多芯片检测系统的制作方法

1.本发明涉及半导体集成电路芯片检测设备技术领域，特别是涉及多芯片检测系统。


背景技术：

2.半导体集成电路芯片在生产制作过程中，因环节众多，工艺精细复杂，部分芯片在制作过程中便已出现损坏，若将损坏芯片与正常芯片同时向市场进行投放，必会造成市场的混乱，因此在芯片进入市场前，需对芯片进行检测。
3.传统的芯片检测工艺属于劳动密集型工艺，检测人员用镊指拾取芯片，放在测试机上，再人工按压，获取芯片数据，目前市场正逐步淘汰传统的芯片检测工艺，当下最先进的检测方式是通过检测设备模拟人工检测动作，对芯片进行检测，效率得到非常大的提高，通过机械抓手拾取芯片，快速精确，一次检测动作可同时测试多颗芯片，同时两次测试间的间断时间也能做到很短，而随着技术的改进优化，瞬间检测动作速度还在提升，因此限制芯片检测效率的部分已经不再是测试设备测试位的单一动作速度，数量众多的芯片要完成检测需要经过一系列的机械设备动作，其中涉及至少一个机械抓手来回抓取芯片和芯片装载以及输送的过程，同时承载芯片的料盘也可能需要为了匹配检测装置进行料盘转运，所以现有大批量的芯片检测大多是通过不同的设备进行配合完成检测工作流程，同时还需要多个工人进行操控，设备数量多，实际的有效运行少，资源有浪费，而且人工成本也不易缩减。


技术实现要素：

4.本发明的目的是：提供测试效率高，又能节约成本并大大减少人力消耗，并且能够灵活配置的多芯片检测系统。
5.为了解决上述技术问题，本发明提供了多芯片检测系统。
6.多芯片检测系统，包括芯片换盘设备和芯片测试设备；
7.所述芯片换盘设备包括换盘料盘运输轨道和换盘模组，所述换盘料盘运输轨道有至少两个；
8.所述换盘料盘运输轨道包括换盘轨道主架、安装在所述换盘轨道主架上的料盘运输装置和料盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载通用料盘或专用料盘在所述换盘轨道主架上移动，所述料盘定位装置用于将通用料盘或专用料盘定位；
9.所述换盘模组包括换盘运动架和换盘抓手，所述换盘运动架用于带动所述换盘抓手水平地移动，所述换盘抓手能抓取单个芯片或张合调整间距地抓取至少两个芯片；
10.所述芯片测试设备包括测试料盘运输轨道、次品盘运输轨道、测试模组和次品芯片抓取模组，所述测试料盘运输轨道和所述次品运输轨道平行地并排设置；
11.所述测试料盘运输轨道包括测试料盘轨道架、安装在所述测试料盘轨道架上的料盘运输装置和料盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载料盘在所述测试料盘轨道架上移动，所述料盘定位装置用于将料盘在工位处定位；
12.所述次品盘运输轨道包括次品盘轨道架、安装在所述次品盘轨道架上的料盘运输装置和次品盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载次品盘在所述次品盘轨道架上移动，所述次品盘定位装置用于将次品盘在工位处定位；
13.所述测试模组包括测试主架和测试抓手，所述测试抓手可活动地安装在所述测试主架上，所述测试抓手用于拾取芯片到测试位测试后再放回料盘中；
14.所述次品芯片抓取模组包括次品抓取运动架和次品吸盘模组，所述次品抓取运动架用于带动所述次品吸盘模组水平地移动，所述次品吸盘模组可升降移动并吸放芯片。
15.作为本发明的优选方案，所述料盘运输装置包括料盘运输带和运输驱动器，所述料盘定位装置包括料盘阻挡模组、后推夹紧模组和侧推夹紧模组，所述次品盘定位装置包括斜推夹紧气缸和次品盘阻挡块，所述次品盘阻挡块安装在所述次品盘轨道架的两端，所述斜推夹紧气缸安装在所述次品盘轨道架的工位处侧边。
16.作为本发明的优选方案，所述后推夹紧模组包括后推夹紧基座、后推气缸、敲打气缸、后推杆和敲击头，所述后推气缸和所述敲打气缸水平同向地安装所述后推夹紧基座上，所述后推杆连接与所述后推气缸的活塞杆连接，所述敲击头与所述敲打气缸的活塞杆连接，所述后推夹紧基座凸起有敲击板。
17.作为本发明的优选方案，所述测试料盘轨道架的两端均设置有料盘堆叠限位架、料盘顶升模组、料盘支撑模组，所述换盘轨道主架的两端也设置有料盘堆叠限位架、料盘顶升模组、料盘支撑模组。
18.作为本发明的优选方案，所述换盘运动架包括换盘运动主架、手臂支架、第一换盘驱动器、第二换盘驱动器和换盘抓手连接块，所述换盘运动主架和所述手臂支架水平设置，且所述手臂支架垂直地活动连接所述换盘运动主架，所述第一换盘驱动器驱动所述手臂支架沿所述换盘运动主架移动，所述换盘抓手连接块活动连接在所述手臂支架上，所述第二换盘驱动器驱动所述换盘抓手连接块沿所述手臂支架移动。
19.作为本发明的优选方案，所述换盘抓手包括换盘抓手背板、固定吸嘴模组、张合吸嘴模组、张合驱动模组和吸嘴驱动模组，所述固定吸嘴模组与所述换盘抓手背板固连，所述张合吸嘴模组可水平移动地与所述换盘抓手背板活动连接，所述张合驱动模组带动所述张合吸嘴模组水平移动，所述固定吸嘴模组和所述张合吸嘴模组均设置有通过所述吸嘴驱动模组带动升降的吸嘴。
