时的安全性等，因而优选。

＜层叠片＞

而且，使用此种树脂膜、电极层及绝缘体，将这些加以层叠而制成层叠片。电极层需要以不露出的方式夹入树脂膜与绝缘体，作为具体的方法，可列举使这些树脂膜、电极层及绝缘体依次层叠，施加热及压力，使这些熔合的方法。或者，也可根据需要而经由接合片或粘接剂或者粘着剂而粘接。但是，当使静电吸附体变形及伸缩时，若在粘接层中插入有其他原材料，则有阻碍变形及伸缩，或引起粘接面的剥离之虞，因此优选为通过膜的热塑性而使这些熔合的方法。

此处，关于所述层叠片，可直接使用层叠有树脂膜、电极层及绝缘体的平板状的层叠片，或者根据被吸附物的状态而适当变更形状等。具体而言，在将本发明中作为吸附对象的片状的绝缘物重叠多张而各片(被吸附物)彼此的密合性强这样的情况下，有时难以一张一张地剥离，因此要求仅将最表面的第一张确实地吸附并剥离。关于这一点，本申请的发明人等人进行了验证，结果如图4的(i)所示，可知本发明的静电吸附体(层叠片)的吸附面以成为曲面的方式形成为辊的形状，并将其在被吸附物的表面滚动，由此接近于将被吸附物一张一张地剥离(卷起)的动作。另一方面发现，即使静电吸附体(层叠片)为平板状等且其吸附面保持平坦，也优选为如图5的(ii)所示，使所述吸附面的面积小于被吸附物的面积，从而尽可能地排除吸附力对自静电吸附体(层叠片)的外周侧起第二张以后的被吸附物造成的影响。关于前者，例如，优选为以静电吸附体(层叠片)的吸附面侧的曲率半径r为25mm左右的方式弯曲，若形成此种曲面(曲部)，则除此以外的形状并无特别限定。另外，关于后者，所述吸附面的面积优选为设为被吸附物的面积的80％左右。

＜电源装置＞

如上所述形成层叠片之后，需要用以对电极层施加电压而产生电性吸附力的电源装置。电源装置可经由连接端子及开关(均未图示)而与所述层叠片的电极层连接，可使用与一般的静电吸附结构体中所使用的装置相同的装置，只要能够产生直流的高电压即可。产生的电位差可设为±100v～±5000v左右，根据需要，也可包括可升压至所需的电压的升压电路(高电压产生电路)。

以包括如上所述的层叠片及电源装置的方式而制成本发明的静电吸附体。根据需要，本发明的静电吸附体也可另行设置传感器等，另外，例如，也可进行电极层的图案的变更等，在本发明的目标范围内适当进行构造的变更及追加等。

再者，在本发明中，作为成为吸附对象的被吸附物，导电体自不必说，特别是在要求经由梯度力来进行吸附的物质中，以片状且绝缘性高的纸或布或树脂膜为对象，但并不限定于此。作为片状的绝缘物，优选的是特别是以这些的各厚度为0.1mm～0.5mm左右、显示绝缘性的体积电阻率为10¹²ω·cm～10¹⁴ω·cm左右者为对象。

实施例

以下，基于实施例及比较例，对本发明的优选实施方式进行具体说明，但本发明并非由此加以限定解释。

[实施例1]

