一种可识别料片位置的取料设备的制作方法

1.本实用新型属于晶圆制造技术领域，尤其涉及一种可识别料片位置的取料设备。


背景技术：

2.随着工业生产的机械化、智能化发展，晶圆制造过程中的取放、搬运业务已实现自动化。一般的晶圆料盒中会堆叠多张晶圆，现有的晶圆取料设备是通过参考两片晶圆的设计间距以调整料盒的升降高度从而进行取料的，取料设备无法准确识别待抓取晶圆料片的具体位置，从而无法实现对料盒空盒、料片错位等问题的准确判断与识别。


技术实现要素：

3.为了解决现有技术的问题，本实用新型实施例提供了一种可识别料片位置的取料设备。所述技术方案如下：
4.本实用新型提供了一种可识别料片位置的取料设备，所述取料设备包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的预设料片位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机构，所述升降机构用于带动所述料盒升降，所述抓取机构用于抓取所述料盒中的料片。
5.在一些实施例中，所述位置检测装置包括光纤传感器，所述光纤传感器通过第一安装架安装在所述连接部上。
6.在一些实施例中，所述位置检测装置包括接近传感器，所述接近传感器通过第二安装架安装在所述连接部上。
7.在一些实施例中，所述抓取机构包括移栽模组及抓取部，所述移栽模组固定安装在所述基座上，所述移栽模组用于驱动所述抓取部移动以抓取所述料盒中的料片。
8.在一些实施例中，所述抓取部包括夹手及驱动气缸，所述驱动气缸驱动所述夹手夹取所述料盒中的料片。
9.在一些实施例中，所述抓取部包括真空吸盘及真空发生器，所述真空发生器控制所述真空吸盘吸取所述料盒中的料片。
10.在一些实施例中，所述升降机构包括升降模组，所述升降模组用于驱动所述料盒升降；所述升降机构还包括位置读取装置，所述位置读取装置用于读取所述预设料片位置处的料片在所述升降模组上的位置信息。
11.在一些实施例中，所述位置读取装置为伺服编码器或光栅尺或磁栅尺。
12.在一些实施例中，所述取料设备还包括规整机构，所述规整机构安装在所述连接部上，所述规整机构包括至少两个规整导轨及调整装置，所述调整装置用于调整所述至少两个规整导轨的位置。
13.在一些实施例中，所述调整装置包括直线导轨及规整驱动组件，所述至少两个规整导轨安装在所述直线导轨的滑块上，所述驱动组件带动所述滑块以驱动所述至少两个规整导轨移动从而调整所述至少两个规整导轨的位置。
14.本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
15.本实用新型公开的可识别料片位置的取料设备，通过安装有探测料片位置的检测装置获取预设料片位置处的料片信息，解决了因料盒加工、组装偏差造成的夹取料片错位的问题，避免了因料盒加工或组装偏差导致的料片空置、错位等问题而造成的错误取料作业。
16.进一步地，该取料设备还设有位置读取装置以记录料盒中各个料片的位置信息，进而保证抓取结构的准确取料。
附图说明
17.在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1-1、1-2示出了本实用新型所述的可识别料片位置的取料设备的整体结构图；
19.图2示出了本实用新型所述的可识别料片位置的取料设备取料时的结构示意图；
20.图3示出了本实用新型所述的可识别料片位置的取料设备的取料方法的示意图。
21.附图标注：
22.基座-1；连接部-2；
23.位置检测装置-3；光纤传感器-31；第一安装架-32；
24.抓取机构-4；移栽模组-41；抓取部-42；
25.升降机构-5；升降模组-51；位置读取装置-52；支撑架-53；
26.规整机构-6；规整导轨-61；调整装置-62；
27.料盒-7；扫码器-8。
具体实施方式
