一种集成芯片智能移载摆放设备的制作方法

1.本发明涉及芯片加工机械领域，尤其涉及到一种集成芯片智能移载摆放设备。


背景技术：

2.目前，集成计算机的研究在克服瓶颈技术之后，要想实现商品化和产业升级，需要走集成化的道路，超导系统、半导体集成点系统、微纳光子学系统、甚至是原子和离子系统，都想走芯片化的道路；“集成芯片”是未来集成计算机的“大脑”。随着半导体工业和人工智能的发展，集成芯片的应用也尤为重要，而移载摆放是集成芯片存储使用重要的一环，现有的摆放机智能化程度较低，且结构较为复杂，摆放效率较低。
3.因此，现有技术存在缺陷，需要改进。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术存在的缺陷，本发明提供了一种集成芯片智能移载摆放设备。
5.本发明提供的技术文案，包括机架和载具上料机械臂组件，所述载具上料机械臂组件设置于所述机架的前端右侧，所述机架的上面依次设置有芯片载具机构、芯片载具拍照组件、四轴机器人、ccd相机组件和智能摆放机构，所述芯片载具机构固定于所述机架的右侧，所述芯片载具拍照组件固定于所述芯片载具机构的右侧，所述四轴机器人固定于所述芯片载具机构的左侧，所述ccd相机组件固定于所述四轴机器人的后面，所述智能摆放机构固定于所述四轴机器人的左侧，所述智能摆放机构包括摆盘传送组件、摆盘分离组件、顶摆盘定位组件和摆盘堆叠组件。
6.由载具上料机械臂组件智能将芯片载具移至芯片载具机构，通过芯片载具拍照组件和ccd相机组件配合四轴机器人，从芯片载具机构上夹取内存芯片，并有序摆放至智能摆放机构上的摆盘中，来实现电脑内存芯片的智能上料和摆放操作。
7.优选地，所述载具上料机械臂组件包括上料机械臂底架、上料机械臂支架、无杆气缸滑动单元和载具移动单元，所述上料机械臂支架固定于所述上料机械臂底架的上面，所述无杆气缸滑动单元固定于所述上料机械臂支架的前面上部，所述载具移动单元固定于所述无杆气缸滑动单元的前面。
8.上料机械臂底架和上料机械臂支架作为支撑部件，上料机械臂底架上可以放置芯片载具，方便无杆气缸滑动单元带动载具移动单元左右移动，并由载具移动单元上下滑动来进行夹取移动芯片载具，以此来实现芯片载具的智能上料。
9.优选地，所述芯片载具机构包括芯片载具传送组件、载具托起组件、载具阻挡气缸组件、载具定位组件、气缸上摆盘组件和载具堆叠组件，所述芯片载具传送组件固定于所述机架的上面，所述载具托起组件设置于所述芯片载具传送组件的右侧，所述载具托起组件固定于所述机架的上面，所述载具阻挡气缸设置于所述载具托起组件的左侧，所述载具阻挡气缸固定于所述芯片载具传送组件，所述载具定位组件固定于所述机架的上面，所述载具定位组件设置于所述载具阻挡气缸的左侧，所述气缸上摆盘组件固定于所述芯片载具传
送组件的左侧底部，所述载具堆叠组件设置于所述气缸上摆盘组件的上部，所述载具堆叠组件固定于所述芯片载具传送组件的左边两侧。
10.芯片载具传送组件是通过电机带动同步皮带传动，将芯片载具依次从载具托起组件，传送至载具定位组件，再由四轴机器人进行芯片夹取，在进行芯片夹取作业时，载具阻挡气缸组件对芯片载具传送组件传送过来的芯片载具进行阻挡，等前面芯片夹取作业完成，再由载具阻挡气缸组件解除阻挡，进行下个芯片夹取作业，已经完成芯片夹取的芯片载具再由芯片载具传送组件传送至气缸上摆盘组件和载具堆叠组件，先有载具堆叠组件升起，当完成芯片夹取的芯片载具传送至气缸上摆盘组件时，由气缸上摆盘组件进行顶起操作，当顶起的芯片载具接触载具堆叠组件时，载具堆叠组件向两边移开后收拢并拖住芯片载具，气缸上摆盘组件下降后位置还原，完成芯片载具的堆叠操作，芯片载具机构从入料芯片载具开始，到对已经完成芯片夹取的芯片载具进行堆叠操作，实现智能化操作。
