玻璃基板传送装置及玻璃基板清洗装置的制作方法

文档序号:23816876发布日期:2021-02-03 13:37阅读:49来源:国知局
玻璃基板传送装置及玻璃基板清洗装置的制作方法

[0001]
本发明实施例涉及玻璃基板清洗技术,尤其涉及一种玻璃基板传送装置及玻璃基板清洗装置。


背景技术:

[0002]
玻璃基板在进行镀膜工艺之前需要清洗,以去除基板表面的脏污及附着的颗粒。
[0003]
传统的清洗方案是利用滚轮传动的流水方法进行清洗,如图1所示。该方案的弊端在于:滚轮传动装置无法对玻璃基板进行位置固定,在传送过程中,玻璃基板容易产生位移,从而造成基板叠片以及基板划伤等问题。


技术实现要素:

[0004]
本发明实施例提供一种玻璃基板传送装置及玻璃基板清洗装置,以降低玻璃基板叠片、划伤的概率,提高清洗设备的工作效率。
[0005]
第一方面,本发明实施例提供了一种玻璃基板传送装置,包括并排设置的第一传输带和第二传输带,且所述第一传输带与所述第二传输带按照预设距离分开设置,以在所述第一传输带与所述第二传输带之间形成传输通道,所述预设距离按照待传输的玻璃基板的宽度进行调节;
[0006]
所述第一传输带和所述第二传输带相对的一侧均设置有承接限位部,两侧的所述承接限位部相配合以承载所述玻璃基板,所述玻璃基板与所述承接限位部之间摩擦接触;
[0007]
所述第一传输带与所述第二传输带沿同一方向移动以带动所述玻璃基板通过所述传输通道。
[0008]
可选的,所述第一传输带和所述第二传输带均设置有卡槽,所述卡槽形成所述承接限位部;
[0009]
所述卡槽的长度与所述玻璃基板的长度相适配,所述卡槽的凹陷深度与所述玻璃基板的厚度相适配。
[0010]
可选的,所述第一传输带和所述第二传输带相对的一侧均设置有延伸部,所述延伸部形成所述承接限位部;
[0011]
所述延伸部的上表面低于所述第一传输带和所述第二传输带的上表面,所述延伸部的长度与玻璃基板的长度相适配。
[0012]
可选的,沿传输方向,所述延伸部的两端设置有凸起部,所述凸起部的凸起高度与所述玻璃基板的厚度相适配。
[0013]
可选的,沿传输方向各所述承接限位部间隔设置,且各相邻所述承接限位部之间的间隔距离相同。
[0014]
可选的,还包括电机和传动轮;
[0015]
所述传动轮包括主动轮和从动轮,所述第一传输带和所述第二传输带分别连接所述主动轮和所述从动轮;
[0016]
所述主动轮连接所述电机,所述电机驱动所述主动轮转动以带动所述第一传输带和所述第二传输带移动。
[0017]
可选的,所述主动轮包括第一主动轮和第二主动轮,所述从动轮包括第一从动轮和第二从动轮,所述第一主动轮与所述第一从动轮连接所述第一传输带,所述第二主动轮和所述第二从动轮连接所述第二传输带;
[0018]
所述第一主动轮与所述第二主动轮通过第一传动轴连接,所述第一从动轮和所述第二从动轮通过第二传动轴连接;
[0019]
所述第一主动轮和/或所述第二主动轮与所述第一传动轴之间设置有第一松紧机构;所述第一从动轮和/或所述第二从动轮与所述第二传动轴之间设置有第二松紧机构;
[0020]
当所述第一松紧机构处于松开状态时,所述第一主动轮和/或所述第二主动轮可沿所述第一传动轴的延伸方向进行移动;
[0021]
当所述第二松紧机构处于松开状态时,所述第一从动轮和/或所述第二从动轮可沿所述第二传动轴的延伸方向进行移动。
[0022]
可选的,所述第一传输带和所述第二传输带均设置有卡扣机构;
[0023]
当所述卡扣机构处于打开状态时,所述第一传输带和所述第二传输带可拆卸。
[0024]
可选的,所述第一传输带和所述第二传输带均为橡胶皮带。
[0025]
第二方面,本发明实施例还提供了一种玻璃基板清洗装置,包括清洗设备和本发明任意实施例所述的玻璃基板传送装置;
[0026]
所述清洗设备设置于第一传输带与第二传输带之间的传输通道,以清洗待传送的玻璃基板。
[0027]