28.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.需要说明的是，本实用新型关于“左”、“右”、“下方”等方向上的描述均是基于附图所示的方位或位置的关系定义的，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所述的装置必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”或“若干”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
30.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“设置”等此类机械术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是电连接，也可以是通信连接；可以是直接相连，可以通过中间
媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.本实用新型提供的可识别料片位置的取料设备，通过安装有探测料片位置的检测装置获取预设料片位置处的料片信息，解决了因料盒加工、组装偏差造成的夹取料片错位的问题，避免了因料盒加工或组装偏差导致的料片空置、错位等问题而造成的错误取料作业。
32.下面结合具体实施例及附图，对本实用新型实施例提供的可识别料片位置的取料设备进行详细说明。
33.实施例1
34.图1-1、1-2示出了本实用新型公开的可识别料片位置的取料设备的整体结构图(其中，图1-1及图1-2分别为不同视角下的可识别料片位置的取料设备的整体结构图)，结合图1-1、1-2所示，下面是对本实施例的详细描述。
35.本实施例中的可识别料片位置的取料设备，包括位置检测装置3，该位置检测装置3通过连接部2固定在基座1上，该位置检测装置3用于获取料盒7的预设料片位置处的料片信息；进一步地，取料设备还包括升降结构5及抓取机构4，其中，升降机构3用于带动料盒7升降，抓取机构4安装在基座1上以抓取料盒7中的料片。
36.图2示出了本实用新型公开的可识别料片位置的取料设备取料时的结构示意图，结合图2。
37.值得注意的是，本实施例中的料片为片状待抓取物，包括晶圆料片、玻璃料片等，本技术对其种类不予限制；料盒为存放多个前述料片的盒装物，本实施例对其形状不予限制。为了具象化及论述方便，以下以晶圆料片及晶圆料盒为例对本实施例进行详细描述。
38.具体地，建立如图2左下所示x-y-z坐标系。理论上，待取料晶圆叠放在晶圆料盒7中(假设晶圆料盒7中存放有n个晶圆料片，从晶圆料盒7底座起依次为第一晶圆料片、第二晶圆料片、
……
、第n晶圆料片)，这n个晶圆料片均平行于晶圆料盒7的基准面(值得注意的是本实施例对晶圆料盒7的基准面不予限定，为方便论述，假设此处的基准面为晶圆料盒底座位置处的水平面，即这n个晶圆料片均平行于图示x-y平面并垂直于z轴)，同时，各个晶圆料片的间距事先设定(假设各个晶圆料片之间事先设置的设计间距均为a，此处的设计间距为各个晶圆料片在z轴方向的间距)。当抓取机构4在第一预设料片位置处 (假设为理论上的第一晶圆料片位置处)完成取料后，升降机构5参考第一晶圆料片与第二晶圆料片之间的设计间距a带动晶圆料盒7沿z轴下降高度a，从而使得抓取机构4得以在第二预设料片位置处(即理论上的第二晶圆料片位置处)处抓取第二晶圆料片。但在实际作业中，晶圆料盒7加工或组装会存在偏差，无法保证这n个晶圆料片均平行于晶圆料盒7的基准面(即图示x-y平面) 且无法确保各个晶圆料片之间的实际间距均为事先设置的设计间距a，故而，为避免因晶圆料盒7中料片空置而因导致的空载作业，或是因晶圆料盒7中料片错位或料片之间的实际间距存在误差(即实际间距不等于设计间距a)，而在抓取机构4抓取时与晶圆碰撞导致料片碎裂。本实施例中，晶圆取料设备上安装有用于获取晶圆料盒的预设料片位置处的晶圆料片信息的位置检测装置3，该位置检测装置3通过连接部2固定在基座1上。当基座1上的抓取机构4在晶圆料盒7的预设料片位置处抓取晶圆料片之前，位置检测装置3获取预设料片位置处的晶圆料片信息，从而避免抓取结构4抓取时出现的料片空位或错位而造成的空载