11.优选地，所述芯片载具拍照组件包括载具拍照支架、拍照无杆气缸、拍照滑动单元和ccd相机单元，所述载具拍照支架固定于所述机架的上面右侧，所述拍照无杆气缸固定于所述载具拍照支架的前面上部，所述拍照滑动单元设置于所述拍照无杆气缸的下面，所述拍照滑动单元固定于所述载具拍照支架的前面上部，所述ccd相机单元固定于所述拍照无杆气缸和所述拍照滑动单元的前面。
12.位于拍照支架上的拍照无杆气缸和拍照滑动单元配合，左右移动ccd相机单元，ccd相机单元对载具定位组件上的芯片进行拍照，并将图像传输至图像处理系统，以便四轴机器人更好的准确抓取芯片。
13.优选地，所述ccd相机组件包括相机底板、相机立板、负压开关、相机连接板、相机夹块、工业相机、真空发生器和相机光源单元，所述相机底板固定于所述机架的上面，所述相机立板固定于所述相机底板的侧面，所述负压开关固定于所述相机立板的侧面，所述相机连接板固定于所述相机立板的前侧面，所述相机夹块固定于所述相机连接板的前侧面，所述工业相机连接所述相机夹块，所述真空发生器设置于所述相机连接板的侧面，所述真空发生器固定于所述相机立板的前侧面，所述相机光源单元固定于所述相机立板的前侧上面。
14.将ccd相机组件安装在机架上面，配合四轴机器人，在机器流水线上代替人眼来做测量和判断，通过数字图像摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。
15.优选地，所述摆盘传送组件包括传送支架、从动轮组件、第一传动同步带、驱动轮组件、第二传动同步带和传动电机组件，所述传送支架固定于所述机架的上面，所述从动轮组件连接所述传送支架的右侧，所述第一传动同步带的右侧连接所述从动轮组件，所述第一传动同步带的左侧连接所述驱动轮组件，所述驱动轮组件连接所述传送支架的左侧，所述传动电机组件固定于所述传送支架的下面，所述第二传动同步带的上面连接所述驱动轮组件，所述第二传动同步带的下面连接所述传动电机组件。
16.摆盘传送组件以传送支架为载体，将从动轮组件、第一传动同步带、驱动轮组件、第二传动同步带和传动电机组件设置在传送支架上，传动电机组件将动力通过第二传动同步带传递给驱动轮组件，驱动轮组件带动第一传动同步带和从动轮组件运动，以此实现摆
盘在摆盘传送组件上传送。
17.优选地，所述摆盘分离组件包括分离薄型气缸、分离气缸托板、分离底板、摆盘舌头单元、分离挡板支架和分离后挡板，所述分离薄型气缸固定于所述摆盘传送组件的下面，所述分离气缸托板设置于所述分离薄型气缸的上面，所述分离气缸托板的上面设置所述分离底板，所述分离底板固定于所述传送支架的上面两侧，所述传送支架的两侧各设置两个所述摆盘舌头单元，所述摆盘舌头单元固定于所述分离底板的上面，两个所述分离底板的两边分别固定所述分离挡板支架，两个所述分离底板的后端设置所述分离后挡板，所述分离后挡板连接后边两个所述分离挡板支架。
18.将空的摆盘放置在摆盘分离组件上，由分离薄型气缸向上运动，顶起分离气缸托板，分离底板上的摆盘舌头单元随着摆盘向上运动，当摆盘舌头单元越过最底部的空摆盘时，分离薄型气缸带动分离气缸托板向下回落，摆盘舌头单元随着下落卡住倒数第二个空的摆盘，最底部的空摆盘被放置在分离气缸托板上，并通过摆盘传送组件传入顶摆盘定位组件；摆盘分离组件如上述反复动作，实现逐一智能取空摆盘操作。
19.优选地，所述顶摆盘定位组件包括顶摆盘定位底板、摆盘定位单元、顶气缸连接板、顶摆盘双杆气缸、顶摆盘导轴、顶摆盘轴套、顶摆盘支撑架、顶摆盘托板和顶盘缓冲器，所述顶摆盘定位底板固定于所述机架的上面，所述摆盘定位单元固定于所述顶摆盘定位底板的右侧，所述顶气缸连接板固定于所述顶摆盘定位底板的上面，所述顶摆盘双杆气缸连接所述顶气缸连接板，所述顶摆盘定位底板的上面四角分别设置一个所述顶摆盘导轴，所述顶摆盘轴套穿过所述顶摆盘导轴，所述顶摆盘轴套穿过并连接所述顶摆盘支撑架，所述顶摆盘导轴的顶部连接所述顶摆盘托板，所述顶摆盘托板的四周设置多个所述顶盘缓冲器。
