一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材运输技术领域，具体为一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置。


背景技术：

2.靶材是磁控溅射工艺制备功能薄膜过程中的基本耗材，靶材质量对薄膜的性能起着至关重要的作用，硅靶材是一种单质的溅射靶源，主要用于磁控溅射制备硅以及二氧，硅靶产品分为单晶硅靶和多晶硅靶，较单晶硅靶而言，多晶硅靶便于激发、成本较低且产量大，进一步提高多晶硅靶材的质量是现阶段的主要目标。
3.现有的多晶硅靶材的运输装置大多的高度都不能够进行调节，导致运输高度受限，大大降低了实用性，故而提出一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置，具备高度调节的优点，解决了现有的多晶硅靶材的运输装置大多的高度都不能够进行调节，导致运输高度受限，大大降低了实用性的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置，包括运输机本体，所述运输机本体的内部包括有两个升降组件，两个所述升降组件分别位于运输机本体的前后两侧，所述运输机本体的底部设置有稳定结构；
6.两个所述升降组件的内部均包括有升降板，两个所述升降板的底部均固定安装有底板，两个所述底板的顶部均固定安装有电机，两个所述电机的输出轴均通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至升降板内部的动力杆，两个所述动力杆的外表面均固定安装有安装齿，两个所述升降板的内部均活动安装有一端延伸至其顶部的固定板，两个所述固定板的相对一侧分别与运输机本体的正反两侧固定连接，两个所述固定板的左右两侧均固定安装有限位块，所述限位块的外表面与升降板的内壁活动连接，两个所述底板的顶部均设置有一端延伸至固定板内部的升降杆，两个所述升降杆的外表面均固定安装有调节齿，两个所述调节齿的左侧底部分别与两个安装齿的右侧顶部相啮合。
7.进一步，所述稳定结构的内部包括有两个台板，两个所述台板之间设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部与顶部台板的底部固定安装，底部所述台板的顶部固定安装有衔接柱，所述衔接柱的顶部延伸至支撑柱的内部，所述衔接柱的顶部与支撑柱的内顶壁之间固定安装有伸缩杆，所述衔接柱的外表面活动安装有弹簧，所述弹簧的顶部与支撑柱的底部固定连接，所述弹簧的底部与底部台板的顶部固定连接。
8.进一步，所述支撑柱的数量为两个，两个所述支撑柱之间固定连接有固定板。
9.进一步，两个所述升降板的顶部均缺失，两个所述升降板的左侧均开设有安装孔，两个所述安装孔的直径均与动力杆的直径大小相适配。
10.进一步，两个所述固定板的内部设置有螺纹槽，两个所述升降杆的外表面均开设
有螺纹，两个所述升降杆的外表面分别与两个固定板的内表面为螺纹连接。
11.进一步，两个所述支撑柱的内部均设置有放置槽，两个所述放置槽的直径均与衔接柱的直径大小相适配。
12.进一步，两个所述升降板的内腔左右两侧壁均固定安装有滑轨，所述限位块的外表面与滑轨的内表面相接触。
13.与现有技术相比，本技术的技术方案具备以下有益效果：
14.1、该高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置，通过设置有升降组件，升降组件通过对固定板的升降进行调节，达到将运输机本体的高度进行调整的目的，增加了运输的实用性。
15.2、该高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置，通过设置有稳定结构，稳定结构通过支撑柱，衔接柱，伸缩杆和弹簧之间的配合使用，使得台板具备一定缓冲功能，使得运输机本体操作更加平稳。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型结构图1中的a处放大图；
18.图3为本实用新型结构正视图。
19.图中：1运输机本体、2升降组件、201升降板、202固定板、203电机、204动力杆、205底板、206安装齿、207升降杆、208调节齿、209限位块、3稳定结构、301台板、302支撑柱、303衔接柱、304伸缩杆、305弹簧。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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2，本实施例中的一种高纯多晶硅靶材冶炼用输送装置，包括运输机本体1，运输机本体1的内部包括有两个升降组件2，两个升降组件2分别位于运输机本体1的前后两侧，运输机本体1的底部设置有稳定结构3。
22.两个升降组件2的内部均包括有升降板201，两个升降板201的底部均固定安装有底板205，两个底板205的顶部均固定安装有电机203，两个电机203的输出轴均通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至升降板201内部的动力杆204，两个升降板201的顶部均缺失，两个升降板201的左侧均开设有安装孔，两个安装孔的直径均与动力杆204的直径大小相适配，两个动力杆204的外表面均固定安装有安装齿206，两个升降板201的内部均活动安装有一端延伸至其顶部的固定板202，两个固定板202的相对一侧分别与运输机本体1的正反两侧固定连接，两个固定板202的左右两侧均固定安装有限位块209，两个升降板201的内腔左右两侧壁均固定安装有滑轨，限位块209的外表面与滑轨的内表面相接触，限制固定板202的移动，限位块209的外表面与升降板201的内壁活动连接，两个底板205的顶部均设置有一端延伸至固定板202内部的升降杆207，两个固定板202的内部设置有螺纹槽，两个升降杆207的外表面均开设有螺纹，两个升降杆207的外表面分别与两个固定板202的内表面为螺
纹连接，方便升降杆207的运动，两个升降杆207的外表面均固定安装有调节齿208，两个调节齿208的左侧底部分别与两个安装齿206的右侧顶部相啮合。
23.本实施例中，电机203提供动力，将安装齿206带动进行转动，由此与安装齿206相啮合的调节齿208进行转动，则升降杆207的高度得到变化，即可将运输机本体1的高度进行调整的目的，通过设置有滑轨和限位块209，则对固定板202的转动方向起到限位作用，增加了实用性。
24.稳定结构3的内部包括有两个台板301，两个台板301之间设置有支撑柱302，支撑柱302的数量为两个，两个支撑柱302之间固定连接有固定板，增强了台板301的稳定性，支撑柱302的顶部与顶部台板301的底部固定安装，底部台板301的顶部固定安装有衔接柱303，两个支撑柱302的内部均设置有放置槽，两个放置槽的直径均与衔接柱303的直径大小相适配，衔接柱303的顶部延伸至支撑柱302的内部，衔接柱303的顶部与支撑柱302的内顶壁之间固定安装有伸缩杆304，衔接柱303的外表面活动安装有弹簧305，弹簧305的顶部与支撑柱302的底部固定连接，弹簧305的底部与底部台板301的顶部固定连接。
25.本实施例中，稳定结构3通过支撑柱302，衔接柱303，伸缩杆304和弹簧305之间的配合使用，使得台板301具备一定缓冲功能，使得运输机本体1操作更加平稳。
26.上述实施例的工作原理为：
27.当需要将运输机本体1的高度进行降低时，电机203带动安装齿206逆时针转动，则调节齿208顺时针转动，固定板202下降，由此运输机本体1向下，高度得到降低，方便使用，则弹簧305和伸缩杆304的设置，使得台板301具备缓冲能力，提高了运输机本体1的平稳性。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。