作业或料片碎裂。
39.更具体地，当位置检测装置3在晶圆料盒7的第一预设料片位置处(即理论上的第一晶圆料片位置处)处探测后所获取的晶圆料片信息提示该位置处存在晶圆料片，位置检测装置3反馈抓取指令以控制抓取机构4抓取第一预设料片位置处的晶圆料片。当位置检测装置3在晶圆料盒7的第一预设料片位置处 (即理论上的第一晶圆料片位置处)探测后所获取的晶圆料片信息未提示该位置处存在晶圆料片，其中，所获取的晶圆料片信息未提示该位置处存在晶圆料片，包括：
40.场景a1：位置检测装置3探测到晶圆料盒7的第一预设料片位置处(即第一晶圆料片位置处)不存在晶圆料片，或，
41.场景a2：位置检测装置3探测到晶圆料盒7的第一预设料片位置处(即第一晶圆料片位置处)存在晶圆料片但料片错位，
42.此时，位置检测装置3反馈报错指令以提示晶圆料盒的第一待取料位置处 (即理论上的第一晶圆料片位置处)不存在晶圆料片或存在错位的晶圆料片；进一步地，报错指令还用于指示晶圆料盒7移动至第二预设取料位置以使得位置检测装置3获取晶圆料盒7的第二预设料片位置处的料片信息，也即指示晶圆料盒7下降高度a以供位置检测装置3获取第二预设料片位置处(即理论上的第二晶圆料片位置处)的晶圆料片信息。
43.优选地，位置检测装置3包括光纤传感器31，光纤传感器31通过第一安装架32安装在连接部2上。
44.具体地，位置检测装置3包括光纤传感器31及背景光源发射部。其中，光线传感器31是一种将被测对象的状态转变为可测的光信号的传感器，在本实施例中，光纤传感器31通过光纤将背景光源发射部发射的光信号送入调制器进而形成被调制的使能信号。更具体地，光纤传感器31及背景光源发射部均安装在连接部2上，光纤传感器31通过u型第一安装架32固定在连接部2从而使得其接近晶圆料盒7以便探测以获取晶圆料片信息。
45.进一步地，位置检测装置3包括两个光纤传感器31，这两个光纤传感器31 形成晶圆料盒7的基准面平行的直线(即这两个光纤传感器31形成的直线与图示x-y平面平行且与z轴垂直)。
46.具体地，由于两个光纤传感器31形成的直线与待取料晶圆平行，故而，当位置检测装置3所获取的晶圆料片信息提示第一预设料片位置处存在晶圆料片，即两个光纤传感器31均探测到晶圆料盒7的第一预设料片位置处存在晶圆料片，这两个光纤传感器31均触发使能信号以驱动抓取机构4抓取该位置处的晶圆料片。当位置检测装置3所获取的晶圆料片信息未提示第一预设料片位置处存在晶圆料片，即包括：
47.场景b1：有且仅有一个光纤传感器31检测到晶圆料盒7的第一预设料片位置处存在晶圆料片，或，
48.场景b2：当两个光纤传感器31均未检测到晶圆料盒7的第一预设料片位置处存在晶圆料片，
49.对于上述场景b1，仅有检测到第一晶圆料片的光纤传感器31触发使能信号以提示第一预设料片位置处的晶圆料片错位，并指示升降机构5下降高度a再探测以获取第二预设料片位置处(即理论上的第二晶圆料片位置处)的晶圆料片信息；对于上述场景b2，两个光纤传感器31均未触发使能信号并提示第一预设料片位置处的晶圆料片空位，进而指示升降
机构下降高度a再探测以获取第二预设料片位置处(即理论上的第二晶圆料片位置处)的晶圆料片信息。
50.优选地，位置检测装置3包括接近传感器，接近传感器通过第二安装架安装在连接部上。
51.具体地，位置检测装置3包括接近传感器，接近传感器是一种具有感知物体接近能力的器件，它通过对接近的物体具有的敏感特性来识别物体的接近并输出相应开关信号，其无需接触被检测对象便可检测对象的移动及存在的信息并将之转化成电信号。更具体地，该接近传感器通过第二安装架安装在连接部2 上。
52.优选地，抓取机构4包括移栽模组41及抓取部42，其中，移栽模组41固定安装在基座1上，移栽模组41用于驱动抓取部42移动以抓取晶圆料片。