20.当空摆盘通过摆盘传送组件传送至顶摆盘定位组件时，顶摆盘双杆气缸顶起顶摆盘托板，将空的摆盘顶起，使其离开第一传动同步带，固定住空的摆盘，使其四轴机器人进行摆放作业，顶摆盘导轴、顶摆盘轴套和顶摆盘支撑架相互配合，便于顶摆盘定位组件的自由升降，当摆放操作完成后，顶摆盘双杆气缸带动顶摆盘托板回落，将摆盘重新放回摆盘传送组件，由第一传动同步带继续传送，为了保护回落过程中的顶摆盘定位组件，在顶摆盘托板的下面设置顶盘缓冲器。
21.以摆盘定位底板作为支撑，当空摆盘通过摆盘传送组件传送至顶摆盘定位组件时，摆盘定位单元的气缸升起挡块，对后面传送过来的空摆盘进行阻挡，以免影响正在进行的摆放操作。
22.优选地，所述摆盘堆叠组件包括摆盘堆叠侧板、摆盘堆叠底板、摆盘堆叠轴套、摆盘堆叠导轴、摆盘堆叠双轴气缸、摆盘堆叠托板、堆叠托板缓冲器、抬摆盘组件和摆盘堆叠支架，所述摆盘堆叠侧板固定于所述传送支架的两侧，两侧所述摆盘堆叠侧板的底板连接所述摆盘堆叠底板，所述摆盘堆叠底板的上面设置四个所述摆盘堆叠轴套、所述摆盘堆叠导轴穿过所述摆盘堆叠轴套，所述摆盘堆叠双轴气缸固定于所述摆盘堆叠底板的上面，所述摆盘堆叠托板连接所述摆盘堆叠导轴的顶部，所述摆盘堆叠托板的四角分别设置一个所述堆叠托板缓冲器，所述摆盘堆叠托板的两侧分别设置一个所述抬摆盘组件，所述抬摆盘组件连接所述摆盘堆叠侧板，所述摆盘堆叠支架设置于所述抬摆盘组件的两侧，所述摆盘堆叠支架固定于所述传送支架的上面。
23.以摆盘堆叠侧板和摆盘堆叠底板为支撑体，以摆盘堆叠轴套和摆盘堆叠导轴为配合进行滑动，摆盘堆叠双轴气缸顶起摆盘堆叠托板，将落入摆盘堆叠托板的摆盘顶起，并由抬摆盘组件抬起摆盘，摆盘堆叠双轴气缸带动摆盘堆叠托板回落，等待下一个已经进行芯片摆放操作的摆盘传送过来。
24.当下一个摆盘传送过来时，摆盘堆叠双轴气缸顶起摆盘堆叠托板，将落入摆盘堆叠托板的摆盘顶起，当顶起高度抵住抬摆盘组件时，抬摆盘组件向两侧收起，由摆盘堆叠托板托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸继续顶起摆盘堆叠托板，抬摆盘组件再次托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸带动摆盘堆叠托板回落，等待下一个摆盘传送过来；摆盘堆叠组件重复上述动作，实现摆盘智能堆叠操作。
25.优选地，在摆盘堆叠组件的两侧各设置一个抬摆盘组件，所述抬摆盘组件包括抬摆盘支架、抬摆盘支撑板、抬摆盘滑动单元、抬摆盘前后气缸、抬摆盘插板、抬摆盘气缸连接板和抬摆盘双杆气缸，所述抬摆盘支架固定于所述摆盘堆叠侧板的两侧，所述抬摆盘支撑板固定于所述抬摆盘支架的上面，所述抬摆盘滑动单元固定于所述抬摆盘支撑板的两侧，所述抬摆盘前后气缸固定于所述抬摆盘支撑板的中间后侧，所述抬摆盘插板设置于所述抬摆盘滑动单元的上部，所述抬抬摆盘插板的底板连接所述抬摆盘滑动单元的上部，所述抬摆盘插板的中间后部连接所述抬摆盘前后气缸的前面，所述抬摆盘气缸连接板固定于所述抬摆盘插板的上面，所述抬摆盘双杆气缸固定于所述抬摆盘气缸连接板的前面，所述抬摆盘双杆气缸的底部连接所述抬摆盘插板。
26.抬摆盘组件以抬摆盘支架、抬摆盘支撑板为支撑，抬摆盘前后气缸配合抬摆盘滑动单元，对抬摆盘插板进行前后移动操作，来控制抬摆盘插板的托起和收回动作，抬摆盘气缸连接板配合抬摆盘双杆气缸对抬摆盘插板进行支撑。使摆盘堆叠操作更高效。
27.相对于现有技术的有益效果是，本发明通过载具上料机械臂组件和芯片载具机构实现智能上料，芯片载具拍照组件和ccd相机组件配合四轴机器人实现智能摆放操作，智能摆放机构实现智能取空摆盘、空摆盘固定定位和已经放置芯片的摆盘智能堆叠操作，智能化程度高，摆放效率高，适合流水线和大规模生产加工，具有良好的市场应用价值。
