多平台双面移载装置及处理系统的制作方法

1.本实用新型涉及加工设备领域，尤其涉及一种多平台双面移载装置及处理系统。


背景技术：

2.目前，在很多领域都涉及工件的双面处理，例如，在pcb(printed circuit board)生产工艺的曝光工序中，需要在pcb板的双面进行曝光处理，以形成具有双面印刷线路的电路板。
3.现有技术中，为了实现pcb板的双面曝光，需要通过移载装置来进行pcb工件两面之间的翻转及pcb工件在多个工位之间的输送，而现有的移载装置普遍存在效率低下、设备复杂等问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种多平台双面移载装置及处理系统，其可以有效提高效率，且可简化设备。
5.为实现上述实用新型目的之一，本实用新型一实施方式提供一种多平台双面移载装置，用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，所述移载装置包括移载平台组及机械手组，所述移载平台组对应依次排布的第一工位、第二工位及第三工位设置，所述移载平台组包括对应第一工位的入料平台、对应第二工位的作业平台组及对应第三工位的出料平台，所述作业平台组包括交替运动至所述第二工位的第一作业平台及第二作业平台，所述入料平台用于输入工件，所述作业平台组用于放置第一待处理面朝上的工件及第二待处理面朝上的工件，所述出料平台用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动。
6.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第一作业平台及所述第二作业平台由下而上运动至所述第二工位。
7.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第一作业平台及所述第二作业平台均在第一平面及第二平面内循环运动，所述第一平面与所述第二平面上下叠置。
8.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。
9.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括翻转机械手或所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手，当所述机械手组包括翻转机械手时，所述翻转机械手用于将工件翻转一预定角度，且所述翻转机械手用于将工件在多个工位之间移动，当所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手时，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间移动。
10.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括第一机械手及第二机械手，所述第一机械手为翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一机械手固定所述第一待处理面并翻转而暴露出所述第二待处理面，所述第二机械手靠近所述第一
机械手并固定所述第二待处理面，而后所述第二机械手将工件置于所述第二工位处的作业平台组，且所述第二待处理面朝上。
11.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第二机械手为翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一机械手固定所述第一待处理面并翻转至垂直于所述第二工位，所述第二机械手翻转至垂直于所述第二工位并靠近所述第一机械手而固定所述第二待处理面。
12.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第二机械手为平移机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一机械手固定所述第一待处理面并翻转180
°
而使得所述第二待处理面朝上，所述第二机械手移动至所述第一机械手的上方并固定所述第二待处理面。
13.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括第一机械手及第二机械手，所述第一机械手为平移机械手，所述第二机械手为翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一机械手固定所述第一待处理面并上移而使得所述第二待处理面朝下，所述第二机械手移动至所述第一机械手的下方并固定所述第二待处理面，而后所述第二机械手翻转180
°
而将工件置于所述第二工位处的作业平台组，且所述第二待处理面朝上。
14.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第一机械手在所述第一工位及所述第二工位之间移动，所述第二机械手在所述第二工位及所述第三工位之间移动。
15.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述机械手组还包括第一平移机械手及第二平移机械手，所述第一平移机械手在所述第一工位及所述第二工位之间移动，所述第二平移机械手在所述第二工位及所述第三工位之间移动。
16.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述翻转机械手包括一个翻转吸附面或相对设置的两个翻转吸附面，所述平移机械手包括一个平移吸附面，所述翻转吸附面及所述平移吸附面用于吸附工件。
17.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述第一工位、所述第二工位及所述第三工位依次呈直线分布。
18.为实现上述实用新型目的之一，本实用新型一实施方式提供一种多平台双面处理系统，包括如上所述的多平台双面移载装置及处理装置，所述处理装置对应所述第二工位设置，所述第一作业平台及所述第二作业平台在所述第二工位及所述处理装置之间循环运动而实现所述第一待处理面及所述第二待处理面的处理。
19.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述处理系统为曝光系统、光学检测系统或喷印系统。
20.作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述处理系统为曝光系统，所述处理装置包括曝光机镜头及位于所述曝光机镜头下方的曝光工位，所述第一作业平台及所述第二作业平台在所述第二工位及所述曝光工位之间循环运动。
21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的移载装置通过机械手去实现工件的翻转及移动，简化了双面处理流程，提高了双面处理效率，且移载装置的结构简单。
附图说明