＜静电吸附体的制作(平板状电极)＞

首先，在成为电极层的铜箔(厚度：18μm)的单面侧贴附双面卡普顿(kapton)(注册商标)胶带〔寺冈制作所股份有限公司，商品名：卡普顿(kapton)(注册商标)双面胶带760h〕。继而，仅对其中的铜箔部分，利用切割绘图仪(cuttingplotter)(古拉夫泰科(graphtec)股份有限公司，商品名：fc2250-180vc)，如图1所示，切割成两张电极〔各电极宽度30mm(长度60mm)，及电极的间隔(间距)2mm〕，形成电极图案而制成电极片，之后在所述电极片的与铜箔面相反的面，贴合作为基底基材的绝缘体(鬼怒川(kinugawa)股份有限公司，商品名：古拉法姆(graform)gf-5)。去除不需要的部分的铜箔后，在铜箔面侧使用层压机及辊来贴附作为树脂膜的软质聚氯乙烯膜〔体积电阻率：1×10¹⁰ω·cm(利用后述的方法测定)、拉伸弹性系数(杨氏模量)：20mpa～30mpa、厚度100μm〕，获得将电极层(铜箔)夹入所述绝缘体及树脂膜而成的双极型的层叠片。

对于以所述方式制作的层叠片，安装电源装置〔包含高电压发生装置(±2000v输出)、供电电缆及24v电源的电源装置〕，制成实施例1的静电吸附体。

＜静电吸附体的吸附性评价＞

对所述制作的实施例1的静电吸附体施加±2kv的电压，在其吸附面(树脂膜侧)分别载置吸附四种试验片〔复印纸(上质纸，厚度：0.092mm左右)；聚酯(pe)100％的布片(厚度0.47mm左右)；棉100％的布片1(以下将其记载为“棉1”，印刷有手工艺用图案的硬坯料，厚度0.24mm左右)；棉100％的布片2(以下将其记载为“棉2”，内衣用的软坯料，厚度0.32mm左右)〕作为被吸附物。对于预先安装于所述试验片的环状的勾挂部分(尼龙制)，在勾挂有推拉力计(pushpullgauge)(日本电产新宝(nidec-shimpo)股份有限公司制造的商品名：数字测力计(digitalforcegauge)fgjn-5)的钩后，将推拉力计沿水平方向拉伸，将其测定结果作为对各试验片的吸附力(单位：gf/cm²)。将其情况示于图3中，另外，将结果示于以下的表1中。

[表1]

再者，关于所述实施例1中的软质聚氯乙烯膜的体积电阻率，是通过双环电极法(国际电机工业委员会(internationalelectrotechnicalcommission，iec)60093、美国试验材料学会(americansocietyfortestingandmaterials，astm)d257、日本工业标准(japaneseindustrialstandards，jis)k6911、jisk6271)而测定，关于后述实施例2～实施例3及比较例1～比较例2中所使用的各树脂膜的体积电阻率，也通过相同的方法而测定。

[实施例2]

作为电极层，使用图2所示那样的在同一面上啮合一对梳齿而成的梳齿状电极〔各梳齿的宽度(电极宽度)10mm、电极的间隔(间距)2mm〕，除此以外，以与所述实施例1相同的方式制作实施例2的静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表1所示。

[实施例3]

作为电极层，以与所述实施例2相同的方式制成梳齿状电极，并将其各梳齿的宽度(电极宽度)设为10mm，将电极的间隔(间距)设为5mm，除此以外，以与所述实施例2相同的方式制作实施例3的静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表1所示。

[比较例1]

作为成为被吸附物的吸附面的树脂膜，使用聚酰亚胺膜〔东丽杜邦(toraydupont)股份有限公司制造的商品名：卡普顿(kapton)(注册商标)h、体积电阻率：1×10¹⁷ω·cm(利用所述方法测定)、拉伸弹性系数(杨氏模量)：3×10³mpa、厚度50μm〕，另外，作为电极层，使用与实施例1相同的平板状的双极型电极〔电极宽度60mm(长度110mm)及电极的间隔(间距)2mm〕，除此以外，以与所述实施例1相同的方式制作比较例1的静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表1所示。

[比较例2]

作为成为被吸附物的吸附面的树脂膜，使用聚酰亚胺膜〔东丽杜邦股份有限公司制造的商品名：卡普顿(kapton)(注册商标)h、体积电阻率：1×10¹⁷ω·cm(利用所述方法测定)、拉伸弹性系数(杨氏模量)：3×10³mpa、厚度50μm〕，另外，作为电极层，使用与实施例2相同的梳齿状的双极型电极〔各梳齿的宽度(电极宽度)0.7mm、电极的间隔(间距)0.7mm〕，除此以外，以与所述实施例1相同的方式制作比较例2的静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表1所示。