附图说明
28.图1为本发明的一种集成芯片智能移载摆放设备整体结构示意图；图2为本发明的载具上料机械臂组件结构示意图；图3为本发明的芯片载具机构结构示意图；图4为本发明的芯片载具拍照组件结构示意图；图5为本发明的ccd相机组件结构示意图；图6为本发明的智能摆放机构结构示意图；图7为本发明的摆盘传送组件结构示意图；图8为本发明的摆盘分离组件结构示意图；图9为本发明的顶摆盘定位组件结构示意图；图10为本发明的摆盘堆叠组件结构示意图；图11为本发明的抬摆盘组件结构示意图；附图标记：1机架；2、载具上料机械臂组件；21、上料机械臂底架；22、上料机械臂支
架；23、无杆气缸滑动单元；24、载具移动单元；3、芯片载具机构；31、芯片载具传送组件；32、载具托起组件；33、载具阻挡气缸组件；34、载具定位组件；35、气缸上摆盘组件；36、载具堆叠组件；4、芯片载具拍照组件；41、载具拍照支架；42、拍照无杆气缸；43、拍照滑动单元；44、ccd相机单元；5、四轴机器人；6、ccd相机组件；61、相机底板；62、相机立板；63、负压开关；64、相机连接板；65、相机夹块；66、工业相机；67、真空发生器；68、相机光源单元；7、智能摆放机构；71、摆盘传送组件；711、传送支架；712、从动轮组件；713、第一传动同步带；714、驱动轮组件；715、第二传动同步带；716、传动电机组件；72、摆盘分离组件；721、分离薄型气缸；722、分离气缸托板；723、分离底板；724、摆盘舌头单元；725、分离挡板支架；726、分离后挡板；73、顶摆盘定位组件；731、顶摆盘定位底板；732、摆盘定位单元；733、顶气缸连接板；734、顶摆盘双杆气缸；735、顶摆盘导轴；736、顶摆盘轴套；737、顶摆盘支撑架；738、顶摆盘托板；739、顶盘缓冲器；74、摆盘堆叠组件；741、摆盘堆叠侧板；742、摆盘堆叠底板；743、摆盘堆叠轴套；744、摆盘堆叠导轴；745、摆盘堆叠双轴气缸；746、摆盘堆叠托板；747、堆叠托板缓冲器；748、抬摆盘组件；7481、抬摆盘支架；7482、抬摆盘支撑板；7483、抬摆盘滑动单元；7484、抬摆盘前后气缸；7485、抬摆盘插板；7486、抬摆盘气缸连接板；7487、抬摆盘双杆气缸；749、摆盘堆叠支架。
具体实施方式
29.需要说明的是，上述各技术特征继续相互组合，形成未在上面列举的各种实施例，均视为本发明说明书记载的范围；并且，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
30.为了便于理解本发明，下面结合附图和具体实施例，对本发明进行更详细的说明。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本说明书所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
31.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
32.除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本发明。
33.下面结合附图对本发明作详细说明。
34.实施例1：如图1和图6所示，一种集成芯片智能移载摆放设备，包括机架1和载具上料机械臂组件2，所述载具上料机械臂组件2设置于所述机架1的前端右侧，方便夹取芯片载具，所述机架1的上面依次设置有芯片载具机构3、芯片载具拍照组件4、四轴机器人5、ccd相机组件6和智能摆放机构7，所述芯片载具机构3固定于所述机架1的右侧，所述芯片载具拍照组件4固定于所述芯片载具机构3的右侧，所述四轴机器人5固定于所述芯片载具机构3的左侧，所述ccd相机组件6固定于所述四轴机器人5的后面，所述智能摆放机构7固定于所述四轴机器人5的左侧，所述智能摆放机构7包括摆盘传送组件71、摆盘分离组件72、顶摆盘定
