1.一种基板传送机构,其特征在于,包括
平移装置,水平设置,所述平移装置包括第一端和第二端;
第一升降装置,设置于所述平移装置下方,且与所述平移装置第一端相对设置;
第二升降装置,设置于所述平移装置下方,且与所述平移装置第二端相对设置;以及
载台,可拆卸式安装至所述平移装置顶部、所述第一升降装置顶部或第二升降装置顶部;当所述载台被安装至所述平移装置顶部时,所述载台从所述平移装置第一端滑动至所述平移装置第二端。
2.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括
对位夹具,设于所述载台上表面,用于将基板固定在所述载台上。
3.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,
所述平移装置为导轨。
4.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,
所述平移装置为传送带。
5.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括
转移装置,当所述第一升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时,将所述载台从所述第一升降装置顶部转移至所述平移装置上;
当所述第二升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时,将所述载台从所述平移装置转移至所述第二升降装置顶部。
6.根据权利要求5所述的基板传送机构,其特征在于,所述转移装置为机械手。
7.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,还包括
喷淋装置,设于所述载台上方,所述喷淋装置包括
喷淋导管,其两端沿水平方向延伸;以及
若干喷嘴,均匀设于所述喷淋导管上,每一喷嘴连通至所述喷淋导管,其喷口朝向所述载台。
8.根据权利要求1所述的基板传送机构,其特征在于,
所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括顶杆和顶缸,所述顶杆可拆卸式连接至一载台,所述顶缸被安装至地面,所述顶杆可带动所述载台在竖直方向上进行升降运动。
9.根据权利要求7所述的基板传送机构,其特征在于,所述载台包括
若干平行排列的长轴,每一长轴的中轴线方向与所述喷淋导管的中轴线方向垂直;以及
若干滚轮,每一滚轮中轴线均与一长轴的中轴线在同一直线上。
10.根据权利要求2所述的基板传送载台,其特征在于,还包括
吹风装置,设于所述第二端,设于所述载台靠近所述对位夹具一侧,用以对所述载台表面进行吹风处理。