20.作为本发明的优选方案，所述测试抓手包括浮动吸头、吸头连接板、测试抓手躯干、吸头平移连接块和躯干升降连接块，所述浮动吸头安装在所述吸头连接板的下侧，所述吸头连接板的上侧与所述测试抓手躯干连接，所述躯干升降连接块升降活动地连接在所述测试抓手躯干的一侧，且所述躯干升降连接块与所述吸头平移连接板连接；所述测试主架上设置有测试抓手平移模组和测试抓手升降模组，所述测试抓手平移模组与所述吸头平移连接块连接，所述测试抓手升降模组与所述测试抓手躯干连接。
21.作为本发明的优选方案，所述次品抓取运动架包括横向运动架、纵向运动架、横向移动电机、横向同步带轮机构、纵向移动电机和纵向同步带轮机构，所述横向运动架垂直地架设在所述测试料盘轨道架上方，所述横向移动电机和所述横向同步带轮机构安装在所述横向运动架，所述纵向运动架通过滑轨滑块与所述横向运动架移动连接，所述横向移动电机通过所述横向同步带轮机构带动所述纵向运动架，所述次品吸盘模组通过滑轨滑块与所
述纵向运动架移动连接，所述纵向移动电机和所述纵向同步带轮机构安装在所述纵向运动架上，所述纵向移动电机通过纵向同步带轮机构带动所述次品吸盘模组。
22.作为本发明的优选方案，所述次品吸盘模组包括次品吸盘、次品吸盘架、次品吸盘升降电机和次品吸盘连接架，所述次品吸盘安装在所述次品吸盘架的下端，所述次品吸盘架的一侧与所述次品吸盘连接架通过滑轨滑块连接，所述次品吸盘升降电机安装在所述次品吸盘连接架上，所述次品吸盘架通过螺杆螺母与所述次品吸盘升降电机连接。
23.作为本发明的优选方案，所述斜推夹紧气缸包括斜推气缸、斜推支架、斜推顶块和斜推导杆，所述斜推气缸、所述斜推顶块和所述斜推导杆通过所述斜推支架固定到所述次品盘轨道架上，所述斜推气缸的活塞杆带动所述斜推顶块斜向地移动，所述斜推顶块的一侧滑动连接所述斜推导杆。
24.本发明实施例多芯片检测系统与现有技术相比，其有益效果在于：
25.(1)可根据一台芯片测试设备的芯片测试效率，弹性配置芯片换盘设备的数量，节约设备成本；
26.(2)突破传统芯片测试机的限制，一台芯片测试设备可将测试机的性能发挥极致；
27.(3)一台芯片测试设备和一台芯片换盘设备可放置在不同场地，空间利用率高；
28.(4)当测试机能直接测试通用料盘密度的芯片时，可直接淘汰一台芯片换盘设备，一台芯片测试设备的芯片测试效率达到最大化；
29.(5)一台芯片测试设备和一台芯片换盘设备均能实现一人控制多台设备的操作，降低人力资源消耗；
30.(6)一套多芯片检测系统适应旧款的测试机，能更好地为市场过度提供时间；
31.(7)一套多芯片检测系统适应未来的测试机，利于市场的更新换代。
附图说明
32.图1是本发明中芯片换盘设备的总体安装结构示意图；
33.图2是本发明中换盘料盘运输轨道的组装结构示意图；
34.图3是本发明中料盘阻挡模组的组装结构示意图；
35.图4是本发明中后推夹紧模组的组装结构示意图；
36.图5是本发明中侧推夹紧模组的组装结构示意图；
37.图6是图2中a处的局部结构放大示意图；
38.图7是本发明中料盘顶升模组的组装结构示意图；
39.图8是本发明中料盘支撑模组的组装结构示意图；
40.图9是本发明中换盘运动架的组装结构示意图；
41.图10是本发明中换盘抓手的组装结构示意图；
42.图11是本发明中张合驱动模组的组装结构示意图；
43.图12是本发明中吸嘴驱动模组的组装结构示意图；
44.图13是本发明中张合吸嘴模组的组装结构示意图；
45.图14是本发明中芯片测试设备的总装结构示意图；
46.图15是本发明中测试料盘运输轨道的组装结构示意图；
47.图16是图15中f处的局部结构放大示意图；
48.图17是本发明中料盘支撑模组另一种实施例的组装结构示意图；
49.图18是本发明中次品盘运输轨道的组装结构示意图；
50.图19是图18中g处的局部结构放大示意图；
51.图20是本发明中斜推夹紧气缸的组装结构示意图；
52.图21是本发明中测试模组的组装结构示意图；
53.图22是图13测试模组的局部拆解结构示意图；
54.图23是本发明中测试抓手的组装结构示意图；
55.图24是本发明中测试抓手平移模组的组装结构示意图；
56.图25是本发明中测试抓手升降模组的组装结构示意图；
57.图26是本发明中测试抓手升降模组的升降电机结构连接示意图；
58.图27是本发明中次品抓取运动架的组装结构示意图；
59.图28是本发明中次品吸盘模组的组装结构示意图；
60.图29是本发明一种实施例系统的总体设备布置示意图。
具体实施方式
61.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
62.在本发明的描述中，应当理解的是，除非另有明确的规定和限定，本发明中采用术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