位组件73和摆盘堆叠组件74。
35.进一步地，由载具上料机械臂组件2智能将芯片载具移至芯片载具机构3，通过芯片载具拍照组件4和ccd相机组件6配合四轴机器人5，从芯片载具机构3上夹取内存芯片，并有序摆放至智能摆放机构7上的摆盘中，来实现电脑内存芯片的智能上料和摆放操作。
36.实施例2：如图2所示，为了实现芯片载具的智能上料，在机架1的右前方设置载具上料机械臂组件2，所述载具上料机械臂组件2包括上料机械臂底架21、上料机械臂支架22、无杆气缸滑动单元23和载具移动单元24，所述上料机械臂支架22固定于所述上料机械臂底架21的上面，所述无杆气缸滑动单元23固定于所述上料机械臂支架22的前面上部，所述载具移动单元24固定于所述无杆气缸滑动单元23的前面。
37.进一步地，上料机械臂底架21和上料机械臂支架22作为支撑部件，上料机械臂底架21上可以放置芯片载具，方便无杆气缸滑动单元23带动载具移动单元24左右移动，并由载具移动单元24上下滑动来进行夹取移动芯片载具。
38.实施例3：如图3所示，为了方便上料、芯片定位夹取和芯片载具的堆叠，在机架1上设置芯片载具机构3，所述芯片载具机构3包括芯片载具传送组件31、载具托起组件32、载具阻挡气缸组件33、载具定位组件34、气缸上摆盘组件35和载具堆叠组件36，所述芯片载具传送组件31固定于所述机架1的上面，所述载具托起组件32设置于所述芯片载具传送组件31的右侧，所述载具托起组件32固定于所述机架1的上面，所述载具阻挡气缸33设置于所述载具托起组件32的左侧，所述载具阻挡气缸33固定于所述芯片载具传送组件31，所述载具定位组件34固定于所述机架1的上面，所述载具定位组件34设置于所述载具阻挡气缸33的左侧，所述气缸上摆盘组件35固定于所述芯片载具传送组件31的左侧底部，所述载具堆叠组件36设置于所述气缸上摆盘组件35的上部，所述载具堆叠组件36固定于所述芯片载具传送组件31的左边两侧。
39.进一步地，芯片载具传送组件31是通过电机带动同步皮带传动，将芯片载具依次从载具托起组件32，传送至载具定位组件34，再由四轴机器人5进行芯片夹取，在进行芯片夹取作业时，载具阻挡气缸组件33对芯片载具传送组件31传送过来的芯片载具进行阻挡，等前面芯片夹取作业完成，再由载具阻挡气缸组件33解除阻挡，进行下个芯片夹取作业，已经完成芯片夹取的芯片载具再由芯片载具传送组件31传送至气缸上摆盘组件35和载具堆叠组件36，先有载具堆叠组件36升起，当完成芯片夹取的芯片载具传送至气缸上摆盘组件35时，由气缸上摆盘组件35进行顶起操作，当顶起的芯片载具接触载具堆叠组件36时，载具堆叠组件36向两边移开后收拢并拖住芯片载具，气缸上摆盘组件35下降后位置还原，完成芯片载具的堆叠操作，芯片载具机构3从入料芯片载具开始，到对已经完成芯片夹取的芯片载具进行堆叠操作，实现智能化操作。
40.实施例4：如图4所示，为了替代人工干预，实现智能化操作，需要在机架1上设置芯片载具拍照组件4，所述芯片载具拍照组件4包括载具拍照支架41、拍照无杆气缸42、拍照滑动单元43和ccd相机单元44，所述载具拍照支架41固定于所述机架1的上面右侧，所述拍照无杆气缸42固定于所述载具拍照支架41的前面上部，所述拍照滑动单元43设置于所述拍照无杆气缸42的下面，所述拍照滑动单元43固定于所述载具拍照支架41的前面上部，所述ccd相机单元44固定于所述拍照无杆气缸42和所述拍照滑动单元43的前面。
41.进一步地，位于拍照支架41上的拍照无杆气缸42和拍照滑动单元43配合，左右移