22.图1是本实用新型一实施方式的移载装置立体图；
23.图2是本实用新型一实施方式的移载装置俯视透视图；
24.图3a
‑
图3p是本实用新型第一具体实施例的步骤示意图；
25.图4a
‑
图4r是本实用新型第二具体实施例的步骤示意图；
26.图5a
‑
图5r是本实用新型第三具体实施例的步骤示意图；
27.图6a
‑
图6s是本实用新型第四具体实施例的步骤示意图；
28.图7是本实用新型一实施方式的处理系统俯视透视图；
29.图8是本实用新型一实施方式的处理系统的框架示意图；
30.图9是本实用新型第四具体实施例的曝光系统的处理流程。
具体实施方式
31.以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。
32.在本实用新型的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大，因此，仅用于图示本实用新型的主题的基本结构。
33.另外，本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90
°
或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。
34.结合图1及图2，为本实用新型一实施方式的多平台双面移载装置100的示意图。
35.本实施方式的移载装置100用于处理工件s，工件s包括相对设置的第一待处理面sa及第二待处理面sb。
36.这里，移载装置100用于实现工件s在多个工位之间的移动、翻转等操作，以实现工件s 的双面处理。
37.移载装置100包括移载平台组10及机械手组20。
38.移载平台组10对应依次排布的第一工位g1、第二工位g2及第三工位g3设置。
39.这里，第一工位g1、第二工位g2及第三工位g3依次呈直线分布，且第一工位g1、第二工位 g2及第三工位g3用于承载移载平台组10，当然，在其他实施方式中，第一工位g1、第二工位g2 及第三工位g3也可以呈其他排布方式，另外，也可为其他数量的工位，可根据实际情况而定。
40.移载平台组10包括对应第一工位g1的入料平台11、对应第二工位g2的作业平台组12及对应第三工位g3的出料平台13。
41.入料平台11用于输入工件s。
42.这里，入料平台11可连接传输带、输送滚轮等设备而实现工件s的输入。
43.作业平台组12包括交替运动至第二工位g2的第一作业平台121及第二作业平台122，作业平台组12用于放置第一待处理面sa朝上的工件s及第二待处理面sb朝上的工件s。
44.在一示例中，第一作业平台121及第二作业平台122由下而上运动至第二工位g2，换句话说，第一作业平台121及第二作业平台122均在第一平面p1及第二平面p2内循环运动，第一平面p1与第二平面p2上下叠置。
45.具体的，第二工位g2位于第一平面p1内，第一平面p1实质为夹设于第一工位g1及第三工位 g3之间的狭长平面，第二平面p2与第一平面p1相互对应，且第二平面p2位于第一平面p1的下方，当移载平台组10处于初始状态(或者是关闭状态)时，第一作业平台121位于第二工位g2，第二作业平台122位于第二平面p2，且第二作业平台122位于第一作业平台121的正下方，而后当移载平台组10工作时，第一作业平台121于第一平面p1内远离第二工位g2运动，第二作业平台122由下而上运动至第二工位g2，而后第一作业平台121进入第二平面p2并运动至第二工位g2下方，以此类推，第一作业平台121及第二作业平台122交替运动至第二工位g2。
46.另外，当第一作业平台121位于第二工位g2时，第一作业平台121用于承载待处理的工件s或者是处理完成的工件s，工件s可以是第一待处理面sa朝上或第二待处理面sb朝上，同样的，当第二作业平台122位于第二工位g2时，第二作业平台122用于承载待处理的工件s或者是处理完成的工件s，工件s可以是第一待处理面sa朝上或第二待处理面sb朝上，换句话说，第一作业平台121 及第二作业平台122作用相同，且两者共用第二工位g2，一方面，第一作业平台121及第二作业平台122于上下叠置的第一平面p1、第二平面p2内运动可减小移载装置100的横向尺寸，另一方面，两个作业平台可大大提高工件s的处理效率。
47.可以理解的，作业平台组12也可包括其他数量的作业平台，或者，多个作业平台也可沿其他路径分别运动至第二工位g2，可根据实际情况而定。
48.出料工位13用于输出工件s。
49.这里，出料工位13可连接传输带、输送滚轮等设备而实现工件s的输出。
50.机械手组20包括至少两个机械手h，机械手组20用于工件s的翻转及工件s在多个工位之间的移动。
51.这里，翻转操作主要用于辅助工件s的第一待处理面sa及第二待处理面sb之间的转换，移动操作主要用于实现工件s在多个工位之间的移动，但不以此为限，例如翻转的同时也可以实现移动，而且，翻转及移动操作可以通过多个机械手h之间的配合实现。
52.本实施方式的移载装置100通过机械手h去实现工件s的翻转及移动，相较于现有技术中通过滚轮翻转机构或其他机构实现工件翻转的方式，本实施方式简化了双面处理流程，提高了双面处理效率，且移载装置100的结构简单。
53.更重要的是，本实施方式的第二工位g2处的平台(对应第一作业平台121及第二作业平台122) 是交替进入第二工位g2处的，可减小移载装置100的横向尺寸。
54.在本实施方式中，任一机械手h的最大位移量p为两个相邻工位。
55.这里，“任一机械手h的最大位移量p为两个相邻工位”是指任一机械手h在一个工位处移动和/或翻转，或者，任一机械手h在相邻的两个工位之间移动和/或翻转，也就是说，任一机械手h的活动区域最多是相邻的两个工位。
56.本实施方式的任一机械手h的最大位移量p为两个相邻工位，即任一机械手h的活
动区域是有限的，可以有效缩短机械手h的行进距离及操作时间，进而进一步提高双面处理效率。
57.在本实施方式中，机械手组20包括翻转机械手h1，或者，机械手组20同时包括翻转机械手h1 及平移机械手h2。
58.这里，翻转机械手h1定义为可实现工件s角度变化的机械手，翻转机械手h1用于辅助工件s 的第一待处理面sa及第二待处理面sb之间的转换，平移机械手h2定义为可实现工件s在多个工位之间移动的机械手，另外，任一机械手h还可以通过升降操作而实现工件s的抓取、放下等。
59.需要说明的是，翻转机械手h1可以仅具备翻转功能，或者同时具备翻转及移动的功能，平移机械手h2仅具备移动功能。
60.当机械手组20包括翻转机械手h1时，翻转机械手h1用于将工件s翻转一预定角度α，且翻转机械手h1用于将工件s在多个工位之间移动。
61.也就是说，此时的翻转机械手h1同时具备了翻转及移动的功能。
62.当机械手组20同时包括翻转机械手h1及平移机械手h2时，翻转机械手h1至少用于将工件s 翻转一预定角度α，平移机械手h2用于将工件s在多个工位之间移动。
63.也就是说，此时的翻转机械手h1可以仅具备翻转功能，或者同时具备翻转及移动的功能，平移机械手h2仅具备移动功能。