63.本发明的描述中，还需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的机或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。应当理解的是，本发明中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本发明范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。
64.参考图1和14，本发明实施例的多芯片检测系统包括芯片换盘设备和芯片测试设备，所述芯片换盘设备用于将芯片在不同的料盘之间进行转移，所述芯片测试设备用于抓取专用料盘上的芯片进行测试，并分拣出不合格的芯片；
65.所述芯片换盘设备包括换盘料盘运输轨道和换盘模组，所述换盘料盘运输轨道平行地并排有至少两个，所述换盘模组可横跨在所述换盘料盘运输轨道上方，两个所述换盘料盘运输轨道分别用于放置和运送通用料盘和专用料盘，所述换盘模组用于将芯片从通用料盘转移到专用料盘或从专用料盘转移到通用料盘；通过所述换盘料盘运输轨道和换盘模组配合操作，能连续地实现将多个通用料盘上的芯片对应地换盘到多个专用料盘中，也能实现连续地将多个专用料盘上的芯片对应地换盘到多个通用料盘中；
66.所述换盘料盘运输轨道包括换盘轨道主架21、安装在所述换盘轨道主架21上的料
盘运输装置22和料盘定位装置，所述料盘运输装置用于运载通用料盘或专用料盘在所述换盘轨道主架21上移动，所述料盘定位装置用于将通用料盘或专用料盘在工位处定位，料盘能在换盘料盘运输轨道上逐个传送，并在工位处自适应地将不同尺寸的料盘定位来连续对芯片转移；
67.所述换盘模组包括换盘运动架23和换盘抓手24，所述换盘运动架23用于带动所述换盘抓手24在所述换盘料盘运输轨道的上方水平地移动，所述换盘抓手24用于升降和能抓取通用料盘或专用料盘上的单个芯片或张合调整间距地抓取至少两个芯片，不同料盘的芯片放置间距能被所述换盘抓手24在换盘时实时调整，从而每次抓取芯片均能够将芯片正确地拾放，有效提高多芯片的换盘效率；
68.所述芯片测试设备包括测试料盘运输轨道、次品盘运输轨道、测试模组和次品芯片抓取模组，所述测试料盘运输轨道和所述次品运输轨道平行地并排设置，所述测试模组从所述测试料盘运输轨道上运送的料盘中拾取芯片并放到测试工位上进行检测，然后放回到料盘中，所述次品芯片抓取模组将检测出的次品芯片从料盘中转移到所述次品盘运输轨道上的次品盘中，所述测试料盘运输轨道相应地将料盘从进料运输经过取料测试位、次品抓取位，最后到出料位；
69.所述测试料盘运输轨道包括测试料盘轨道架51、安装在所述测试料盘轨道架51上的料盘运输装置22和料盘定位装置，所述料盘运输装置22用于运载专用料盘在所述测试料盘轨道架51上移动，所述料盘定位装置用于将通用料盘或专用料盘在工位处定位，料盘能在所述测试料盘运输轨道上逐个传送，并在工位处自适应地将料盘定位；
70.所述次品盘运输轨道包括次品盘轨道架52、安装在所述次品盘轨道架52上的料盘运输装置22和次品盘定位装置，所述料盘运输装置22用于运载次品盘在所述次品盘轨道架52上移动，所述次品盘定位装置用于将次品盘在工位处定位，次品盘装满即运送到更换工位后再回到工位处；
71.所述测试模组包括测试主架53和测试抓手54，所述测试抓手54可水平和升降活动地安装在所述测试主架53上，所述测试抓手54用于从所述测试料盘运输轨道上的专用料盘拾取芯片到测试位测试后再放回专用料盘中；
72.所述次品芯片抓取模组包括次品抓取运动架55和次品吸盘模组56，所述次品抓取运动架55用于带动所述次品吸盘模组56在所述测试料盘运输轨道和所述次品运输轨道的上方水平地移动，所述次品吸盘模组56可升降移动并吸放芯片，所述次品抓取运动架55将所述次品吸盘模组56移动到检测得出的次品芯片上通过吸放操作，从而将次品芯片从专用料盘转移到工位处的次品盘中。
73.参考图2、6、15、16、18，示例性的，所述料盘运输装置22包括料盘运输带221和运输驱动器222，在所述换盘料盘运输轨道上，所述料盘运输带221安装在所述换盘轨道主架21上并由所述运输驱动器222带动运转，所述料盘运输带221承载专用料盘或通用料盘并相应地沿所述换盘轨道主架21上进行拖动；所述测试料盘运输轨道的所述料盘运输带221安装在所述测试料盘轨道架51；所述次品盘运输轨道的所述料盘运输带221安装在所述次品盘轨道架52上，所述料盘运输带221由所述运输驱动器222带动运转，所述料盘运输带221承载专用料盘相应地沿轨道架上进行移动；所述次品盘轨道架52所述换盘轨道主架21、和所述测试料盘轨道架51均为矩形的框架结构，所述测试料盘运输轨道中所述料盘运输装置22优
