一种掩膜版收纳用多片盒的制作方法

1.本实用新型涉及多片盒技术领域，尤其涉及一种掩膜版收纳用多片盒。


背景技术：

2.掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。透明基板通常由透明玻璃制成，现有的掩膜版收纳盒由于缺少缓冲结构，导致掩膜版在存储、运输、使用等过程中容易因受到较大冲击被磕坏甚至破碎。
3.鉴于上述问题，本设计人基于从事此类产品工程应用多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，设计一种掩膜版收纳用多片盒，对掩膜版进行缓冲保护，降低掩膜版的损坏率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种掩膜版收纳用多片盒，通过在多片盒内设置缓冲结构对掩膜版进行缓冲保护，降低掩膜版的损坏率。
5.为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：
6.包括：外盒体，为一侧开口的壳体结构；
7.内壳体，放置在所述外盒体内；所述内壳体相对的两个内壁上设置有若干个竖直方向的凸块，所述凸块的内部为空腔结构；两个相邻的所述凸块之间形成第一卡槽，用于放置掩膜版；
8.盒盖，可拆卸地安装在所述外盒体上，并且盖住所述外盒体的开口；
9.缓冲卡条，固定设置在所述盒盖上；所述缓冲卡条上设置有若干个向所述外盒体方向延伸的缓冲定位卡头，所述盒盖与所述外盒体安装时，所述缓冲定位卡头抵住掩膜版上端。
10.进一步地，所述内壳体相对的两个外侧面上设置有凹陷的限位槽，且所述限位槽延伸至所述内壳体的底面；所述外盒体相对的两个内壁上设置有竖直方向的限位块；所述内壳体放置在所述外盒体内时，所述限位块在所述限位槽内，且所述限位块侧壁与所述限位槽的侧壁贴合。
11.进一步地，所述外盒体的内壁上设置有若干个竖直方向的加强筋。
12.进一步地，所述凸块竖直方向的外侧面为曲面结构。
13.进一步地，所述外盒体的外侧面上端设置有第一钩槽；所述盒盖的底端设置有向下延伸的第一卡勾；所述盒盖与所述外盒体安装时，所述第一卡勾勾住所述第一钩槽上端侧壁。
14.进一步地，所述盒盖的内部顶面设置有向下延伸的第二卡勾；所述缓冲卡条上设置有竖直方向贯通的第一通孔结构；所述第二卡勾穿过所述第一通孔结构并勾住所述缓冲卡条底端。
15.进一步地，所述盒盖的内部顶面设置有向下延伸的固定块；所述缓冲卡条上设置有竖直方向贯通的第二通孔结构；所述固定块伸入所述第二通孔结构内，且所述固定块外侧面与所述第二通孔结构的内壁贴合。
16.进一步地，所述缓冲定位卡头上设置有第二卡槽，所述盒盖与所述外盒体安装时，掩膜版上端伸入所述第二卡槽中。
17.进一步地，所述缓冲卡条上还设置有若干个向下延伸的卡片，所述盒盖与所述外盒体安装时，所述卡片与掩膜版上端的侧面贴合。
18.通过本实用新型的技术方案，可实现以下技术效果：
19.设计的一种掩膜版收纳用多片盒，通过设置为空腔结构的凸块和延伸的缓冲定位卡头将掩膜版固定在多片盒内，当多片盒在受到冲击时，凸块和缓冲定位卡头可以通过形变将冲击减小，从而对掩膜版进行缓冲保护，降低掩膜版的损坏率。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型实施例中掩膜版收纳用多片盒的结构爆炸图；
22.图2为本实用新型实施例中外盒体的结构示意图；
23.图3为本实用新型实施例中内壳体的横向截面图；
24.图4为本实用新型实施例中外盒体与盒盖安装时的剖视图；
25.图5为本实用新型实施例中图4的a处放大图；
26.图6为本实用新型实施例中盒盖与缓冲卡条安装时的剖视图；
27.图7为本实用新型实施例中缓冲卡条固定掩膜版时的示意图；
28.图8为本实用新型实施例中缓冲卡条的结构示意图；
29.附图标记：外盒体1、限位块11、加强筋12、第一钩槽13、内壳体2、凸块21、第一卡槽22、限位槽23、盒盖3、第一卡勾31、第二卡勾32、固定块33、缓冲卡条4、缓冲定位卡头41、第二卡槽411、卡片42。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.一种掩膜版收纳用多片盒，如图1~8所示，包括：外盒体1，为一侧开口的壳体结构；内壳体2，放置在外盒体1内；内壳体2相对的两个内壁上设置有若干个竖直方向的凸块21，
凸块21的内部为空腔结构；两个相邻的凸块21之间形成第一卡槽22，用于放置掩膜版；盒盖3，可拆卸地安装在外盒体1上，并且盖住外盒体1的开口；缓冲卡条4，固定设置在盒盖3上；缓冲卡条4上设置有若干个向外盒体1方向延伸的缓冲定位卡头41，盒盖3与外盒体1安装时，缓冲定位卡头41抵住掩膜版上端。
33.为了固定内壳体2防止内壳体2产生较大晃动，如图1~3所示，内壳体2相对的两个外侧面上设置有凹陷的限位槽23，且限位槽23延伸至内壳体2的底面；外盒体1相对的两个内壁上设置有竖直方向的限位块11；内壳体2放置在外盒体1内时，限位块11在限位槽23内，且限位块11侧壁与限位槽23的侧壁贴合。
34.由于外盒体1为壳体结构，其侧壁较薄容易变形，为了增加外盒体1的结构强度，如图2所示，外盒体1的内壁上设置有若干个竖直方向的加强筋12。
35.为了减少掩膜版在放进第一卡槽22时与凸块21的侧壁产生的刮蹭，如图3所示，凸块21竖直方向的外侧面为曲面结构。
36.作为实现外盒体1与盒盖3可拆卸连接的一种优选方式，如图4~5所示，外盒体1的外侧面上端设置有第一钩槽13；盒盖3的底端设置有向下延伸的第一卡勾31；盒盖3与外盒体1安装时，第一卡勾31勾住第一钩槽13上端侧壁。此种结构便于盒盖3与外盒体1的安装和拆卸，能大大提高生产和使用时的工作效率。
37.作为实现盒盖3与缓冲卡条4安装的一种优选方式，如图6所示，盒盖3的内部顶面设置有向下延伸的第二卡勾32；缓冲卡条4上设置有竖直方向贯通的第一通孔结构；第二卡勾32穿过第一通孔结构并勾住缓冲卡条4底端。此种结构便于盒盖3与缓冲卡条4的装配，能提高多片盒的生产效率。
38.为了使第二卡勾32能够穿过第一通孔结构，第一通孔结构的尺寸会大于第二卡勾32的勾身厚度，导致缓冲卡条4容易晃动，使缓冲定位卡头41对掩膜版的固定效果变差。为了增加缓冲卡条4的稳定性，如图6所示，盒盖3的内部顶面设置有向下延伸的固定块33；缓冲卡条4上设置有竖直方向贯通的第二通孔结构；固定块33伸入第二通孔结构内，且固定块33外侧面与第二通孔结构的内壁贴合，从而有效限制缓冲卡条4的晃动。
39.为了更进一步地提升缓冲定位卡头41对掩膜版的固定效果，如图8所示，缓冲定位卡头41上设置有第二卡槽411，盒盖3与外盒体1安装时，掩膜版上端伸入第二卡槽411中。缓冲卡条4上还设置有若干个向下延伸的卡片42，盒盖3与外盒体1安装时，卡片42与掩膜版上端的侧面贴合。
40.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。