53.具体地，在取料设备取料时，通过位置检测装置3获取晶圆料盒7的待取料位置处的晶圆料片信息后，若检测到晶圆料盒7的预设料片位置处存在晶圆料片，则反馈抓取指令以控制抓取机构4的移栽模组41驱动抓取部42移动至预设料片位置处抓取晶圆料片。更具体地，移栽模组41固定安装在基座1上，包括移动伺服电机及丝杆移动模组，此处的丝杆移动模组包括滚珠丝杆、直线导轨、铝合金型材、联轴器、光电开关组件等，以将移动伺服电机的旋转运动通过丝杆移动模组转化为高精度高负载的直线运动，从而通过移动伺服电机驱动抓取部42沿x轴方向移动至预设料片位置处抓取晶圆料片。
54.优选地，抓取部42包括夹手及驱动气缸，驱动气缸驱动夹手夹取晶圆料片。具体地，抓取部42移动至预设料片位置处后，驱动气缸驱动夹手夹取该位置处的晶圆料片；进一步地，夹手上设有导向结构从而保证夹手准确稳固地夹取晶圆料片，防止夹取过程中晶圆料片的破碎。
55.优选地，抓取部42包括真空吸盘及真空发生器，真空发生器控制吸盘吸取晶圆料片。具体地，待抓取部移动至预设料片位置处，真空发生器工作以控制真空吸盘吸附晶圆料片。
56.优选地，升降机构5包括升降模组51，升降模组5用于驱动晶圆料盒7升降；升降机构5还包括位置读取装置52，位置读取装置52用于读取预设料片位置处的料片在升降模组5上的位置信息。
57.优先地，升降机构5还包括支撑架53，晶圆料盒7固定在该支撑架53上。
58.优选地，位置读取装置52为伺服编码器或光栅尺或磁栅尺。
59.具体地，升降机构5包括用于驱动固定安装在支撑架53上的晶圆料盒7升降的升降模组51，该升降模组51包括升降驱动组件及及丝杆升降模组，此处的丝杆升降模组包括滚珠丝杆、直线导轨、铝合金型材、联轴器、光电开关组件等，以将升降驱动组件的旋转运动通过丝杆升降模组转化为高精度高负载的直线运动，从而通过升降驱动组件带动支撑部53及其上的晶圆料盒7沿z轴方向升降。进一步地，升降机构5还包括用于读取晶圆料盒7位置信息的位置读取装置52，当位置检测装置3探测到晶圆料盒7的预设料片位置处存在晶圆料片，则反馈抓取指令以指示位置读取装置52预设料片位置处的晶圆料片在丝杆升降模组上的位置信息。更具体地，位置读取装置52相当于升降机构的丝杆升降模组上的刻度尺，通过位置读取装置52可精确记录预设料片位置处的晶圆料片在丝杆模组上的位置信息，从而在抓取机构进行抓取作业前，精准调节抓取机构4 位置以确保其能够准确进行取料作业。
60.优选地，取料设备还包括规整机构6，该规整机构6安装在连接部2上，规整机构6包括至少两个规整导轨61及调整装置62，调整装置62用于调整前述至少两个规整导轨61的位置。
61.具体地，升降机构5可控制晶圆料盒7沿z轴方向的位置，抓取机构4的抓取部42可在x轴方向移动以抓取晶圆料片，为保证取料作业在y轴方向的稳定，本实施例提供的取料设备还包括安装在连接部2上的规整机构6。该规整机构6包括至少两个规整导轨61及调整装置62，抓取部42抓取到晶圆料片后沿 x轴方向将料片从晶圆料盒7中取出，晶圆料片卡接在两个规整导轨61上的凹槽内从而在y轴方向固定料片。进一步地，规整机构6的调整装置62用于调整前述至少两个规整导轨61的位置从而使其可兼容多规格、多尺寸晶圆料片的规整导向作业。
62.优选地，调整装置62包括直线导轨及驱动组件，前述至少两个规整导轨61 安装在直线导轨滑块上，驱动组件带动滑块以驱动前述至少两个规整导轨61移动从而调整前述至少两个规整导轨61的位置。
63.具体地，调整装置62包括直线导轨，前述至少两个规整导轨61安装在直线导轨的不同滑块上并均与该直线导轨垂直。调整装置62还包括驱动组件，驱动组件驱动直线导轨上的滑块沿导轨滑动。更具体地，此处的驱动组件为同步带轮，驱动带轮带动直线导轨上的滑块沿导轨滑动从而带动前述两个规整导轨 61移动以调整前述至少两个规整导轨61的位置。
64.优选地，取料设备还包括扫码器8，该扫码器8用于记录取料设备抓取的晶圆料片个数。
65.实施例2
66.图3示出了本实用新型所述的可识别料片位置的取料设备的取料方法的示意图，如图3所示。