64.可以看到，在本实用新型限定的多个实施方式中，机械手组20可以有多种组合方式，例如，仅通过翻转机械手h1便可实现工件s的双面处理，或者，通过翻转机械手h1及平移机械手h2的配合实现工件s的双面处理，具体可根据实际情况灵活选择，可匹配各种不同类型的应用环境或各种不同尺寸的应用空间。
65.可以理解的是，翻转机械手h1是必须存在的，因为需要通过翻转机械手h1来进行第一待处理面sa及第二待处理面sb之间的切换，平移操作可以通过平移机械手h2或翻转机械手h1来实现。
66.另外，需要说明的是，这里涉及的机械手的组合方式与工位的数量、排布方式有关，当工位数量、排布方式变化时，机械手的组合方式也会随之发生变化，例如，上述提及的两种机械手组合方式可以混合使用。
67.在本实施方式中，当翻转机械手h1固定工件s之后，翻转机械手h1翻转工件s的预定角度α的范围为90～180
°
，较佳的，预定角度α为90
°
或180
°
。
68.在本实施方式中，翻转机械手h1包括一个翻转吸附面h1’或相对设置的两个翻转吸附面h1’，平移机械手h2包括一个平移吸附面h2’，翻转吸附面h1’及平移吸附面h2’用于吸附工件s。
69.这里，当翻转机械手h1包括相对设置的两个翻转吸附面h1’时，可以有效提高翻转机械手h1 的工作效率。
70.翻转吸附面h1’及平移吸附面h2’可以是吸盘吸附结构，通过真空吸附方式实现对工件s的吸附固定，但不以此为限。
71.另外，翻转机械手h1可以通过驱动装置实现翻转、升降或平移，平移机械手h2可以通过驱动装置实现升降、平移，驱动装置例如可为驱动气缸等，驱动装置的具体结构可以参考现有技术中的驱动装置，在此不再赘述。
72.下面，就本实用新型的多个具体实施例做详细说明。
73.结合图3a至图3m，在第一具体实施例中，机械手组20包括第一机械手h11及第二机械手h12，第一机械手h11为翻转机械手，第二机械手h12也为翻转机械手，当第一待处理面sa处理完成后，第一机械手h11固定第一待处理面sa并翻转而暴露出第二待处理面sb，第二机械手h12靠近第一机械手h11并固定第二待处理面sb，而后第二机械手h12将工件s置于第二工位g2处的作业平台组12，且第二待处理面sb朝上。
74.具体的，当第一待处理面sa处理完成后，第一机械手h11固定第一待处理面sa并翻转至垂直于第二工位g2，第二机械手h12翻转至垂直于第二工位g2并靠近第一机械手h11而固定第二待处理面sb。
75.这里，第一机械手h11还用于将工件s由入料平台11移动至作业平台组12，第二机械手h12 还用于将工件s由作业平台组12平移至出料工位13。
76.结合图3a至图3p，为第一具体实施例的移载装置100具体步骤示意图。
77.移载装置100包括位于第一工位g1的入料平台11、位于第二工位g2的作业平台组12、位于第三工位g3的出料平台13、第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12，第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12分别包括一个翻转吸附面h1’，工件s包括相对设置的第一待处理面sa及第二待处理面sb。
78.这里，为了便于区别，将工件s的第一待处理面sa和第二待处理面sb图示成不同的面，即第一待处理面sa为曲面，第二待处理面sb为平面，实际操作中，第一待处理面sa和第二待处理面sb 的形状不限。
79.参图3a，当处于初始状态时，第一翻转机械手h11位于入料平台11的上方，第二翻转机械手 h12位于出料平台13的上方，作业平台组12的第一作业平台121位于第二工位g2，第二作业平台 122位于第一作业平台121的下方；
80.参图3b，第一工件s1输送至入料平台11，且第一工件s1的第一待处理面sa朝上；
81.参图3c，第一翻转机械手h11下降吸附第一工件s1的第一待处理面sa，而后第一翻转机械手 h11带动第一工件s1上升并平移至第一作业平台121的上方，且第二工件s2输送至入料平台11；
82.这里，第二工件s2也可在其他时间段内输送至入料平台11，下面的描述也相同，后续不再赘述。
83.参图3d，第一翻转机械手h11带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121 上，且第一待处理面sa朝上；
84.参图3e，当第一工件s1置于第一作业平台121上后，第一作业平台121带动第一工件s1运动至其他装置，其他装置会对第一工件s1的第一待处理面sa进行处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2，第一翻转机械手h11运动至入料平台11的上方；
85.参图3f及图3g，第一翻转机械手h11下降吸附第二工件s2的第一待处理面sa，而后第一翻转机械手h11带动第二工件s2上升并移动至第二作业平台122的上方，第一翻转机械手h11带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第一待处理面sa朝上，第三工件s3 输送至入料平台11，第一作业平台121带动第一待处理面sa处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
86.参图3h，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第一待处理面sa的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2；
87.参图3i，第一翻转机械手h11吸附第一工件s1的第一待处理面sa并将第一工件s1朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并吸附第一工件s1的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第一工件s1 的吸附，此时便完成了第一工件s1由第一翻转机械手h11至第二翻转机械手h12的交付，第二作业平台122带动第一待处理面sa处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方；
88.这里，需要说明的是，此时可以通过增大吸附力来避免第一工件s1从第一翻转机械手h11或第二翻转机械手h12处脱落，但不以此为限。
89.参图3j，第二翻转机械手h12吸附第一工件s1的第二待处理面sb并向第一作业平台121方向翻转90
°
，即此时第二翻转机械手h12逆时针翻转90
°
，第一工件s1的第一待处理面sa面向第一作业平台121，第二翻转机械手h12带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121 上，且第二待处理面sb朝上；