选地在所述测试料盘轨道架51上沿运输方向分布有至少两组的所述料盘运输带221和所述运输驱动器222，从而分别为测试抓取工位和次品捡取工位提供各自独立的运送或带动，每组的所述料盘运输带221有两个并分别能回转地安装在所述换盘轨道主架21、所述次品盘轨道架52或所述测试料盘轨道架51的内侧两边壁面处，所述运输驱动器222包括电机、连接电机的电机带轮和轨道带轮，所述料盘运输带221的一端匹配套接所述轨道带轮，所述电机带轮和其中一侧的轨道带轮通过传动带连接带动，同时两侧的轨道带轮轴连接，从而电机启动即联动驱使所述料盘运输带221回转运动，当料盘放置在所述换盘轨道主架21、所述测试料盘轨道架51或所述次品盘轨道架52中，料盘被两侧的所述料盘运输带221承托和带动，而两组的所述料盘运输带221通过端部相对使得料盘能够连贯地从一个料盘运输带221持续移动到另一料盘运输带221上，明显地所述测试料盘轨道架51的次品捡取工位与所述次品盘轨道架52的次品收集工位相对应，从而方便所述次品芯片抓取模组移动次品芯片。
74.参考图2和15，示例性的，所述料盘定位装置包括料盘阻挡模组31、后推夹紧模组32和侧推夹紧模组33，所述料盘阻挡模组31、所述后推夹紧模组32和所述侧推夹紧模组33在所述测试料盘运输轨道中优选有两组，与在所述换盘料盘运输轨道和所述次品盘运输轨道上同理，每组的所述料盘阻挡模组31和所述后推夹紧模组32一前一后地分别安装在轨道架上的工位处，所述侧推夹紧模组33安装在轨道架的工位处的侧边，当料盘运输到所述换盘轨道主架21、所述测试料盘轨道架51或所述次品盘轨道架52的工位处，所述料盘阻挡模组31先挡住料盘，同时所述后推夹紧模组32从料盘的另一端将料盘顶压而夹紧，同时所述侧推夹紧模组33从侧方将料盘顶压到轨道架的另一侧来夹紧，从而使料盘定位在工位处，所述后推夹紧模组32和侧推夹紧模组33可通过动力缸、电动推杆或转动、移动的活动机构等实现顶压操作，而所述料盘阻挡模组31可通过活动机构来移动到相应位置对料盘进行阻挡。
75.参考图3，示例性的，所述料盘阻挡模组31包括阻挡基座311、阻挡气缸312、阻挡架313、阻挡片314、阻挡滑轨315和阻挡滑块316，所述阻挡基座311呈l型，所述阻挡气缸312和所述阻挡滑轨315分别竖立地安装在所述阻挡基座311的两侧，所述阻挡架313为直角板，其上端连接所述阻挡气缸312的活塞杆，所述阻挡架313的下端内侧面连接所述阻挡滑块316并与所述阻挡滑轨315滑接，所述阻挡片314安装在所述阻挡架313的下端外侧面上，从而当所述料盘阻挡模组31在轨道架中间下部向上伸出所述阻挡片314，即可将料盘阻挡。
76.参考图4，示例性的，所述后推夹紧模组32包括后推夹紧基座321、后推气缸322、敲打气缸323、后推杆324和敲击头325，所述后推气缸322和所述敲打气缸323水平同向地安装所述后推夹紧基座321上，所述后推杆324连接与所述后推气缸322的活塞杆连接，所述敲击头325与所述敲打气缸323的活塞杆连接，所述后推夹紧基座321凸起有敲击板3211，所述敲打气缸323带动所述敲击头325敲打所述敲击板3211，故当料盘被所述料盘阻挡模组31挡住后，所述后推气缸322带动所述后推杆324水平移动而将料盘压紧到所述料盘阻挡模组31实现后推夹紧，然后所述敲打气缸323带动敲击头325水平地向所述敲击板3211敲打，从而透过所述后推夹紧模组32使料盘震动，即可将料盘中歪斜或放置不当的芯片震回到正确位置，而且可通过设置敲打速度，敲打频率，确保不会因为敲打力气过大，将原本在指定位置的芯片敲翻，也不会因为力气和频率不够，导致芯片敲不下去。
77.参考图5，示例性的，所述侧推夹紧模组33包括侧推气缸331、侧推基座332和侧推
杆333，所述侧推基座332与轨道架连接固定，所述侧推气缸331固定在所述侧推基座332上，所述侧推气缸331的活塞杆与所述侧推杆333连接，所述侧推杆333由所述侧推气缸331驱动而顶着通用料盘或专用料盘的一侧边部，使通用料盘或专用料盘的另一侧边部紧贴于轨道架的侧板；所述阻挡基座311和所述后推夹紧基座321可固定在轨道架上。
78.参考图2、6、15和16，示例性的，所述测试料盘轨道架51的两端均设置有料盘堆叠限位架41、料盘顶升模组42、料盘支撑模组43，所述换盘轨道主架21的两端也设置有料盘堆叠限位架41、料盘顶升模组42、料盘支撑模组43，料盘能沿所述料盘堆叠限位架41堆叠地放置到所述测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21的一端处，所述料盘顶升模组42可将料盘顶起或降下，配合所述料盘支撑模组43单次可挂起上方的料盘，料盘即可在测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21的任一端从堆叠逐个放出或逐个堆叠起来，同时所述料盘运输装置22料盘即可双向堆叠释放再堆叠收集，实现双向运输。
79.参考图2和15，示例性的，所述料盘堆叠限位架41包括四个直立的直角条板，四个所述直角条板呈矩形的四角分布，当所述料盘顶升模组42将料盘从所述测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21顶起即可四角对应四个所述直角条板升起，又或者堆叠的料盘沿四个所述直角条板逐个下放，从而料盘即可顺沿所述料盘堆叠限位架41升降实现堆叠收集或释放，由于所述测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21的两端分别均有四个所述直角条板，优选地，靠外一侧的直角条板较靠内一侧的矮，非常方便取放堆叠的料盘。