67.本实施例提供了一种可识别料片位置的取料方法，该方法包括如下步骤：
68.控制升降机构带动料盒移动至第一取料位置以使得位置检测装置获取料盒的第一预设料片位置处的料片信息，其中，第一取料位置与所述第一预设料片位置具有对应关系；若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，驱动抓取机构移动至第一预设料片位置以夹取该位置处的料片。
69.优选地，若上述料片信息不提示第一预设料片位置处存在料片，控制升降机构带动料盒移动至第二预设取料位置以使得位置检测装置获取料盒的第二预设料片位置处的料片信息。
70.优选地，位置检测装置包括两个传感器；若两个传感器均在前述第一预设料片位置处探测到料片，则该位置检测装置所获取的料片信息提示第一预设料片位置处存在料片；若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，驱动抓取机构移动至第一预设料片位置以夹取该处的料片。
71.优选地，若上述两个传感器均未在第一预设料片位置处探测到料片，则该位置检测装置所获取的料片信息提示第一预设料片位置处不存在料片；若前述料片信息提示第一预设料片位置处不存在料片，控制升降机构带动料盒移动至第二取料位置以使得所述位置检测装置获取所述料盒的第二预设料片位置处的料片信息。
72.优选地，若上述两个传感器中仅有一个传感器在第一预设料片位置处探测到料片，该位置检测装置所获取的料片信息提示第一预设料片位置处的料片错位；若前述料片信息提示第一预设料片位置处的料片错位，控制升降机构带动料盒移动至第二取料位置以使得位置检测装置获取料盒的第二预设料片位置处的料片信息。
73.升降机构带动料盒移动以使料盒基准面位于取料初始位置，值得注意的是本实施例对料盒的基准面不予限定，但为具象化及论述方便，假设此处的基准面为料盒底座所处水平面。假设取料初始位置在位置读取装置所处水平面上方，即，料盒底座所处水平面高于位置读取装置所处水平面，料盒中设有与料盒底座所处水平面平行的栅槽以放置料片；在此基础上进一步假设，当放满料盒栅槽时，料盒中共放置n张料片，自下而上分别记为第一料片、第二料片、
……
、第n料片，进一步预计，料盒中的料片相互平行(均平行于料盒底座所处水平面)，且各个料片之间的设计间距相同，均为a。
74.具体地，升降机构带动料盒至取料初始位置自上而下移动，首先以使料盒底座移动至第一预设取料位置，此时，启动位置检测装置获取料盒的第一预设料片位置处的料片信息(此处的“第一预设料片位置”为按上述假设料盒中的第一料片的预计位置)，此处的料片信息包括料片放置状态信息，位置检测装置所探测到的料盒中料片的位置状态主要有三种：
①
当前位置存在料片且料片放置符合上述预计(即平行于料盒底座所处水平面)；
②
当前位置存在料片但料片放置与上述预计不符(即料片放置错位)；
③
当前位置不存在料片(即料片空位)。对于前述
①
，则料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，此时，位置检测装置反馈抓取指令，以驱动抓取机构移动至第一预设料片位置以夹取该料片；对于前述
②
和
③
，料片信息均不提示第一预设料片位置处存在料片，此时，位置检测装置反馈报错指令，并指示升降机构带动料盒移动以使料盒底座移动至第二预设取料位置进而使位置检测装置可探测以获取料盒的第二预设料片位置处的料片信息。
75.更具体地，如前述假设，在理想状态下，料盒与其中各个料片的相对关系应该是固定的，取料位置是料盒位置，预设料片位置是预计料片位置，前述取料位置与预设料片位置具有对应关系，即第一取料位置对应于第一预设料片位置、第二取料位置对应于第二预设料片位置、
……
、第n取料位置对应于第n 预设料片位置。在取料时，升降机构自上而下带动料盒从取料起始位置开始移动，首先使料盒底座至移动至第一取料位置处，此时，位置检测装置探测以获取与第一取料位置对应的第一预设料片位置的料片信息，以此类推，当料盒底座至移动至第n取料位置处，此时，位置检测装置探测以获取与第n取料位置对应的第n预设料片位置的料片信息。