90.参图3k，第一作业平台121带动第一工件s1离开第二工位g2而进行第一工件s1的第二待处理面sb的处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2；
91.参图3l，第一翻转机械手h11吸附第二工件s2的第一待处理面sa并将第二工件s2朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并吸附第二工件s2的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第二工件s2 的吸附，此时便完成了第二工件s2由第一翻转机械手h11至第二翻转机械手h12的交付，第一作业平台121带动第二待处理面sb处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
92.参图3m，第二翻转机械手h12吸附第二工件s2的第二待处理面sb并向第二作业平台122方向翻转90
°
，即此时第二翻转机械手h12逆时针翻转90
°
，第二工件s2的第一待处理面sa面向第二作业平台122，第二翻转机械手h12带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122 上，且第二待处理面sb朝上；
93.参图3n，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第二待处理面sb的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2，第一翻转机械手h11下降吸附第三工件s3的第一待处理面sa；
94.参图3o及图3p，第二翻转机械手h12下降吸附处理完成的第一工件s1并移动至出料平台13的上方，而后第二翻转机械手h12下降而将第一工件s1置于出料平台13，此时，便完成了第一工件 s1的双面处理，第一翻转机械手h11带动第三工件s3移动至第一作业平台121的上方，而后第一翻转机械手h11下降而将第三工件s3置于第一作业平台121，第二作业平台122带动第二待处理面sb 处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方，第四工件s4输送至入料平台11。
95.需要说明的是，本实施方式的第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12的操作时序、工件s 的流入、流出时序等都可以根据实际情况而定，时序的控制可通过时序控制器实
现，在有效控制整个流程可顺利走完的前提下可通过控制各个时序的顺序有效缩减操作时间，从而有效提高效率。
96.另外，本实施例中的第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12均为单面吸附面，在其他实施例中，第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12也可具有双面吸附面。
97.结合图4a至图4q，为本实用新型第二具体实施例的移载装置100的示意图，为了便于说明，类似的部件采用了类似或相同的编号。
98.在本实施例中，机械手组20包括第一机械手h11及第二机械手h21，第一机械手h11为翻转机械手，第二机械手h21为平移机械手，当第一待处理面sa处理完成后，第一机械手h11固定第一待处理面sa并翻转而暴露出第二待处理面sb，第二机械手h21靠近第一机械手h11并固定第二待处理面sb，而后第二机械手h21将工件s置于第二工位g2处的作业平台组12，且第二待处理面sb 朝上。
99.具体的，当第一待处理面sa处理完成后，第一机械手h11固定第一待处理面sa并翻转180
°
而使得第二待处理面sb朝上，第二机械手h21移动至第一机械手h11的上方并固定第二待处理面sb。
100.这里，第一机械手h11还用于将工件s由入料平台11移动至作业平台组12，第二机械手h21 还用于将工件s由作业平台组12平移至出料工位13。
101.结合图4a至图4r，为第二具体实施例的移载装置100具体步骤示意图。
102.移载装置100包括位于第一工位g1的入料平台11、位于第二工位g2的作业平台组12、位于第三工位g3的出料平台13、第一翻转机械手h11及第一平移机械手h21，第一翻转机械手h11包括一个翻转吸附面h1’，第一平移机械手h21包括一个平移吸附面h2’，工件s包括相对设置的第一待处理面sa及第二待处理面sb。
103.这里，为了便于区别，将工件s的第一待处理面sa和第二待处理面sb图示成不同的面，即第一待处理面sa为曲面，第二待处理面sb为平面，实际操作中，第一待处理面sa和第二待处理面sb 的形状不限。
104.参图4a，当处于初始状态时，第一翻转机械手h11位于入料平台11的上方，第一平移机械手 h21位于出料平台13的上方，作业平台组12的第一作业平台121位于第二工位g2，第二作业平台 122位于第一作业平台121的下方；
105.参图4b，第一工件s1输送至入料平台11，且第一工件s1的第一待处理面sa朝上；
106.参图4c，第一翻转机械手h11下降吸附第一工件s1的第一待处理面sa，而后第一翻转机械手 h11带动第一工件s1上升并平移至第一作业平台121的上方，且第二工件s2输送至入料平台11；
107.参图4d，第一翻转机械手h11带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121 上，且第一待处理面sa朝上；
108.参图4e，当第一工件s1置于第一作业平台121上后，第一作业平台121带动第一工件s1运动至其他装置，其他装置会对第一工件s1的第一待处理面sa进行处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2，第一翻转机械手h11运动至入料平台11的上方；
109.参图4f及图4g，第一翻转机械手h11下降吸附第二工件s2的第一待处理面sa，而后第一翻转机械手h11带动第二工件s2上升并移动至第二作业平台122的上方，第一翻转机械
手h11带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第一待处理面sa朝上，第三工件s3 输送至入料平台11，第一作业平台121带动第一待处理面sa处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
110.参图4h，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第一待处理面sa的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2；
111.参图4i，第一翻转机械手h11吸附第一工件s1的第一待处理面sa并将第一工件s1翻转180
°