80.参考图2、6、7、15和16，示例性的，所述料盘顶升模组42设置在所述测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21的两端工位的下方，所述料盘顶升模组42包括顶升驱动器421、顶升底座422、顶升台架423和顶升导杆机构424，所述顶升驱动器421和所述顶升导杆机构424的一端安装在所述顶升底座422上，所述顶升台架423的下侧与所述顶升导杆机构424的另一端连接，所述顶升驱动器421的另一端驱动连接所述顶升台架423，所述顶升底座422可安装在所述测试料盘轨道架51或所述换盘轨道主架21的两端下方，所述顶升驱动器421可为动力缸或电机，优选地所述顶升驱动器421为电机并通过滚柱丝杠机构或其它回转运动转化直线运动的传动机构连接所述顶升台架423，同时所述顶升导杆机构424辅助导向所述顶升台架423平稳升降。
81.参考图2、6、8和15，示例性的，所述料盘支撑模组43包括支撑驱动器431、支撑底座432和支撑托块433，所述支撑驱动器431可为动力缸或电动伸缩杆，所述支撑驱动器431安装在所述支撑底座432上，所述支撑驱动器431带动所述支撑托块433水平移动，当所述料盘顶升模组42承托料盘升降时所述支撑托块433后移避免从下卡接料盘特设的卡口，当料盘升降经过后所述支撑托块433伸出对应卡接料盘特设的卡口，从而支撑堆叠的料盘而所述料盘支撑模组43在堆叠料盘的下方可放下料盘或顶起下一料盘，所述支撑驱动器431优选为气缸，所述支撑底座432优选为l形，所述支撑托块433的前端优选设置有铲形托片匹配插入料盘侧边的卡口。
82.参考图15－17，示例性的，所述料盘支撑模组43还包括支撑座434和可转支撑托块435，所述可转支撑托块435的后端与所述支撑座434转动连接，所述可转支撑托块435可向上转动且底侧被所述支撑座434的上端面承托抵接，优选地所述可转支撑托块435的前端下侧设置有斜面，当料盘被料盘顶升模组42抬升时自然可从下侧向上推动可转支撑托块435上转，直到其落下回位，料盘顶升模组42下降将料盘自然地被承托，从而能够以更为简单的
结构实现料盘的单向上升堆叠的归集，这种更多设置在测试料盘轨道架51的末端。
83.参考图18和19，示例性的，所述次品盘定位装置包括斜推夹紧气缸571和次品盘阻挡块572，所述次品盘阻挡块572安装在所述次品盘轨道架52的两端，所述斜推夹紧气缸571安装在所述次品盘轨道架52的次品收集工位处侧边，所述次品盘阻挡块572用于将次品盘限位阻挡在所述次品盘轨道架52的任一端部位置，所述斜推夹紧气缸571用于配合所述次品盘阻挡块572将位于次品收集工位处的次品盘或料盘夹紧。
84.参考图20，示例性的，所述斜推夹紧气缸571包括斜推气缸5711、斜推支架5714、斜推顶块5712和斜推导杆5713，所述斜推气缸5711、所述斜推顶块5712和所述斜推导杆5713通过所述斜推支架5714固定到所述次品盘轨道架52上，所述斜推气缸5711的活塞杆带动所述斜推顶块5712斜向地移动，所述斜推顶块5712的一侧滑动连接所述斜推导杆5713，从而确保斜推顶块5712稳定与所述次品盘阻挡块572配合夹紧料盘。
85.参考图9，示例性的，所述换盘运动架23包括换盘运动主架231、手臂支架233、第一换盘驱动器234、第二换盘驱动器235和用于连接所述换盘抓手24的换盘抓手连接块236，所述换盘运动主架231和所述手臂支架233水平设置，且所述手臂支架233垂直地活动连接所述换盘运动主架231，所述第一换盘驱动器234驱动所述手臂支架233沿所述换盘运动主架231移动，所述换盘抓手连接块236活动连接在所述手臂支架233上，所述第二换盘驱动器235驱动所述换盘抓手连接块236沿所述手臂支架233移动，所述换盘运动主架231与所述换盘料盘运输轨道垂直，所述手臂支架233与所述换盘料盘运输轨道平行，故所述换盘抓手连接块236的移动方向与所述换盘料盘运输轨道同向，所述手臂支架233的移动方向与所述换盘料盘运输轨道垂直，从而构成二轴的水平移动，通过所述换盘抓手24连接所述换盘抓手连接块236从而可水平移动；所述第一换盘驱动器234为紧固连接在所述换盘运动主架231上的电机，电机的电机轴和所述手臂支架233的端部通过同步带连接，所述第一换盘驱动器234的电机轴通过同步带驱动所述手臂支架233往复移动，所述第一换盘驱动器234设置在所述换盘运动主架231的一端，所述换盘运动主架231的另一端设置有一个从动轮，所述同步带通过一个电机和一个从动轮即可张紧和拉动，节省成本，另外所述第一换盘驱动器234也可为气缸、液压缸或电动伸缩杆，所述第二换盘驱动器235为紧固在所述手臂支架233上的电机，电机的电机轴和所述换盘抓手连接块236通过同步带连接，所述第二换盘驱动器235的电机轴通过同步带驱动所述换盘抓手连接块236往复移动，同理所述手臂支架233上也设置有一个从动轮配合电机张紧