本实施例所提供的玻璃基板传送装置,通过并排设置两个传输带,两个传输带相对的一侧设置承接限位部来承载玻璃基板,并且承接限位部与玻璃基板之间摩擦接触,使得玻璃基板与承接限位部之间能够产生一定的摩擦力,从而传输过程中,玻璃基板在该摩擦力的作用下能够保持相对位置固定,从而不会出现因为玻璃基板的滑动而导致的叠片问题,能够保护玻璃基板不被划伤,解决了现有的滚轮传动方案中玻璃基板出现叠片划伤的问题。并且,因为两个传输带之间的距离可调节,因而本实施例所提供的玻璃基板传送装置可用于传送不同尺寸规格的玻璃基板,从而提高了玻璃基板传送装置的适用性。
附图说明
[0028]
图1为现有的玻璃基板传送装置的结构示意图;
[0029]
图2为本发明实施例提供的一种玻璃基板传送装置的结构框图;
[0030]
图3为本发明实施例提供的承接限位部的局部放大图;
[0031]
图4为本发明实施例提供的另一种承接限位部的局部放大图;
[0032]
图5为本发明实施例提供的另一种玻璃基板传送装置的结构示意图;
[0033]
图6为本发明实施例提供的又一种玻璃传送装置的结构示意图。
具体实施方式
[0034]
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便
于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
[0035]
图1为现有的玻璃基板传送装置的结构示意图,参见图1,在该结构中,因为玻璃基板是通过在滚轮上滑动而进行传送的,因而无法保证玻璃基板在传送装置的相对位置固定,由此就会导致玻璃基板因为滑动而叠片,对玻璃基板造成损伤。本发明实施例通过对传送装置的结构进行改进,以解决玻璃基板在传送过程中的叠片划伤问题。下面结合附图对本发明实施例方案作详细介绍。
[0036]
图2为本发明实施例提供的一种玻璃基板传送装置的结构框图,该玻璃基板传送装置可用于玻璃基板的清洗工序,通过该传送装置传动玻璃基板能避免玻璃基板出现叠片划伤的现象。参考图2,该玻璃基板传送装置包括:
[0037]
并排设置的第一传输带110和第二传输带120,且第一传输带110与第二传输带120按照预设距离分开设置,以在第一传输带110与第二传输带120之间形成传输通道130,预设距离按照待传输的玻璃基板140的宽度进行调节;
[0038]
第一传输带110和第二传输带120相对的一侧均设置有承接限位部150,两侧的承接限位部150相配合以承载玻璃基板140,玻璃基板140与承接限位部150之间摩擦接触;
[0039]
第一传输带110与第二传输带120沿同一方向移动以带动玻璃基板140通过传输通道130。
[0040]
其中,在传输玻璃基板140时,将玻璃基板140放至两个传输带的承接限位部150,因为承接限位部150与玻璃基板140摩擦接触,而使得玻璃基板140与承接限位部150之间具有一定的摩擦力,在该摩擦力的作用下,玻璃基板140不会沿传送方向产生相对移动,而保持与传送带的位置稳定,从而可以避免玻璃基板140在传输过程中出现叠片现象,因而本实施例所提供的玻璃基板传送装置能够解决玻璃基板140叠片问题以及玻璃基板140划伤问题。
[0041]
第一传输带110和第二传输带120分开设置,在两个传输带之间形成传输通道130,实现玻璃基板140中间的有效区域与包括清洗设备在内的其他设备零接触。该传输通道130可用于放置清洗设备,清洗设备可通过喷射清洗液或吹气等方式对玻璃基板140进行清洗,因为玻璃基板140中间的有效区域与其他设备零接触,因而可以保证清洗液或清洗气体能够作用到玻璃基板140有效区域的每一处,对玻璃基板140进行充分清洗,这样可以提高对玻璃基板140的清洗效率并增强清洗效果。
[0042]
第一传输带110与第二传输带120之间的距离可根据玻璃基板140的宽度进行调节,从而该玻璃基板140可以传送不同宽度规格的玻璃基板140,提高了玻璃基板传送装置的适用范围。第一传输带110和第二传输带120实现距离可调节的具体结构请参见后续实施例的介绍。