，第一工件s1的第二待处理面sb朝上，第一平移机械手h21移动至第一翻转机械手h11的上方并吸附第一工件s1的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第一工件s1的吸附，此时便完成了第一工件s1由第一翻转机械手h11至第一平移机械手h21的交付，第二作业平台122带动第一待处理面sa处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方；
112.参图4j及图4k，第一平移机械手h21带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121上，且第二待处理面sb朝上，第一平移机械手h21移动至出料平台13的上方，第三工件s3 输送至入料平台11；
113.参图4l，第一作业平台121带动第一工件s1离开第二工位g2而进行第一工件s1的第二待处理面sb的处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2；
114.参图4m，第一翻转机械手h11吸附第二工件s2的第一待处理面sa并将第二工件s2翻转180
°
，第一平移机械手h21移动至第一翻转机械手h11的上方并吸附第二工件s2的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第二工件s2的吸附，此时便完成了第二工件s2由第一翻转机械手h11至第一平移机械手h21的交付，第一作业平台121带动第二待处理面sb处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
115.参图4n及图4o，第一平移机械手h21带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第二待处理面sb朝上；
116.参图4p，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第二待处理面sb的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2，第一翻转机械手h11下降吸附第三工件s3的第一待处理面sa；
117.参图4q及图4r，第一平移机械手h21下降吸附处理完成的第一工件s1并移动至出料平台13的上方，而后第一平移机械手h21下降而将第一工件s1置于出料平台13，此时，便完成了第一工件 s1的双面处理，第一翻转机械手h11带动第三工件s3移动至第一作业平台121的上方，而后第一翻转机械手h11下降而将第三工件s3置于第一作业平台121，第二作业平台122带动第二待处理面sb 处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方，第四工件s4输送至入料平台11。
118.需要说明的是，本实施方式的第一翻转机械手h11及第一平移机械手h21的操作时序、工件s 的流入、流出时序等都可以根据实际情况而定，时序的控制可通过时序控制器实现，在有效控制整个流程可顺利走完的前提下可通过控制各个时序的顺序有效缩减操作时间，从而有效提高效率。
119.另外，本实施例中的第一翻转机械手h11为单面吸附面，在其他实施例中，第一翻转机械手h11 也可具有双面吸附面。
120.结合图5a至图5r，为本实用新型第三具体实施例的移载装置100的示意图，为了便于说明，类似的部件采用了类似或相同的编号。
121.在本实施例中，机械手组20包括第一机械手h21及第二机械手h11，第一机械手h21为平移机械手，第二机械手h11为翻转机械手，当第一待处理面sa处理完成后，第一机械手h21固定第一待处理面sa并上移而使得第二待处理面sb朝下，第二机械手h11移动至第一机械手h21的下方并固定第二待处理面sb，而后第二机械手h11翻转180
°
而将工件s置于第二工位g2处的作业平台组 12，且第二待处理面sb朝上。
122.这里，第一机械手h21还用于将工件s由入料平台11移动至作业平台组12，第二机械手h11 还用于将工件s由作业平台组12平移至出料工位13。
123.结合图5a至图5r，为第三具体实施例的移载装置100具体步骤示意图。
124.移载装置100包括位于第一工位g1的入料平台11、位于第二工位g2的作业平台组12、位于第三工位g3的出料平台13、第一平移机械手h21及第一翻转机械手h11，第一平移机械手h21包括一个平移吸附面h2’，第一翻转机械手h11包括一个翻转吸附面h1’，工件s包括相对设置的第一待处理面sa及第二待处理面sb。
125.这里，为了便于区别，将工件s的第一待处理面sa和第二待处理面sb图示成不同的面，即第一待处理面sa为曲面，第二待处理面sb为平面，实际操作中，第一待处理面sa和第二待处理面sb 的形状不限。
126.参图5a，当处于初始状态时，第一平移机械手h21位于入料平台11的上方，第一翻转机械手 h11位于出料平台13的上方，作业平台组12的第一作业平台121位于第二工位g2，第二作业平台 122位于第一作业平台121的下方；
127.参图5b，第一工件s1输送至入料平台11，且第一工件s1的第一待处理面sa朝上；
128.参图5c，第一平移机械手h21下降吸附第一工件s1的第一待处理面sa，而后第一平移机械手 h21带动第一工件s1上升并平移至第一作业平台121的上方，且第二工件s2输送至入料平台11；
129.参图5d，第一平移机械手h21带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121 上，且第一待处理面sa朝上；
130.参图5e，当第一工件s1置于第一作业平台121上后，第一作业平台121带动第一工件s1运动至其他装置，其他装置会对第一工件s1的第一待处理面sa进行处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2，第一平移机械手h21运动至入料平台11的上方；
131.参图5f及图5g，第一平移机械手h21下降吸附第二工件s2的第一待处理面sa，而后第一平移机械手h21带动第二工件s2上升并移动至第二作业平台122的上方，第一平移机械手h21带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第一待处理面sa朝上，第三工件s3 输送至入料平台11，第一作业平台121带动第一待处理面sa处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
132.参图5h，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第一待处理面sa的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2；
133.参图5i，第一平移机械手h21吸附第一工件s1的第一待处理面sa并上升，第一工件