动ccd相机单元44，ccd相机单元44对载具定位组件34上的芯片进行拍照，并将图像传输至图像处理系统，以便四轴机器人5更好的准确抓取芯片；实施例5：如图5所示，为了配合四轴机器人5实现智能化操作，在机架上设置ccd相机组件6，所述ccd相机组件6包括相机底板61、相机立板62、负压开关63、相机连接板64、相机夹块65、工业相机66、真空发生器67和相机光源单元68，所述相机底板61固定于所述机架1的上面，所述相机立板62固定于所述相机底板61的侧面，所述负压开关63固定于所述相机立板62的侧面，所述相机连接板64固定于所述相机立板62的前侧面，所述相机夹块65固定于所述相机连接板64的前侧面，所述工业相机66连接所述相机夹块65，所述真空发生器67设置于所述相机连接板64的侧面，所述真空发生器67固定于所述相机立板62的前侧面，所述相机光源单元68固定于所述相机立板62的前侧上面。
42.进一步地，将ccd相机组件6安装在机架1上面，配合四轴机器人5，在机器流水线上代替人眼来做测量和判断，通过数字图像摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。
43.实施例6：如图7所示，为了使摆放传送智能化，在智能摆放机构1上设置摆盘传送组件71，所述摆盘传送组件71包括传送支架711、从动轮组件712、第一传动同步带713、驱动轮组件714、第二传动同步带715和传动电机组件716，所述传送支架711固定于所述机架1的上面，所述从动轮组件712连接所述传送支架711的右侧，所述第一传动同步带713的右侧连接所述从动轮组件712，所述第一传动同步带713的左侧连接所述驱动轮组件714，所述驱动轮组件714连接所述传送支架711的左侧，所述传动电机组件716固定于所述传送支架711的下面，所述第二传动同步带715的上面连接所述驱动轮组件714，所述第二传动同步带715的下面连接所述传动电机组件716。
44.进一步地，摆盘传送组件71以传送支架711为载体，将从动轮组件712、第一传动同步带713、驱动轮组件714、第二传动同步带715和传动电机组件716设置在传送支架711上，传动电机组件716将动力通过第二传动同步带715传递给驱动轮组件714，驱动轮组件714带动第一传动同步带713和从动轮组件712运动，以此实现摆盘在摆盘传送组件71上传送。
45.实施例7：如图8所示，为了使分离摆盘智能化，在智能摆放机构1上设置摆盘分离组件72，所述摆盘分离组件72包括分离薄型气缸721、分离气缸托板722、分离底板723、摆盘舌头单元724、分离挡板支架725和分离后挡板726，所述分离薄型气缸721固定于所述摆盘传送组件71的下面，所述分离气缸托板722设置于所述分离薄型气缸721的上面，所述分离气缸托板722的上面设置所述分离底板723，所述分离底板723固定于所述传送支架711的上面两侧，所述传送支架711的两侧各设置两个所述摆盘舌头单元724，所述摆盘舌头单元724固定于所述分离底板723的上面，两个所述分离底板723的两边分别固定所述分离挡板支架725，两个所述分离底板723的后端设置所述分离后挡板726，所述分离后挡板726连接后边两个所述分离挡板支架725。
46.进一步地，将空的摆盘放置在摆盘分离组件72上，由分离薄型气缸721向上运动，顶起分离气缸托板722，分离底板723上的摆盘舌头单元724随着摆盘向上运动，当摆盘舌头单元724越过最底部的空摆盘时，分离薄型气缸721带动分离气缸托板722向下回落，摆盘舌头单元724随着下落卡住倒数第二个空的摆盘，最底部的空摆盘被放置在分离气缸托板722
上，并通过摆盘传送组件71传入顶摆盘定位组件73；摆盘分离组件72如上述反复动作，实现逐一智能取空摆盘操作。
