一种基板传送机构的制作方法

文档序号:21269519发布日期:2020-06-26 22:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板传送机构,其特征在于,包括

平移装置,水平设置,所述平移装置包括第一端和第二端;

第一升降装置,设置于所述平移装置下方,且与所述平移装置第一端相对设置;

第二升降装置,设置于所述平移装置下方,且与所述平移装置第二端相对设置;以及

载台,可拆卸式安装至所述平移装置顶部、所述第一升降装置顶部或第二升降装置顶部;当所述载台被安装至所述平移装置顶部时,所述载台从所述平移装置第一端滑动至所述平移装置第二端。

2.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括

对位夹具,设于所述载台上表面,用于将基板固定在所述载台上。

3.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,

所述平移装置为导轨。

4.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,

所述平移装置为传送带。

5.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括

转移装置,当所述第一升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时,将所述载台从所述第一升降装置顶部转移至所述平移装置上;

当所述第二升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时,将所述载台从所述平移装置转移至所述第二升降装置顶部。

6.根据权利要求5所述的基板传送机构,其特征在于,所述转移装置为机械手。

7.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括

喷淋装置,设于所述载台上方,所述喷淋装置包括

喷淋导管,其两端沿水平方向延伸;以及

若干喷嘴,均匀设于所述喷淋导管上,每一喷嘴连通至所述喷淋导管,其喷口朝向所述载台。

8.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,

所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括顶杆和顶缸,所述顶杆可拆卸式连接至一载台,所述顶缸被安装至地面,所述顶杆可带动所述载台在竖直方向上进行升降运动。

9.根据权利要求7所述的基板传送机构,其特征在于,所述载台包括

若干平行排列的长轴,每一长轴的中轴线方向与所述喷淋导管的中轴线方向垂直;以及

若干滚轮,每一滚轮中轴线均与一长轴的中轴线在同一直线上。

10.根据权利要求2所述的基板传送载台,其特征在于,还包括

吹风装置,设于所述第二端,设于所述载台靠近所述对位夹具一侧,用以对所述载台表面进行吹风处理。


技术总结
本发明公开了一种基板传送机构,包括平移装置,包括第一端和第二端;第一升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第一端相对设置;第二升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第二端相对设置;以及载台,可拆卸式安装至平移装置顶部、第一升降装置顶部或第二升降装置顶部;当载台被安装至平移装置顶部时,载台从平移装置第一端滑动至平移装置第二端。本发明的有益效果在于,本发明中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板,避免基板在载台上滑动,提高了基板的使用寿命和良品率,对位夹具可向四周收缩移动,能够对应不同尺寸的基板,降低制程成本,采用双层载台替换的方式,节约了成本,有利于实现大批量生产。

技术研发人员:任学超
受保护的技术使用者:TCL华星光电技术有限公司
技术研发日:2020.03.26
技术公布日:2020.06.26
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1