和拉动同步带；所述手臂支架233通过滑块导轨活动连接所述换盘运动主架231，所述换盘抓手连接块236也通过滑块导轨活动连接所述手臂支架233或者所述换盘抓手24连接所述换盘抓手连接块236并通过滑块导轨活动连接所述手臂支架233，从而实现移动的精准和稳定；所述换盘运动架23还包括换盘运动副架232，所述换盘运动副架232与所述换盘运动主架231平行，所述手臂支架233的两端分别垂直地活动连接所述换盘运动主架231和所述换盘运动副架232，由于所述手臂支架233被所述换盘运动主架231平行地支撑，故所述手臂支架233具有更好的支撑结构，移动也更平稳；所述换盘运动副架232上设置有两个从动轮并通过同步带驱动连接所述手臂支架233的另一端，所述换盘运动副架232上的一个从动轮通过一换盘联动轴237与所述换盘运动主架231上的从动轮联动，从而只需通过所述第一换盘驱动器234驱动即可使所述手臂支架233两端同步驱动实现移动；所述手臂支架233也通过滑块导轨活动连接所述换盘运动副架232。
86.参考图10，示例性的，所述换盘抓手24包括换盘抓手背板241、固定吸嘴模组242、张合吸嘴模组243、张合驱动模组244和吸嘴驱动模组245，所述换盘抓手背板241与所述换盘抓手连接块236固连，所述换盘抓手24活动连接所述手臂支架233，所述固定吸嘴模组242与所述换盘抓手背板241固连，所述张合吸嘴模组243可水平移动地与所述换盘抓手背板241活动连接，所述张合驱动模组244带动所述张合吸嘴模组243水平移动，所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243均设置有通过所述吸嘴驱动模组245带动升降的吸嘴，所述张合驱动模组244和吸嘴驱动模组245可为液压缸或气缸实现直线往复移动的驱动，也可为电机通过传动机构实现移动，所述张合吸嘴模组243可通过连接在所述换盘抓手背板241上的滑槽、滑杆或其它活接结构实现相对于所述固定吸嘴模组242的水平张合移动，所述张合驱动模组244即可相应对所述张合吸嘴模组243进行带动，所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243的吸嘴可通过滑套或其它类似结构实现导向升降，所述吸嘴驱动模组245可分别相应设置两个或多个来同步带动所述固定吸嘴模组242和所述张合吸嘴模组243的吸嘴，也可通过联动机构同时带动两个或多个吸嘴，由此所述换盘抓手24可因应料盘的芯片放置位置规格而自动张合适配地进行多个抓取，即使通用料盘和专用料盘的芯片放置位置距离差不同，所述换盘抓手24也能对应调整，灵活进行多个芯片同时抓取的高效动作。
87.参考图11，示例性的，所述换盘抓手背板241通过水平的滑块滑轨机构活动连接所述张合吸嘴模组243，所述张合驱动模组244包括张合电机2441、张合带轮2442、张合驱动带2443和张合从动轮2444，所述张合电机2441固定连接所述换盘抓手背板241，所述张合电机2441的电机轴连接所述张合带轮2442、所述张合从动轮2444可转动地安装在所述换盘抓手背板241上，所述张合驱动带2443的两端分别连接所述张合带轮2442和所述张合从动轮2444，且所述张合驱动带2443水平地传动连接所述张合吸嘴模组243，故所述张合电机2441可轻松地带动所述张合吸嘴模组243相对所述固定吸嘴模组242张合调距，所述张合电机2441也可通过连接水平的丝杆，而所述张合吸嘴模组243通过螺母匹配连接丝杆实现传动。所述张合吸嘴模组243平行地有至少两个，所述张合带轮2442、所述张合驱动带2443和所述张合从动轮2444分别对应地也至少有两个，所述张合电机2441的电机轴串接至少两个所述张合带轮2442，所述张合驱动带2443和所述张合从动轮2444上下分布，且所述张合带轮2442之间根据所连接的所述张合吸嘴模组243相对所述固定吸嘴模组242的距离差对应具有直径差距，由于所述张合带轮2442的直径差别会产生所述张合驱动带2443的移动速度差，因此通过相应的距离、速度计算来设计所述张合带轮2442的直径差距，即可使得至少两个的所述张合吸嘴模组243在一侧相对所述固定吸嘴模组242等速等距地进行张合调距。
88.参考图10－12，示例性的，所述吸嘴驱动模组245有至少两个并分别连接所述固定吸嘴模组242和张合吸嘴模组243，所述吸嘴驱动模组245包括吸嘴驱动电机2451、吸嘴驱动带2452和两个吸嘴驱动带轮2453，两个所述吸嘴驱动带轮2453一上一下地安装在所述换盘抓手背板241上，所述吸嘴驱动带2452的两端分别连接两个所述吸嘴驱动带轮2453，所述吸嘴驱动电机2451固连在所述换盘抓手背板241的后侧上，所述吸嘴驱动电机2451的电机轴连接其中一个所述吸嘴驱动带轮2453，所述吸嘴驱动带2452与所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243连接，由此带动所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243升降，升降非常快速。