47.实施例8：如图9所示，为了方便定位摆放，在智能摆放机构1上设置顶摆盘定位组件73，所述顶摆盘定位组件73包括顶摆盘定位底板731、摆盘定位单元732、顶气缸连接板733、顶摆盘双杆气缸734、顶摆盘导轴735、顶摆盘轴套736、顶摆盘支撑架737、顶摆盘托板738和顶盘缓冲器739，所述顶摆盘定位底板731固定于所述机架1的上面，所述摆盘定位单元732固定于所述顶摆盘定位底板731的右侧，所述顶气缸连接板733固定于所述顶摆盘定位底板731的上面，所述顶摆盘双杆气缸734连接所述顶气缸连接板733，所述顶摆盘定位底板731的上面四角分别设置一个所述顶摆盘导轴735，所述顶摆盘轴套736穿过所述顶摆盘导轴735，所述顶摆盘轴套736穿过并连接所述顶摆盘支撑架7337，所述顶摆盘导轴735的顶部连接所述顶摆盘托板738，所述顶摆盘托板738的四周设置多个所述顶盘缓冲器739。
48.进一步地，当空摆盘通过摆盘传送组件71传送至顶摆盘定位组件73时，顶摆盘双杆气缸734顶起顶摆盘托板738，将空的摆盘顶起，使其离开第一传动同步带713，固定住空的摆盘，使其四轴机器人5进行摆放作业，顶摆盘导轴735、顶摆盘轴套736和顶摆盘支撑架737相互配合，便于顶摆盘定位组件73的自由升降，当摆放操作完成后，顶摆盘双杆气缸734带动顶摆盘托板738回落，将摆盘重新放回摆盘传送组件71，由第一传动同步带713继续传送，为了保护回落过程中的顶摆盘定位组件73，在顶摆盘托板的下面设置顶盘缓冲器739。
49.进一步地，以摆盘定位底板731作为支撑，当空摆盘通过摆盘传送组件71传送至顶摆盘定位组件73时，摆盘定位单元732的气缸升起挡块，对后面传送过来的空摆盘进行阻挡，以免影响正在进行的摆放操作。
50.实施例9：如图10所示，为了方便已经进行芯片摆放后的摆盘进行智能堆叠，在智能摆放机构1上设置摆盘堆叠组件74，所述摆盘堆叠组件74包括摆盘堆叠侧板741、摆盘堆叠底板742、摆盘堆叠轴套743、摆盘堆叠导轴744、摆盘堆叠双轴气缸745、摆盘堆叠托板746、堆叠托板缓冲器747、抬摆盘组件748和摆盘堆叠支架749，所述摆盘堆叠侧板741固定于所述传送支架711的两侧，两侧所述摆盘堆叠侧板741的底板连接所述摆盘堆叠底板742，所述摆盘堆叠底板742的上面设置四个所述摆盘堆叠轴套743，所述摆盘堆叠导轴744穿过所述摆盘堆叠轴套743，所述摆盘堆叠双轴气缸745固定于所述摆盘堆叠底板742的上面，所述摆盘堆叠托板746连接所述摆盘堆叠导轴744的顶部，所述摆盘堆叠托板746的四角分别设置一个所述堆叠托板缓冲器747，所述摆盘堆叠托板746的两侧分别设置一个所述抬摆盘组件748，所述抬摆盘组件748连接所述摆盘堆叠侧板741，所述摆盘堆叠支架749设置于所述抬摆盘组件748的两侧，所述摆盘堆叠支架749固定于所述传送支架711的上面。
51.进一步地，以摆盘堆叠侧板741和摆盘堆叠底板742为支撑体，以摆盘堆叠轴套743和摆盘堆叠导轴744为配合进行滑动，摆盘堆叠双轴气缸745顶起摆盘堆叠托板746，将落入摆盘堆叠托板746的摆盘顶起，并由抬摆盘组件748抬起摆盘，摆盘堆叠双轴气缸745带动摆盘堆叠托板746回落，等待下一个已经进行芯片摆放操作的摆盘传送过来。
52.进一步地，当下一个摆盘传送过来时，摆盘堆叠双轴气缸745顶起摆盘堆叠托板746，将落入摆盘堆叠托板746的摆盘顶起，当顶起高度抵住抬摆盘组件748时，抬摆盘组件748向两侧收起，由摆盘堆叠托板746托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸745继续顶起摆盘堆叠托板746，抬摆盘组件748再次托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸745带动摆盘堆叠托板
