一种转塔式吸嘴的制作方法

文档序号:23601334发布日期:2021-01-12 07:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种转塔式吸嘴,其特征在于:包括安装座(1)、z轴运动机构(2)和中空旋转平台(3),所述z轴运动机构(2)设置在所述安装座(1)上,所述中空旋转平台(3)设置在所述安装座(1)的下端,所述中空旋转平台(3)的下端倾斜设置有转塔盘机构(4),所述转塔盘机构(4)的下端浮动设置有若干个吸盘组件(5),至少有一个所述吸盘组件(5)与所述中空旋转平台(3)同轴设置,所述中空旋转平台(3)内浮动设置有推杆机构(6),所述推杆机构(6)的上端穿过所述安装座(1)并与所述z轴运动机构(2)相配合,所述推杆机构(6)的下端穿过所述转塔盘机构(4)并与同轴于所述中空旋转平台(3)的所述吸盘组件(5)相配合,所述安装座(1)上设置有第一电机(7),所述第一电机(7)的输出轴与所述中空旋转平台(3)传动配合。

2.根据权利要求1所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述z轴运动机构(2)包括设置在所述安装座(1)上的固定座(21),所述固定座(21)的上端设置有伺服电机(22),所述伺服电机(22)的输出端穿过所述固定座(21)并通过联轴器(23)与丝杆(24)连接,所述丝杆(24)上配合设置有丝杆螺母(25),所述固定座(21)的一侧设置有滑轨(26),所述滑轨(26)上滑动配合有滑块(27),所述滑块(27)的上端与所述丝杆螺母(25)相连接,所述滑块(27)的下端设置有与所述推杆机构(6)相配合的推块(28)。

3.根据权利要求2所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述转塔盘机构(4)包括走气环(41)、转塔圆盘(42)和第二电机(43),所述走气环(41)倾斜设置在所述中空旋转平台(3)的下端,所述转塔圆盘(42)转动设置在所述走气环(41)的下端,所述第二电机(43)设置在所述走气环(41)上且所述第二电机(43)与所述走气环(41)传动配合,若干个所述吸盘组件(5)环绕设置在所述转塔圆盘(42)的内侧,所述走气环(41)的侧面设置有第二传感器(44),所述转塔圆盘(42)的侧面设置有与所述第二传感器(44)相配合的第二感应片(45)。

4.根据权利要求3所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述吸盘组件(5)包括竖滑块(51)、竖滑轨(52)、吸头安装块(53)、气管结构(54)、产品吸头(55)、接触轴承(56)和复位弹簧(57),所述竖滑块(51)固定设置在所述转塔圆盘(42)的内侧,所述竖滑轨(52)滑动设置在所述竖滑块(51)上,所述吸头安装块(53)与所述竖滑轨(52)固定连接,所述气管结构(54)设置在所述吸头安装块(53)的左侧,所述产品吸头(55)设置在所述吸头安装块(53)的下端并与所述气管结构(54)管路连接,所述接触轴承(56)设置在所述吸头安装块(53)的前侧并与所述推杆机构(6)相配合,所述竖滑块(51)的右侧设置有弹簧安装件(58),所述复位弹簧(57)设置在所述弹簧安装件(58)上并与所述吸头安装块(53)相配合。

5.根据权利要求4所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述推杆机构(6)包括固定块(61)、推板(62)、推压块(63)、止动销(64)和回位弹簧(65),所述固定块(61)设置在所述中空旋转平台(3)上,所述推板(62)通过直线导轨(66)滑动设置在所述固定块(61)上,所述推压块(63)设置在所述推板(62)的下端并与所述接触轴承(56)相配合,所述止动销(64)设置在所述推板(62)的上端并与所述推块(28)相配合,所述回位弹簧(65)设置在所述推板(62)上并与所述固定块(61)相配合。

6.根据权利要求5所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述中空旋转平台(3)包括固定设置在所述安装座(1)下端的转座(31),所述转座(31)的内侧转动配合有转动环(32),所述转动环(32)与所述第一电机(7)的输出轴传动配合,所述固定块(61)固定设置在所述转动环(32)上。

7.根据权利要求6所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述转座(31)的下端设置有第一传感器(8),所述转动环(32)的侧面设置有与所述第一传感器(8)相配合的第一感应片(9)。

8.根据权利要求2所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述固定座(21)靠近所述滑轨(26)的一侧上排列设置有两个第三传感器(10),所述丝杆螺母(25)上设置有与两个所述第三传感器(10)相配合的第三感应片(11)。

9.根据权利要求1所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述转塔盘机构(4)的中心轴线与所述中空旋转平台(3)的中心轴线之间的角度为60°。

10.根据权利要求5所述的一种转塔式吸嘴,其特征在于:所述推板(62)的下端的左侧设置有缓冲滑轨(67),所述推压块(63)滑动设置在所述缓冲滑轨(67)上,所述推压块(63)的右侧设置有长条块(68),所述长条块(68)上设置有与所述推板(62)相配合的缓冲弹簧(69),所述推板(62)的下端的右侧设置有限位条(70),所述限位条(70)与所述长条块(68)相配合。


技术总结
本实用新型旨在提供一种结构简单、效率较高且具有自动补正功能的转塔式吸盘。本实用新型包括安装座、Z轴运动机构和中空旋转平台,Z轴运动机构设置在安装座上,中空旋转平台设置在安装座的下端,中空旋转平台的下端倾斜设置有转塔盘机构,转塔盘机构的下端浮动设置有若干个吸盘组件,至少有一个吸盘组件与中空旋转平台同轴设置,中空旋转平台内浮动设置有推杆机构,推杆机构的上端穿过安装座并与Z轴运动机构相配合,推杆机构的下端穿过转塔盘机构并与同轴于中空旋转平台的吸盘组件相配合,安装座上设置有第一电机,第一电机的输出轴与中空旋转平台传动配合。本实用新型可应用于半导体加工设备的技术领域。

技术研发人员:田伟琪
受保护的技术使用者:珠海市运泰利自动化设备有限公司
技术研发日:2020.03.19
技术公布日:2021.01.12
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1