s1的第二待处理面sb朝下，第一翻转机械手h11翻转，而后移动至第一平移机械手h21的下方并吸附第一工件s1的第二待处理面sb，第一平移机械手h21取消对第一工件s1的吸附，此时便完成了第一工件 s1由第一平移机械手h21至第一翻转机械手h11的交付，第二作业平台122带动第一待处理面sa 处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方；
134.参图5j及图5k，第一翻转机械手h11带动第一工件s1翻转180
°
，而后第一翻转机械手h11 带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121上，且第二待处理面sb朝上，第一翻转机械手h11移动至出料平台13的上方，第三工件s3输送至入料平台11；
135.参图5l，第一作业平台121带动第一工件s1离开第二工位g2而进行第一工件s1的第二待处理面sb的处理，且当第一作业平台121离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2；
136.参图5m，第一平移机械手h21吸附第二工件s2的第一待处理面sa并上升，第二工件s2的第二待处理面sb朝下，第一翻转机械手h11翻转，而后移动至第一平移机械手h21的下方并吸附第二工件s2的第二待处理面sb，第一平移机械手h21取消对第二工件s2的吸附，此时便完成了第二工件s2由第一平移机械手h21至第一翻转机械手h11的交付，第一作业平台121带动第二待处理面 sb处理完成的第一工件s1运动至第二作业平台122的下方；
137.参图5n及图5o，第一翻转机械手h11带动第二工件s2翻转180
°
，而后第一翻转机械手h11 带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第二待处理面sb朝上，第一平移机械手h21下降吸附第三工件s3的第一待处理面sa；
138.参图5p，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第二待处理面sb的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运动至第二工位g2；
139.参图5q及图5r，第一翻转机械手h11下降吸附处理完成的第一工件s1并移动至出料平台13的上方，而后第一翻转机械手h11下降而将第一工件s1置于出料平台13，此时，便完成了第一工件 s1的双面处理，第一平移机械手h21带动第三工件s3移动至第一作业平台121的上方，而后第一平移机械手h21下降而将第三工件s3置于第一作业平台121，第二作业平台122带动第二待处理面sb 处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方，第四工件s4输送至入料平台11。
140.需要说明的是，本实施方式的第一平移机械手h21及第一翻转机械手h11的操作时序、工件s 的流入、流出时序等都可以根据实际情况而定，时序的控制可通过时序控制器实现，在有效控制整个流程可顺利走完的前提下可通过控制各个时序的顺序有效缩减操作时间，从而有效提高效率。
141.另外，本实施例中的第一翻转机械手h11为单面吸附面，在其他实施例中，第一翻转机械手h11 也可具有双面吸附面。
142.结合图6a至图6s，为本实用新型第四具体实施例的移载装置100的示意图，为了便于说明，类似的部件采用了类似或相同的编号。
143.在本实施例中，机械手组20包括第一机械手h11及第二机械手h12，第一机械手h11为第一翻转机械手h11，第二机械手h12为第二翻转机械手h12，当第一待处理面sa处理完成后，第一翻转机械手h11固定第一待处理面sa并翻转而暴露出第二待处理面sb，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并固定第二待处理面sb，而后第二翻转机械手h12将工件s
置于第二工位g2处的作业平台组12，且第二待处理面sb朝上。
144.具体的，当第一待处理面sa处理完成后，第一翻转机械手h11固定第一待处理面sa并翻转至垂直于第二工位g2，第二翻转机械手h12翻转至垂直于第二工位g2并靠近第一翻转机械手h11而固定第二待处理面sb。
145.这里，机械手组20还包括第一平移机械手h21及第二平移机械手h22，第一平移机械手h21在第一工位g1及第二工位g2之间移动，第二平移机械手h22在第二工位g2及第三工位g3之间移动。
146.结合图6a至图6p，为第四具体实施例的移载装置100具体步骤示意图。
147.移载装置100包括位于第一工位g1的入料平台11、位于第二工位g2的作业平台组12、位于第三工位g3的出料平台13、第一翻转机械手h11、第二翻转机械手h12、第一平移机械手h21及第二平移机械手h22，第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12分别包括一个翻转吸附面h1’，第一平移机械手h21及第二平移机械手h22分别包括一个平移吸附面h2’，工件s包括相对设置的第一待处理面sa及第二待处理面sb。
148.这里，为了便于区别，将工件s的第一待处理面sa和第二待处理面sb图示成不同的面，即第一待处理面sa为曲面，第二待处理面sb为平面，实际操作中，第一待处理面sa和第二待处理面sb 的形状不限。
149.参图6a，当处于初始状态时，第一平移机械手h21及第一翻转机械手h11位于入料平台11的上方，第二平移机械手h22及第二翻转机械手h12位于出料平台13的上方，作业平台组12的第一作业平台121位于第二工位g2，第二作业平台122位于第一作业平台121的下方；
150.这里，第一翻转机械手h11大致位于入料平台11及第一作业平台121的中间位置，且第一翻转机械手h11垂直于入料平台11，第一翻转机械手h11的旋转轴位于下方位置，第二翻转机械手h12 大致位于出料平台13及第一作业平台121的中间位置，且第二翻转机械手h12垂直于出料平台13，第二翻转机械手h12的旋转轴位于中间位置。
151.参图6b，第一工件s1输送至入料平台11，且第一工件s1的第一待处理面sa朝上；
152.参图6c，第一平移机械手h21下降吸附第一工件s1的第一待处理面sa，而后第一平移机械手 h21带动第一工件s1上升并平移至第一作业平台121的上方，且第二工件s2输送至入料平台11；
153.参图6d，第一平移机械手h21带动第一工件s1下降并使得第一工件s1置于第一作业平台121 上，且第一待处理面sa朝上；
154.参图6e及图6f，当第一工件s1置于第一作业平台121上后，第一作业平台121带动第一工件 s1运动至其他装置，其他装置会对第一工件s1的第一待处理面sa进行处理，且当第一作业平台121 离开第二工位g2之后，第二作业平台122运动至第二工位g2，第一平移机械手h21运动至入料平台11的上方，且第一平移机械手h21下降吸附第二工件s2的第一待处理面sa，第一平移机械手h21 带动第二工件s2上升并移动至第二作业平台122的上方，第一平移机械手h21带动第二工件s2下降并使得第二工件s2置于第二作业平台122上，且第一待处理面sa朝上，第三工件s3输送至入料平台11；