89.参考图10，示例性的，所述换盘抓手背板241上还设置有至少两个分别连接所述固
定吸嘴模组242和张合吸嘴模组243的吸嘴下坠保护件246，所述吸嘴下坠保护件246的一端与所述换盘抓手背板241连接，所述吸嘴下坠保护件246的另一端连接所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243，所述吸嘴下坠保护件246使所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243因重力作用而下滑时得到缓冲，避免对芯片造成硬性碰撞或撞击、损坏。所述吸嘴下坠保护件246优选为拉簧，所述拉簧的上端连接在所述换盘抓手背板241上端，所述拉簧的下端连接所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243，随所述固定吸嘴模组242或张合吸嘴模组243下降时所述拉簧竖直地进行弹性拉紧。
90.参考图10和13，示例性的，所述张合吸嘴模组243包括第二吸嘴模组下安装座2431、第二吸嘴模组上安装座2432、第二吸嘴模组主架2433和张合横向导杆2434，所述第二吸嘴模组下安装座2431通过滑块滑轨机构可水平移动地连接在所述换盘抓手背板241，所述第二吸嘴模组上安装座2432通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述换盘抓手背板241上，所述第二吸嘴模组主架2433通过滑块滑轨机构可升降移动地连接在所述第二吸嘴模组下安装座2431上，所述张合横向导杆2434水平地安装在所述第二吸嘴模组上安装座2432上，所述第二吸嘴模组主架2433滑动连接所述张合横向导杆2434，优选地所述第二吸嘴模组主架2433的上端通过两个转销夹接所述张合横向导杆2434，当所述张合吸嘴模组243水平地张合移动时，所述第二吸嘴模组主架2433的上下部分均能平稳地水平移动并同时能升降移动，所述第二吸嘴模组主架2433的上端连接所述吸嘴下坠保护件246，所述第二吸嘴模组上安装座2432和所述吸嘴驱动带2452连接，所述第二吸嘴模组下安装座2431和所述张合驱动带2443连接，且气嘴安装在第二吸嘴模组主架2433下端；所述固定吸嘴模组242包括第一吸嘴模组下安装座、第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架，与所述张合吸嘴模组243的结构相同，所述第一吸嘴模组下安装座通过滑块滑轨机构可升降地连接在所述第一吸嘴模组主架上，所述第一吸嘴模组主架的上端连接所述吸嘴下坠保护件246，且气嘴安装在第一吸嘴模组主架下端，而所述第一吸嘴模组上安装座和第一吸嘴模组主架固定连接，所述第一吸嘴模组下安装座和所述换盘抓手背板241固定连接。
91.参考图21－23，示例性的，所述测试抓手54包括浮动吸头541、吸头连接板542、测试抓手躯干543、吸头平移连接块544和躯干升降连接块545，所述浮动吸头541安装在所述吸头连接板542的下侧，所述吸头连接板542的上侧与所述测试抓手躯干543连接，所述躯干升降连接块545升降活动地连接在所述测试抓手躯干543的一侧，且所述躯干升降连接块545与所述吸头平移连接块544连接，所述浮动吸头541为测试机测试位专门设计的抓手，与专用料盘和测试机测试位相互匹配，并起到减缓吸取芯片和降低取芯片时造成的冲击的作用；所述测试主架53上设置有测试抓手平移模组531和测试抓手升降模组532，所述测试抓手平移模组531与所述吸头平移连接块544连接，所述测试抓手升降模组532与所述测试抓手躯干543连接，从而通过所述测试抓手平移模组531和所述测试抓手升降模组532分别驱动所述测试抓手54的升降和单向平移。
92.参考图21、22和24，示例性的，所述测试抓手平移模组531包括手调丝杆5311、手调丝杆连接块5312、测试抓手平移电机5313和测试抓手平移滑轨5314，所述测试抓手平移电机5313通过连接所述手调丝杆5311带动所述手调丝杆连接块5312，所述手调丝杆连接块5312与所述吸头平移连接块544连接，所述吸头平移连接块544通过滑块滑接所述测试抓手平移滑轨5314，所述手调丝杆5311与所述测试抓手平移滑轨5314平行，所述手调丝杆5311
在设备停机时能够手动调节测试抓手沿其轴向所在的位置，很好实现测试抓手的平移。
93.参考图21、22和25、26，示例性的，所述测试抓手升降模组532包括升降丝杆5321、升降丝杆连接块5322、升降电机5323和平移辅助连接块5324，所述升降丝杆连接块5322连接在所述升降丝杆5321上，所述升降电机5323驱动连接所述升降丝杆5321，所述平移辅助连接块5324通过滑块和滑轨可移动地安装在所述升降丝杆连接块5322上，且所述平移辅助连接块5324与所述测试抓手躯干543连接，当所述升降电机5323转动即可带动测试抓手升降，同时也通过平移辅助连接块5324确保所述测试抓手躯干543升降的同时能够平移，所述升降电机5323通过龙门架结构的支架安装在所述测试主架53上，再通过同步带轮机构与所述升降丝杆5321相连，即可降低整体结构的高度，同时所述测试主架53上的测试抓手54优选设计有左右对称的两组，所述测试抓手平移模组531和所述测试抓手升降模组532也相应对称地设置成两组，从而配合两组的所述测试料盘运输轨道，从而提高测试效率。