[0043]
本实施例所提供的玻璃基板传送装置,通过并排设置两个传输带,两个传输带相对的一侧设置承接限位部150来承载玻璃基板140,并且承接限位部150与玻璃基板140之间摩擦接触,使得玻璃基板140与承接限位部150之间产生一定的摩擦力,传输过程中,玻璃基板140在该摩擦力的作用下能够保持相对位置固定,从而不会出现因为玻璃基板140的滑动而导致的叠片问题,保护玻璃基板140不被划伤,解决了现有技术使用滚轮传输玻璃基板140出现叠片而划伤玻璃基板140的问题。并且,因为两个传输带之间的距离可调节,因而本实施例所提供的玻璃基板传送装置可用于传送不同尺寸规格的玻璃基板140,从而提高了
玻璃基板传送装置的适用性。
[0044]
可选的,图3为本发明实施例提供的承接限位部的局部放大图。在上述实施例的基础上,参考图3。第一传输带和第二传输带均设置有卡槽170,卡槽170形成承接限位部;
[0045]
卡槽170的长度l与玻璃基板的长度相适配,卡槽170的凹陷深度h与玻璃基板的厚度相适配。
[0046]
其中,第一传输带和第二传输带上的卡槽170结构构成承接限位部,卡槽170结构具有一定的凹陷深度h,使用时,将玻璃基板放至卡槽170内,由卡槽170来承载玻璃基板,因为卡槽170的凹陷部会对玻璃基板形成限位,使得玻璃基板被有效的固定在卡槽170内,不会产生相对移动,从而增强了承接限位部对于玻璃基板的限位效果,由此可以进一步避免玻璃基板在传输过程中出现叠片划伤问题。
[0047]
本实施例中的卡槽170长度l与玻璃基板的长度相适配,保证了卡槽170对玻璃基板的限位作用。实际使用中,可以根据玻璃基板的规格预先制作具有相应长度l和凹陷深度h的卡槽170的传输带,通过更换传输带来适配不同规格的玻璃基板。
[0048]
可选的,图4为本发明实施例提供的另一种承接限位部的局部放大图。在上述实施例的基础上,参考图4。第一传输带和第二传输带相对的一侧均设置有延伸部180,延伸部180形成承接限位部;
[0049]
延伸部180的上表面低于第一传输带和第二传输带的上表面,延伸部180的长度与玻璃基板的长度相适配。
[0050]
其中,延伸部180的上表面低于第一传输带和第二传输带的上表面,由此,在两个传输带的间距与玻璃基板的宽度相适配的情况下,传输带的内侧对玻璃基板形成侧向的限位,而玻璃基板与延伸部180之间摩擦接触会产生一定的摩擦力,从而在该摩擦力的作用下以及侧向的限位下,可以阻止玻璃基板在传输带发生相对移动,因而可以杜绝玻璃基板在传输过程中出现叠片划伤问题。
[0051]
可选的,在上述实施例的基础上,继续参考图4。沿传输方向,延伸部180的两端设置有凸起部190,凸起部190的凸起高度与玻璃基板的厚度相适配。
[0052]
其中,一个延伸部180对应设置两个凸起部190,这样,沿传输方向,前后的凸起部190会进一步对玻璃基板形成限位作用,从而加强了对于玻璃基板的限位效果。这样,本实施例所提供的传送装置可匹配于不同的传输速度,从而进一步提高了传送装置的适用性。
[0053]
实际使用时,预先制作具有不同长度和凸起高度的延伸部180的传输带,当需要传输不同规格的玻璃基板时,通过更换具有对应尺寸的延伸部180的传输带来传输对应的玻璃基板。
[0054]
现有的传送装置采用滚轮传送玻璃基板,各玻璃基板之间没有间隔距离,这样投片人员不易于掌握投片间隔,完全依靠投片人员的经验进行投片,而投片间隔过近容易造成叠片划伤,投片间隔过大则影响了对于玻璃基板的传动效率,从而影响到清洗效率。因而依赖投片人员的感觉来调节投片间隔很难做到稳定且高效清洗。为了解决上述问题,本实施例还进行了如下改进。
[0055]
可选的,在上述实施例的基础上,继续参考图2~图4。沿传输方向各承接限位部间隔设置,且各相邻承接限位部之间的间隔距离相同。
[0056]
本实施例中通过将承接限位部间隔设置,由此在传输带上形成一个个离散的承接