155.参图6g，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2而进行第二工件s2的第一待处理面sa的处理，且当第二作业平台122离开第二工位g2之后，第一作业平台121运
动至第二工位g2，第一平移机械手h21移动至入料平台11的上方并下降吸附第三工件s3的第一待处理面sa；
156.参图6h，第一翻转机械手h11吸附第一工件s1的第一待处理面sa并将第一工件s1朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并吸附第一工件s1的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第一工件s1 的吸附，此时便完成了第一工件s1由第一翻转机械手h11至第二翻转机械手h12的交付，第一平移机械手h21带动第三工件s3平移至第一作业平台121的上方，而后第一平移机械手h21下降而将第三工件s3置于第一作业平台121，且第一待处理面sa朝上；
157.参图6i，第一作业平台121带动第三工件s3离开第二工位g2，第二作用平台122带动第一待处理面sa处理完成的第二工件s2运动至第一作业平台121的下方，第二翻转机械手h12带动第一工件s1朝靠近出料工位13的方向运动，第一平移机械手h21运动至入料平台11的上方并吸附第四工件s4，第五工件s5传输至入料平台11；
158.参图6j，第一翻转机械手h11吸附第二工件s2的第一待处理面sa并将第二工件s2朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第二翻转机械手h12带动第一工件s1朝向第二作业平台122方向翻转90
°
，而后第二翻转机械手h12下降而将第一工件s1置于第二作业平台122，第一工件s1的第二待处理面sb朝上，第一作业平台121带动第一待处理面 sa处理完成的第三工件s3运动至第二作业平台122的下方；
159.参图6k及图6l，第二作业平台122带动第一工件s1离开第二工位g2，第一作业平台121上升至第二工位g2，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并吸附第二工件s2的第二待处理面 sb，第一翻转机械手h11取消对第二工件s2的吸附，此时便完成了第二工件s2由第一翻转机械手 h11至第二翻转机械手h12的交付，而后第二翻转机械手h12带动第二工件s2朝靠近出料工位13 的方向运动；
160.参图6m及图6n，第一翻转机械手h11吸附第三工件s3的第一待处理面sa并将第三工件s3朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第一平移机械手h21 带动第四工件s4移动至第一作业平台121的上方，而后第一平移机械手h21带动第四工件s4下降而将第四工件s4置于第一作业平台121，第二作业平台122带动第二待处理面sb处理完成的第一工件s1运动至第一作业平台121的下方；
161.参图6o，第一作业平台121带动第四工件s4离开第二工位g2，第二作业平台122带动第一工件s1上升至第二工位g2，第二平移机械手h22移动至第二作业平台122的上方并吸附第一工件s1，而后第二平移机械手h22带动第一工件s1移动至出料平台13，此时，完成了第一工件s1的双面处理，第二翻转机械手h12朝向第二作业平台122方向翻转90
°
，并下降而将第二工件s2置于第二作业平台122，第二工件s2的第二待处理面sb朝上，第一作业平台121带动第一待处里面sa处理完成的第四工件s4运动至第二作业平台122的下方，第一平移机械手h21吸附第五工件s5的第一待处理面sa，第六工件s6传输至入料平台11；
162.参图6p，第二作业平台122带动第二工件s2离开第二工位g2，第一作业平台121带动第四工件s4上升至第二工位g2，第二翻转机械手h12靠近第一翻转机械手h11并吸附第三工件s3的第二待处理面sb，第一翻转机械手h11取消对第三工件s3的吸附，此时便完成了第三工件s3由第一翻转机械手h11至第二翻转机械手h12的交付；
163.参图6q及图6r，第二翻转机械手h12带动第三工件s3朝靠近出料工位13的方向运
动，第一翻转机械手h11吸附第四工件s4的第一待处理面sa并将第四工件s4朝向出料平台13的方向翻转90
°
，即此时第一翻转机械手h11逆时针翻转90
°
，第一平移机械手h21带动第五工件s5移动至第一作业平台121的上方，而后第一平移机械手h21下降而将第五工件s5置于第一作业平台121；
164.参图6s，第一作业平台121带动第五工件s5离开第二工位g2，第二作业平台122带动第二工件 s2上升至第二工位g2，第二平移机械手h22移动至第二作业平台122的上方并吸附第二工件s2，而后第二平移机械手h22带动第二工件s2移动至出料平台13，此时完成了第二工件s2的双面处理，第二翻转机械手h12朝向第二作业平台122方向翻转90
°
，并下降而将第三工件s3置于第二作业平台122，第三工件s3的第二待处理面sb朝上，第一作业平台121带动第一待处里面sa处理完成的第五工件s5运动至第二作业平台122的下方，第一平移机械手h21吸附第六工件s6的第一待处理面sa，第七工件s7传输至入料平台11。
165.需要说明的是，本实施方式的第一翻转机械手h11、第二翻转机械手h12、第一平移机械手h21 及第二平移机械手h22的操作时序、工件s的流入、流出时序等都可以根据实际情况而定，时序的控制可通过时序控制器实现，在有效控制整个流程可顺利走完的前提下可通过控制各个时序的顺序有效缩减操作时间，从而有效提高效率。
166.另外，本实施例中的第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12均为单面吸附面，在其他实施例中，第一翻转机械手h11及第二翻转机械手h12也可具有双面吸附面。
167.可以理解的是，本实施例结合了第一平移机械手h21及第二平移机械手h22来实现工件s在入料平台11与作业平台组12之间以及作业平台组12与出料平台13之间的移动，可大大提高效率，当然，在其他实施例中，也可以仅结合一个平移机械手，即此时的机械手组20包括两个翻转机械手及一个平移机械手。
168.另外，第一至第三实施例中的机械手组20也可结合一个或两个平移机械手来提高效率。
169.综上所述，本实用新型提供了移载装置100的四种具体实施例，可以理解的，本实用新型的移载装置100并不仅限于上述四种具体实施例，另外，四种具体实施例也可组合形成新的实施例。
170.结合图7及图8，本实用新型一实施方式还提供一种多平台双面处理系统300。