76.值得注意的是，本实施例对前述的取料初始位置与位置读取装置所处水平面的上下关系不做限制，例如，若假设取料初始位置在位置读取装置所处水平面下方，则升降机构带动料盒自下而上移动，此时，对于堆叠在料盒中的料片而言，自上而下起的第一张料片为第一料片，最后一张料片为第n料片。
77.优选地，上述位置检测装置包括光纤传感器。
78.优选地，上述位置检测装置包括接近传感器。
79.优选地，控制升降机构上的升降模组带动料盒移动至第一取料位置以使得位置检测装置获取料盒的第一预设料片位置处的料片信息，其中，第一取料位置与第一预设料片位置具有对应关系。
80.优选地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，指示抓取机构的移栽模组驱动抓取部移动至第一预设料片位置以夹取该位置处的料片。
81.进一步地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，指示抓取机构的移栽模组驱动抓取部移动至第一预设料片位置以使得抓取部上的驱动气缸驱动抓取部上的夹手夹取料盒的第一预设料片位置的该料片。
82.进一步地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，指示抓取机构的移栽模组驱动抓取部移动至第一预设料片位置以使得抓取部上的真空发生器控制抓取部上的真空吸盘吸取料盒的第一预设料片位置的该料片。
83.优选地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，在驱动抓取机构移动至第一预设料片位置以夹取该位置处的第一料片之前，控制升降机构上的位置读取装置读取第一预设料片位置处的料片在升降模组的上的位置信息，以便于抓取机构移动至第一预设料片位置后可精准夹取该位置处的第一料片。
84.进一步地，上述位置读取装置为伺服编码器或光栅尺或磁栅尺。
85.优选地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，在驱动抓取机构移动至第一预设料片位置之后，根据待夹取料片的尺寸控制调整装置调整其上设置的两个规整导轨的位置以使该料片与导轨卡接从而便于抓取机构夹取第一预设料片位置处的该料片。
86.进一步地，优选地，若前述料片信息提示第一预设料片位置处存在料片，在驱动抓取机构移动至第一预设料片位置之后，根据待夹取料片尺寸控制调整装置的驱动组件带动直线导轨上的滑块以驱动调整装置的至少两个规整导轨移动从而调整至少两个规整导轨的位置，以使该料片与导轨卡接从而便于抓取机构夹取第一预设料片位置处的该料片。
87.本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
88.本实用新型公开的可识别料片位置的取料设备，通过安装有探测料片位置的检测装置获取预设料片位置处的料片信息，解决了因料盒加工、组装偏差造成的夹取料片错位的问题，避免了因料盒加工或组装偏差导致的料片空置、错位等问题而造成的错误取料作业。
89.进一步地，该取料设备还设有位置读取装置以记录料盒中各个料片的位置信息，进而保证抓取结构的准确取料。
90.上述所有可选技术方案，可以采用任意结合形成本实用新型的可选实施例，在此不再一一赘述。
91.尽管已描述了本技术实施例中的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术实施例中范围的所有变更和修改。
92.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
93.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
94.本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。