94.参考图27，示例性的，所述次品抓取运动架55包括横向运动架551、纵向运动架552、横向移动电机553、横向同步带轮机构554、纵向移动电机555和纵向同步带轮机构556，所述横向运动架551垂直地架设在所述测试料盘轨道架51上方，所述横向移动电机553和所述横向同步带轮机构554安装在所述横向运动架551，所述纵向运动架552通过滑轨滑块与所述横向运动架551移动连接，所述横向移动电机553通过所述横向同步带轮机构554带动所述纵向运动架552，所述次品吸盘模组56通过滑轨滑块与所述纵向运动架552移动连接，所述纵向移动电机555和所述纵向同步带轮机构556安装在所述纵向运动架552上，所述纵向移动电机555通过纵向同步带轮机构556带动所述次品吸盘模组56，所述次品吸盘模组56即可在次品抓取运动架55上纵横移动进行次品吸取动作，同时能够覆盖料盘的多个芯片，也能同时覆盖多个测试料盘运输轨道。
95.参考图28，示例性的，所述次品吸盘模组56包括次品吸盘561、次品吸盘架562、次品吸盘升降电机563和次品吸盘连接架564，所述次品吸盘561安装在所述次品吸盘架562的下端，所述次品吸盘架562的一侧与所述次品吸盘连接架564通过滑轨滑块连接，所述次品吸盘升降电机563安装在所述次品吸盘连接架564上，所述次品吸盘架562通过螺杆螺母与所述次品吸盘升降电机563连接，所述次品吸盘连接架564与所述纵向运动架552通过滑轨滑块连接，当次品吸盘升降电机563带动螺杆，次品吸盘架562在螺母沿螺纹轴线方升降移动，移动过程更为细腻可调，避免了通过气缸或伸缩杆驱动可能导致碰撞芯片的不便，由于次品一般较少，故通常只需设计单个吸盘即可完成次品的抓取，并且降低结构复杂性。
96.本发明中的芯片换盘设备能实现将通用料盘上的芯片换盘到专用料盘中的动作，也能实现将专用料盘上的芯片换盘到通用料盘中的动作；料盘可适应地在工位中定位，并且通过敲打能将芯片在料盘上的位置导正；换盘抓手可张合，适应多种规格的芯片或料盘，柔性高；能多个抓手同时进行换盘工序，有效提高芯片换盘效率；换盘运动架确保换盘抓手的移动定位精度高，移动稳定性好；换盘料盘运输轨道可互换料盘或更换方向运输方向进行运用，灵活性好，而且轨道两端的入料位和出料位有堆叠结构设计，可一次性送入大量料盘，节约工作人员的送料时间和取料时间。
97.本发明中的芯片测试设备的特点在于：打破旧款芯片测试机测试效率的限制，剔除芯片搬运结构，将设备的芯片测试功能发挥极致；能根据弹性满足测试机的未来发展，根据测试机的不同修改专用料盘，时测试机的使用效率达到最高；能兼容旧测试机，利于市场
发展的过渡；设备内外测试抓手可单独调节，降低设备调试难度；次品芯片捡取位置与测试位置，芯片换盘位置分开，有效避免了测试动作和换盘动作的相互干扰，保证设备尽可能已最高效率运行；设备入料位和出料位有堆叠结构设计，可一次性送入大量料盘，节约工作人员的送料时间和取料时间。
98.本发明的多芯片检测系统通过多芯片测试设备对芯片进行测试，按照测试机芯片摆放位置设计的料盘，芯片通过此专用料盘进入设备，一台多芯片测试设备优选地可通过测试抓手一次性抓取专用料盘上的所有芯片，统一进行测试，测试完毕后再一次性放回专用料盘中，送出设备；一套多芯片检测系统通过多台芯片换盘设备对芯片进行通用料盘和专用料盘之间的换盘，一台芯片换盘设备可用于通用料盘向专用料盘之间的换盘，也可用于专用料盘向通用料盘之间的换盘，若测试机进一步优化，原来的芯片换盘设备数量不足，可直接添加芯片换盘设备，无需改进设计一台芯片测试设备，增加了系统的柔性，参考图29，多芯片检测系统由中间的一台芯片测试设备搭配左右的各两台芯片还盘设备。
99.综上，本发明的多芯片检测系统，其能够实现以下效果：
100.(1)可根据一台芯片测试设备的芯片测试效率，弹性配置芯片换盘设备的数量，节约设备成本；
101.(2)突破传统芯片测试机的限制，一台芯片测试设备可将测试机的性能发挥极致；
102.(3)一台芯片测试设备和一台芯片换盘设备可放置在不同场地，空间利用率高；
103.(4)当测试机能直接测试通用料盘密度的芯片时，可直接淘汰一台芯片换盘设备，一台芯片测试设备的芯片测试效率达到最大化；
104.(5)一台芯片测试设备和一台芯片换盘设备均能实现一人控制多台设备的操作，降低人力资源消耗；
105.(6)一套多芯片检测系统适应旧款的测试机，能更好地为市场过度提供时间；
106.(7)一套多芯片检测系统适应未来的测试机，利于市场的更新换代。
107.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。