[试验例1～12(基于电极宽度的吸附力的测定)]

作为电极层，使用如实施例2那样的梳齿状电极，将其各电极的间隔(间距)固定为2mm，同时将各梳齿的宽度(电极宽度)分别变更为1mm～30mm，除此以外，以与所述实施例2相同的方式制作试验例1～试验例12的各静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表2所示。再者，在使用具有与所述实施例2相同的电极宽度及间距的电极层而进行的试验例10中，其吸附力(gf/cm²)的结果与所述实施例2的情况不同，作为理由，推测是由于试验日不同，因而测定时的温湿度有影响。

[表2]

[试验例13～17(基于电极间距的吸附力的测定)]

作为电极层，使用如实施例2那样的梳齿状电极，将其各梳齿的宽度(电极宽度)固定为10mm，同时将电极的间隔(间距)变更为1mm～5mm，除此以外，以与所述实施例2相同的方式制作试验例13～试验例17的各静电吸附体，另外，以相同的方式进行其吸附性的评价。结果如表3所示。再者，在使用具有与所述实施例2或试验例10相同的电极宽度及间距的电极层而进行的试验例14中，其吸附力(gf/cm²)的结果与所述实施例2或试验例10的情况不同，作为理由，推测是由于试验日不同，因而测定时的温湿度有影响。

[表3]

[试验例18～19(基于静电吸附体的形状的吸附性的比较)]

准备两个所述实施例2中制作的静电吸附体，将其中的一个如图4的(i)那样弯曲成吸附面的曲率半径r为25mm左右的曲面，使其以在作为被吸附物的多张堆积的聚酯(pe)100％的布片(210mm×297mm、厚度0.47mm左右)的最表面滚动的方式接触时，确认是否仅将最表面的第一张吸附剥离，从而确认其成功率(试验例18)。另一方面，如图4的(ii)所示，不弯曲吸附面而直接使用(试验例19)。施加电压设为±2kv，分别试行20次。

结果，关于使静电吸附体的吸附面为曲面的试验例18，仅将最表面的布片吸附、剥离的概率为80％，与此相对，将吸附面保持平面来使用的试验例19的情况下的成功率仅为5％。可推测，在将吸附面保持平面来使用的试验例19的情况下，在所堆积的布片的第二张以后也作用有静电力，从而所述成功率极端下降。

[试验例20～21(基于静电吸附体的吸附面积的吸附性的比较)]

准备两个所述实施例2中制作的静电吸附体，如图5的(i)那样将其中的一个直接使用(吸附面的面积：62370mm²，试验例20)，关于另一个，如图5的(ii)所示，以其吸附面的面积为被吸附物面积的80％的方式进行切割(试验例21)，使这些静电吸附体的吸附面分别吸附于作为被吸附物的多张堆积的聚酯(pe)100％的布片(210mm×297mm、厚度0.47mm左右、面积：62370mm²)时，分别确认是否仅将最表面的第一张吸附剥离，从而确认其成功率。施加电压设为±2kv，分别试行20次。

结果，在静电吸附体的吸附面的面积与作为被吸附物的聚酯布片的面积相同的试验例20中，仅将最表面的布片吸附、剥离的概率仅为5％，与此相对，静电吸附体的吸附面的面积较作为被吸附物的聚酯布片的面积更小的试验例21的情况下的成功率优异，为100％。可推测，在静电吸附体的吸附面的面积较被吸附物更大的情况下，在所堆积的布片的第二张以后也作用有静电力，从而所述成功率极端下降。

符号的说明

a：电极(正电极或负电极)

b：树脂膜

b’：绝缘体

c、c’：静电吸附体(层叠片)d：被吸附物

e：推拉力计