限位部,使得前后相邻的玻璃基板被隔开。通过将各相邻承接限位部之间的间隔距离设置为相同(例如可以为100mm),形成固定的间隔距离,这样,投片人员可以根据该固定的间隔距离,控制好投片间距,准确地将玻璃基板放入相应的承接限位部,解决了现有技术中完全依靠投片人员的经验凭感觉估计投片间隔而容易出现玻璃基板叠片的问题,增强了传输装置的稳定性,且提高了玻璃基板的传输效率,相应地,提高了玻璃基板的清洗效率。
[0057]
下面结合附图对本实施例中第一传输带和第二传输带之间的间隔距离可调节的结构作进一步介绍。
[0058]
可选的,图5为本发明实施例提供的另一种玻璃基板传送装置的结构示意图。在上述实施例的基础上,参考图5。该玻璃基板传送装置还包括电机210和传动轮;
[0059]
传动轮包括主动轮220和从动轮230,第一传输带和第二传输带分别连接主动轮220和从动轮230;
[0060]
主动轮220连接电机210,电机210驱动主动轮220转动以带动第一传输带和第二传输带移动。
[0061]
其中,电机210为传送装置提供动力,电机210的动力输出端与主动轮220相啮合,带动主动轮220转动,进而在第一传输带和第二传输带的作用下,主动轮220带动从动轮230转动,实现传送装置的正常运转,完成对玻璃基板140的传送。
[0062]
可选的,图6为本发明实施例提供的又一种玻璃传送装置的结构示意图。在上述实施例的基础上,参考图6。主动轮包括第一主动轮2201和第二主动轮2202,从动轮包括第一从动轮2301和第二从动轮2302,第一主动轮2201与第一从动轮2301连接第一传输带110,第二主动轮2202和第二从动轮2302连接第二传输带120;
[0063]
第一主动轮2201与第二主动轮2202通过第一传动轴240连接,第一从动轮2301和第二从动轮2302通过第二传动轴250连接;
[0064]
第一主动轮2201和/或第二主动轮2202与第一传动轴240之间设置有第一松紧机构260;第一从动轮2301和/或第二从动轮2302与第二传动轴250之间设置有第二松紧机构270;
[0065]
当第一松紧机构260处于松开状态时,第一主动轮2201和/或第二主动轮2202可沿第一传动轴240的延伸方向进行移动;
[0066]
当第二松紧机构270处于松开状态时,第一从动轮2301和/或第二从动轮2302可沿第二传动轴250的延伸方向进行移动。
[0067]
其中,主动轮包括分开设置的第一主动轮2201和第二主动轮2202,将两个主动轮通过第一传动轴240连接,这样,在电机的驱动力作用下,两个主动轮实现同步转动。
[0068]
同样地,第一从动轮2301和第二从动轮2302在两侧的传输带的带动下跟随转动。第二传动轴250可对两个从动轮形成支撑作用,保证两个冲动轮稳定运转。
[0069]
第一主动轮2201和/或第二主动轮2202与第一传动轴240之间设置有第一松紧机构260,当第一松紧机构260处于松开状态时,第一主动轮2201和/或第二主动轮2202可相对第一传动轴240进行位置调节,从而可以调节第一主动轮2201与第二主动轮2202之间的距离。
[0070]
同样地,第一从动轮2301和/或第二从动轮2302与第二传动轴250之间设置有第二松紧机构270,当第二送机机构处于松开状态时,可以对第一从动轮2301和第二从动轮2302
之间的距离进行调节。
[0071]
实际使用中,根据待传输的玻璃基板的宽度来调节第一主动轮2201与第二主动轮2202之间的距离以及第一从动轮2301与第二从动轮2302之间的距离,以将第一传输带110与第二传输带120之间的距离调节至与待传输的玻璃基板的宽度相适配。
[0072]
