一种半导体料仓夹爪装置的制作方法

本发明涉及自动化设备技术领域，尤其涉及一种半导体料仓夹爪装置。

背景技术：

在半导体加工领域，由于半导体体积微小，数量巨大，上料过程取料准确度要求高，对于生产环境要求高，目前对于半导体加工使用人工进行上料，存在着生产效率低下，生产成本高，生产时间长，良品率低下等问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供一种半导体料仓夹爪装置，用以解决半导体加工过程中上料的问题。

为了克服现有技术的不足，本发明采用以下技术方案：

根据本发明第一方面实施例的半导体料仓夹爪装置，包括上夹爪组件，下夹爪组件，导向组件，固定组件，驱动升降组件。所述导向组件设置在所述固定组件上；所述上夹爪组件和下夹爪组件相对设置在所述导向组件上；所述驱动升降组件设置所述导向组件上，且与所述上夹爪组件和下夹爪组件连接，用于驱动所述上夹爪组件和下夹爪组件沿着所述导向组件上下相对运动。

优选地，所述上夹爪组件包括上夹爪、夹紧指、夹紧垫、上夹爪法兰轴承、夹紧转轴、上夹爪限位块、上夹爪基座和弹性扭簧，两个所述上夹爪固定设置在所述上夹爪基座上，所述夹紧指通过所述夹紧转轴设置在所述上夹爪上，所述夹紧垫设置在所述夹紧指上，所述夹紧指与所述夹紧转轴连接，弹性扭簧设置在所述夹紧指和所述夹紧转轴之间。

优选地，所述下夹爪组件包括下夹爪、下夹爪缓冲垫、下夹爪法兰轴承、下夹爪限位块和下夹爪基座，两个所述下夹爪固定在所述下夹爪基座上，下夹爪缓冲垫设置在所述下夹爪上。

优选地，所述导向组件包括大导向轴、小导向轴和限位固定环，两个所述大导向轴平行设置在所述固定组件上，两个所述安装套设置在两个大导向轴上，两个所述小导向轴设置在所述上夹爪基座与所述下夹爪基座之间，所述小导向轴上设置有所述限位固定环。

优选地，所述固定组件包括上安装座板和下安装座板，所述导向组件竖直设置在所述上安装座板和下安装座板之间。

优选地，所述驱动升降组件包括大电机、大丝杠、小电机和小丝杠，所述大电机设置在所述上安装座板的下方，所述大丝杠设置在所述大电机和所述下夹爪基座之间，通过大电机驱动大丝杠转动，实现下夹爪基座在竖直方向上进行升降，所述小电机设置在所述下夹爪基座的下方，所述小丝杠设置在所述小电机和所述上夹爪基座之间，通过小电机驱动小丝杠转动，实现上夹爪基座相对下夹爪基座上进行升降。

优选地，所述夹紧垫与料仓的接触面是圆弧面。

优选地，所述夹紧指内置弹性扭簧。

优选地，所述上夹爪限位块是优力胶材料件。

本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：

根据本发明实施例的半导体料仓夹爪装置，能够在半导体料仓的搬运过程中，稳定夹持半导体料仓并且不破坏料仓，从而进行有效地上下搬运，提高了生产效率，且该装置结构简单，便于生产和制造。

附图说明

图1为本发明半导体料仓夹爪装置的结构示意图；

图2为本发明上夹爪结构示意图；

图3为本发明上夹爪细节示意图；

图4为本发明下夹爪组件结构示意图。

附图标记：

100、上夹爪组件；101、上夹爪；102、夹紧指；103、夹紧垫；104、上夹爪法兰轴承；105、夹紧转轴；106、上夹爪限位块；107、上夹爪基座；108、弹性扭簧；

200、下夹爪组件；201、下夹爪；202、下夹爪缓冲垫；203、下夹爪法兰轴承；204、下夹爪限位块；205、下夹爪基座；

300、导向组件；301、大导向轴；302、小导向轴；303、限位固定环；

400、固定组件；401、上安装座板；402、下安装座板；

500、驱动升降组件；501、大电机；502、大丝杠；503、小电机；504、小丝杠。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合说明书附图对本发明作进一步的详细说明，并给出具体实施方式。

如图1所示，根据本发明实施例的一种半导体料仓夹爪装置，包括上夹爪组件100、下夹爪组件200、导向组件300、固定组件400、驱动升降组件500。

具体地，导向组件300设置在固定组件400上；上夹爪组件100和下夹爪组件200相对设置在导向组件300的上；驱动升降组件500设置导向组件300上，且与上夹爪组件100和下夹爪组件200连接，用于驱动上夹爪组件100和下夹爪组件200沿着导向组件300上下相对运动。

也就是说，固定组件300提供安装座板，用来固定安装导向组件300，导向组件300竖直固定安装在上安装座板和下安装座板之间，上夹爪组件100和下夹爪组件200相对设置在导向组件300上，驱动升降组件500驱动上夹爪组件100和下夹爪组件200上下相对运动，夹取半导体料仓。

由此，上夹爪组件100和下夹爪组件200能够在驱动升降组件500驱动下，夹持半导体料仓，并沿着导向组件300的方向上下搬运半导体料仓。

根据本申请的一个实施例，上夹爪组件100包括上夹爪101、夹紧指102、夹紧垫103、上夹爪法兰轴承104、夹紧转轴105、上夹爪限位块106、上夹爪基座107和弹性扭簧108，两个上夹爪101固定设置在上夹爪基座107上，夹紧指102通过夹紧转轴105设置在上夹爪101上，夹紧垫103设置在夹紧指102上，夹紧指102与夹紧转轴105连接，弹性扭簧108设置在夹紧指102和夹紧转轴105之间。