171.多平台双面处理系统300包括多平台双面移载装置100及处理装置200，处理装置200对应第二工位g2设置，处理装置200用于处理第一待处理面sa及第二待处理面sb，第一作业平台121及第二作业平台122在第二工位g2及处理装置200之间循环运动而实现第一待处理面sa及第二待处理面sb的处理。
172.在本实施方式中，处理系统300可为曝光系统(laser direct imaging，ldi)、光学检测系统 (automated optical inspection，aoi)或喷印系统(inkjet)，当然，也可以是其他需要进行双面处理的系统。
173.工件s可为pcb板或其他需要双面处理的工件。
174.本实施方式的处理系统300以曝光系统300为例，曝光系统300用于对pcb板的正面和背面进行曝光处理，此时，正面即为第一待处理面sa，背面即为第二待处理面sb。
175.处理装置200包括曝光机镜头及位于曝光机镜头下方的曝光工位201，曝光工位201与第二工位 g2位于同一平面，第一作业平台121及第二作业平台122在第二工位g2及曝
光工位201之间循环运动，以第一作业平台121为例，第一作业平台121由第二工位g2运动至曝光工位201进行曝光处理，而后第一作业平台121下降并运动至第二工位g2的下方，待第二作业平台122离开第二工位 g2之后，第一作业平台121上升至第二工位g2。
176.下面，参图9，以曝光系统300为例，结合前述第四具体实施例的说明详细解释本实用新型的曝光系统300的工作效率问题。
177.第四实施例中的机械手组20包括第一翻转机械手h11、第二翻转机械手h12、第一平移机械手 h21及第二平移机械手h22。
178.参图9，横坐标为时间，纵坐标对应各个机械手的操作过程及工件s双面的曝光过程，在对应时间段内，处于高位代表在该时间段内进行了相关操作。
179.具体的，a1
‑
a5对应第一平移机械手h21的操作过程，在本实施例中，初始状态时，第一平移机械手h21已经吸附工件s，故此时省略了a1操作，a1实质表示第一平移机械手h21下降吸附工件s后上升(参考13
‑
13.5s的时间段)；a2表示在第0
‑
0.5s时间段内第一平移机械手h21带动工件s 平移至第一等待工位12的上方；a3表示在第0.5
‑
1s时间段内第一平移机械手h21下降并将工件s 置于作业平台组12；a4表示在第1
‑
1.5s时间段内第一平移机械手h21上升；a5表示在第1.5
‑
2.5s 时间段内第一平移机械手h21平移至入料平台11的上方。
180.l1表示第一作业平台121的操作过程，在1
‑
11s的时间段内，第一作业平台121传输至曝光工位 201依次进行对位曝光操作(大约7s)、第一作业平台121在曝光工位201处下降(大约0.5s)、第一作业平台121回到第二工位g2处(大约2s)、第一作业平台121与第二作业平台122交换并上升至第二工位g2(大约0.5s)。
181.b1
‑
b4对应第一翻转机械手h11的操作过程，b1表示在第11
‑
11.5s时间段内第一翻转机械手h11 翻转下降并吸取工件s；b2表示在第11.5
‑
12.5s时间段内第一翻转机械手h11吸附住工件；b3表示在第12.5
‑
13s时间段内第一翻转机械手h11带动工件s翻转90
°
并上升；b4表示在第13
‑
14.5时间段内第一翻转机械手h11与第二翻转机械手h12之间到达工件交付位置。
182.c1
‑
c5对应第二翻转机械手h12的操作过程，c1表示在第13
‑
14.5时间段内第一翻转机械手h11 与第二翻转机械手h12之间到达工件交付位置；c2表示在第14.5
‑
16s时间段内工件s交付至第二翻转机械手h12；c3表示在第16
‑
21s时间段内第二翻转机械手h12处于等待位置；c4表示在第21
‑
22s 时间段内第二翻转机械手h12将公交s交付至第二作业平台122；c4表示在第22
‑
23.5s时间段内返回至等待位置。
183.l2表示第二作业平台122的操作过程，在22
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32s的时间段内，第二作业平台122传输至曝光工位201依次进行对位曝光操作(大约7s)、第二作业平台122在曝光工位201处下降(大约0.5s)、第二作业平台122回到第二工位g2处(大约2s)、第二作业平台122与第一作业平台121交换并上升至第二工位g2(大约0.5s)。
184.d1
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d5对应第二平移机械手h22的操作过程，d1表示在第32
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32.5s时间段内第二平移机械手h22 移动至第二作业平台122的上方；d2表示在第32.5
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33.5s时间段内第二平移机械手h22下降吸附工件s；d3表示在第33.5
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34s时间段内第二平移机械手h22上升；d4表示在第34
‑
35s时间段内第二平移机械手h22带动工件s交付至出料平台13；d5表示在第35
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35.5s时间段内第二平移机械手h22 上升而恢复原位。
185.可以理解的，为了避免机械手之间相互干扰，也可对时序进行了一些调整。
186.可以看到，以相邻两个工件s输出的时间间隔作为一工件s的处理周期t，第一工件s1的输出时刻为第35.5s，第二工件s2的输出时刻为第49.5s，那么，此时的处理周期t即为14s，远远低于现有技术的处理周期。
187.在本实施例中，一方面，由于每个机械手h最多仅在两个工位之间移动，通过配合可有效优化各个机械手的操作时序，从而尽可能多地降低处理周期t，另一方面，在曝光处理时间段内，第一翻转机械手h11与第二翻转机械手h12之间进行工件s的交付，且第一作业平台121与第二作业平台 122交替移动至第二工位g2，如此，可有效利用曝光处理时间，从而进一步降低处理周期t。
188.综上所述，本实用新型的移载装置100通过机械手h去实现工件s的翻转及移动，相较于现有技术中通过滚轮翻转机构或其他机构实现工件翻转的方式，本实施方式简化了双面处理流程，提高了双面处理效率，且移载装置100的结构简单。
189.本实用新型的任一机械手h的最大位移量p为两个相邻工位，即任一机械手h的活动区域是有限的，可以有效缩短机械手h的行进距离及操作时间，进而进一步提高双面处理效率。
190.应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
191.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。