需要注意的是,本实施例中的第一松紧机构260和第二松紧机构270的数量可以为一个,或者可以为两个,或者还可以为一个松紧机构为一个,另一松紧机构为两个,但需要保证第一松紧机构260和第二松紧机构270被同侧设置。具体而言,当第一松紧机构260和第二松紧机构270的数量均为一个时,将第一松紧机构260和第二松紧均设置于第一传输带110的一侧,或均设置于第二传输带120的一侧,以实现在进行距离调节时,保证第一主动轮2201与第一从动轮2301沿同一方向移动,或者第二主动轮2202与第二从动轮2302沿同一方向移动,实现同侧的主动轮和从动轮被同步调节,保证传送装置的正常运转。
[0073]
示例性的,本实施例中的第一松紧机构260和第二松紧机构270可以为螺杆的连接结构,具体而言,可以在第一传动轴240间隔设置多个螺纹孔,各个螺纹孔的间隔距离根据各玻璃基板的宽度信息预先设置,第一主动轮2201和/或第二主动轮2202上设置有螺孔,将螺杆穿过第一主动轮2201和/或第二主动轮2202上的螺孔与第一传动轴240上的螺纹孔进行螺纹连接。当螺杆处于旋开状态时,对应于第一松紧机构260处于松开状态,此时可以调节第一主动轮2201和/或第二主动轮2202与第一传动轴240的连接位置,从而调节第一主动轮2201和第二主动轮2202之间的距离。
[0074]
第二松紧机构270的结构可设置为与第一松紧机构260的结构相同,本实施例不再赘述。
[0075]
本实施例通过设置第一松紧机构260和第二松紧机构270来对应调节两个主动轮和两个从动轮之间的距离,使得两个主动轮和两个从动轮之间的距离能够根据待传输的玻璃基板的宽度进行动态调节,由此传送装置可以传送不同宽度规格的玻璃基板,从而拓展了传送装置的适用范围。
[0076]
可选的,在上述实施例的基础上,第一传输带和第二传输带设置有卡扣机构;
[0077]
当卡扣机构处于打开状态时,第一传输带和第二传输带可拆卸。
[0078]
其中,卡扣机构可被设置为打开状态或锁紧状态,当卡扣机构处于打开状态时,第一传输带和第二传输带可拆卸,此时,可更换第一传输带和第二传输带,以根据待传输的玻璃基板的长度规格将第一传输带和第二传输带更换为具有相应承接限位部长度的传输带,使得两侧的传输带适配于待传输的玻璃基板。
[0079]
可选的,在上述实施例的基础上,第一传输带和第二传输带均为橡胶皮带。
[0080]
其中,采用橡胶皮带可以保证第一传输带和第二传输带与玻璃基板之间具有一定的摩擦力,从而玻璃基板在第一传输带和第二传输带上能够保持位置稳定,不会出现叠片划伤问题。在一些实施例中,第一传输带和第二传输带均为软质橡胶皮带。
[0081]
可选的,在上述实施例的基础上,第一传输带和第二传输带均设置于传输带支架上,以通过传输带之间对两个传输带进行支撑,保证第一传输带和第二传输带在传送玻璃基板时,不会坍塌而影响玻璃基板的传送甚至划伤玻璃基板的问题。
[0082]
可选的,在上述实施例的基础上,第一传输带和第二第二传输带均包裹对应的传输带支架,这样设置的好处在于,在采用延伸部作为承接限位部的结构设置中,可通过包裹
的皮带对延伸部形成支撑作用,防止延伸部在传输过程中脱落。
[0083]
可选的,本发明实施例还提供了一种玻璃基板清洗装置,用于对镀膜工艺之前的玻璃基板进行清洗,以去除玻璃基板表面的脏污及附着的颗粒物。该玻璃基板清洗装置包括清洗设备和本发明任意实施例所描述的玻璃基板传送装置;
[0084]
清洗设备设置于第一传输带与第二传输带之间的传输通道,以清洗待传送的玻璃基板。
[0085]
其中,清洗设备可通过喷射液体或气体的方式对玻璃基板进行清洗,玻璃基板的有效区域正对于该传输通道,且因为玻璃基板的有效区域没有其他的遮挡物,因而通过将清洗设备设置于两个传输带之间的传输通道,使得清洗设备可充分清洗玻璃基板的有效区域,从而增强了对于玻璃基板的清洗效果。
[0086]
本发明实施例所提供的玻璃基板清洗装置包括上述任意实施例描述的玻璃基板传送装置,因而本实施例也包括上述任意实施例所描述的有益效果。
[0087]
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
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