也就是说，如图2所示，上夹爪组件100设有上夹爪基座107上，两个上夹爪101平行并列安装在上夹爪基座107侧边，上夹爪基座107107上方设有两个上夹爪法兰轴承104，上夹爪限位块106设置在上夹爪101上，当上夹爪101夹取料仓时，用来限制料仓的水平位置，同时起到缓冲减少振动的作用。

进一步地，如图3所示，夹紧指102与夹紧转轴105通过弹性扭簧108连接，上夹爪101在夹取料仓时，夹紧指102绕着夹紧转轴105转动，由于弹性扭簧108的弹性作用，使得夹紧指102弹性转动，从而达到上夹爪101夹紧料仓的目的，夹紧垫103设置在夹紧指102与料仓的接触面，其中，夹紧垫103为圆弧形结构，在加紧料仓过程中，圆弧形结构使得夹紧指102弧形转动，进一步加强上夹爪101抓紧料仓。

根据本申请的一个实施例，下夹爪组件200包括下夹爪201、下夹爪缓冲垫202、下夹爪法兰轴承203、下夹爪限位块204和下夹爪基座205，两个下夹爪201固定在下夹爪基座205上，下夹爪缓冲垫202设置在下夹爪201上。

也就是说，如图4所示，下夹爪组件200设有下夹爪基座205，下夹爪基座205上设有两个下夹爪201，分别与两个上夹爪101对应，下夹爪基座205的上方设有两个下夹爪法兰轴承203，下夹爪限位块204设置在下夹爪201上，当上、下夹爪配合夹取料仓时，用来限制料仓的水平位置，同时起到缓冲减少振动的作用。

根据本申请的一个实施例，导向组件300包括大导向轴301、小导向轴302和限位固定环303，两个大导向轴301平行设置在固定组件400上，两个小导向轴302设置在上夹爪基座107与下夹爪基座205之间，小导向轴302上设置有限位固定环303。

也就是说，如图1所示，三个大导向轴301设置在上安装座板和下安装座板之间，其中两个大导向轴301平行设置，上夹爪组件100通过两个上夹爪法兰轴承104套设在两个平行设置的大导向轴301的上游段，由此，上夹爪组件100可以沿着大导向轴301的方向上下移动，下夹爪组件200通过两个下夹爪法兰轴承203套设在两个平行设置的大导向轴301的下游段，由此，下夹爪组件200可以沿着大导向轴301的方向上下移动，两个小导向轴302设置在下夹爪组件200和上夹爪组件100之间，在本申请的一些实施例中，小导向轴302的第一端与下夹爪组件200连接，小导向轴302的第二端穿过上夹爪组件100的通孔，与驱动升降组件500连接，由此，上夹爪组件100可以沿着小导向轴302向下移动靠近下夹爪组件200，限位固定环303设置在小导向轴302上，当上夹爪101沿着小导向轴302向下移动，抵触到限位固定环303时，停止向下移动，限位固定环303用于对上夹爪基座107的运动进行位置限制，避免上夹爪基座107向下移动距离过大，上夹爪101不能准确抓紧料仓。

在本申请的一些实施例中，上夹爪组件100沿着小导向轴302向下移动的距离由程序控制，可避免上夹爪组件100与限位固定环303发生碰撞，也提高了上夹爪组件的移动精度，同样的，下夹爪组件200沿着大导向轴301上下移动的距离也可以由程序控制，保证该装置夹取料仓的准确度。

根据本申请的一个实施例，固定组件400包括上安装座板401和下安装座板402，导向组件300竖直设置在上安装座板401和下安装座板402之间。其中，导向组件300设有三个大导向轴301，起到连接支撑固定上安装座板401和下安装座板402的作用。

根据本申请的一个实施例，驱动升降组件500包括大电机501、大丝杠502、小电机503和小丝杠504，大电机501设置在上安装座板401的下方，大丝杠502设置在大电机501和下夹爪基座205之间，小电机503设置在下夹爪基座205的下方，小丝杠504设置在小电机503和上夹爪基座107之间。

也就是说，如图1所示，大电机501设置在上安装座板401下方，大丝杠502设置在大电机501和下夹爪基座205之间，同时，下夹爪基座205连接在大导向轴301上，大电机501驱动大丝杠502转动，带动下夹爪基座205沿着大导向轴301竖直方向上进行升降，从而实现下夹爪201向上夹爪101靠近，夹取料仓。

小电机503设置在下夹爪基座205下方，小丝杠504设置在小电机503和上夹爪基座107之间，同时，上夹爪基座107连接在小导向轴302上，通过小电机503驱动小丝杠504转动，带动上夹爪基座107沿着小导向轴302竖直方向上进行升降，实现上夹爪基座107在相对下夹爪基座205上进行升降，从而实现下夹爪201向上夹爪101靠近，夹取料仓。

在本申请的一些实施例中，上夹爪组件100和下夹爪组件200相对运动夹取料仓，可以适应各种型号料仓的大小。

根据本申请的一个实施例，上夹爪限位块106是优力胶材料件，上夹爪限位块106采用优力胶材料，这样，上夹爪在在夹紧料仓时，不会破坏料仓。

根据本发明实施例的半导体料仓夹爪装置，能够在半导体料仓的搬运过程中，稳定夹持半导体料仓并且不破坏料仓，从而进行有效地上下搬运，提高了生产效率，且该装置结构简单，便于生产和制造。

最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。