746回落，等待下一个摆盘传送过来；摆盘堆叠组件74重复上述动作，实现摆盘智能堆叠操作。
53.更进一步地，如图11所示，在摆盘堆叠组件74的两侧各设置一个抬摆盘组件748，所述抬摆盘组件748包括抬摆盘支架7481、抬摆盘支撑板7482、抬摆盘滑动单元7483、抬摆盘前后气缸7484、抬摆盘插板7485、抬摆盘气缸连接板7486和抬摆盘双杆气缸7487，所述抬摆盘支架7481固定于所述摆盘堆叠侧板741的两侧，所述抬摆盘支撑板7482固定于所述抬摆盘支架7481的上面，所述抬摆盘滑动单元7483固定于所述抬摆盘支撑板7482的两侧，所述抬摆盘前后气缸7484固定于所述抬摆盘支撑板7482的中间后侧，所述抬摆盘插板7485设置于所述抬摆盘滑动单元7483的上部，所述抬抬摆盘插板7485的底板连接所述抬摆盘滑动单元7483的上部，所述抬摆盘插板7485的中间后部连接所述抬摆盘前后气缸7484的前面，所述抬摆盘气缸连接板7486固定于所述抬摆盘插板7485的上面，所述抬摆盘双杆气缸7487固定于所述抬摆盘气缸连接板7486的前面，所述抬摆盘双杆气缸7487的底部连接所述抬摆盘插板7485。
54.进一步地，抬摆盘组件748以抬摆盘支架7481、抬摆盘支撑板7482为支撑，抬摆盘前后气缸7484配合抬摆盘滑动单元7483，对抬摆盘插板7485进行前后移动操作，来控制抬摆盘插板7485的托起和收回动作，抬摆盘气缸连接板7486配合抬摆盘双杆气缸7487对抬摆盘插板7485进行支撑。使摆盘堆叠操作更高效。
55.实施例10：如图1所示，不同于上述实施例，为了提升摆放效率，在机架的左侧设置第二个四轴机械臂，固定于ccd相机组件的左侧，实现摆放的双工位操作，由芯片载具拍照组件4和ccd相机组件配合第二个四轴机械臂，将位于芯片载具机构上的芯片进行夹取，放置在智能摆放机构的空摆盘上，进行有序摆放。
56.进一步地，四轴机械臂和第二个四轴机械臂同时作业，当芯片载具拍照组件和ccd相机组件工作压力过大时，可以在机架的左侧设置第二个ccd相机组件，固定于智能摆放机构的左侧，使其为四轴机械臂提供更加精准的夹取配合。
57.本发明的工作原理：无杆气缸滑动单元23配合载具移动单元24，将芯片载具移至芯片载具机构3，由载具托起组件32托住芯片载具，由芯片载具传送组件31对芯片载具进行传送，芯片载具到达载具定位组件34后，载具阻挡气缸组件33的挡块升起，由芯片载具拍照组件4和ccd相机组件6配合四轴机器人5进行夹取作业，夹取作业完成后，空的芯片载具由载具堆叠组件36进行堆叠，四轴机器人5将夹取的芯片有序放置在智能摆放机构7的顶摆盘定位组件73上的空摆盘中，空摆盘由摆盘分离组件72的分离薄型气缸721和摆盘舌头单元724配合分出，再由摆盘传送组件71将空摆盘传送至顶摆盘定位组件72上，由四轴机器人5进行芯片的有序放置，当摆放操作完成后，由摆盘传送组件71继续传送至摆盘堆叠组件74，摆盘堆叠双轴气缸745顶起摆盘堆叠托板746，将落入摆盘堆叠托板746的摆盘顶起，当顶起高度抵住抬摆盘组件748时，抬摆盘组件748向两侧收起，由摆盘堆叠托板746托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸745继续顶起摆盘堆叠托板746，抬摆盘组件748再次托住所有摆盘，摆盘堆叠双轴气缸745带动摆盘堆叠托板746回落，等待下一个摆盘传送过来；摆盘堆叠组件74重复上述动作，实现摆盘智能堆叠操作，设备智能完成从智能入料到智能摆放和智能堆叠操作。
58.需要说明的是，上述各技术特征继续相互组合，形成未在上面列举的各种实施例，
均视为本发明说明书记载的范围；并且，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。