一种高效稳定的吸盖装置的制作方法

1.本实用新型涉及自动化设备的技术领域，特别涉及一种高效稳定的吸盖装置。


背景技术：

2.圆晶（wafer）是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的icp刻蚀加工，icp刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。圆晶在上片时，由于料盘是由人工或自动化设备连同盘盖一同上料的，因此在实际应用时，圆晶在放置到料盘前需要将盘盖取走，然后再进行圆晶的排列放置。
3.公开号为cn 111618885 a的发明发明专利公开了一种圆晶自动上片装置，该装置中包含了对料盘盘盖进行取盖的料盘取盖机构，该料盘取盖机构通过第二电缸带动盘盖吸盘移动实现对盘盖的吸取，从而完成盘盖的取放。然而，上述方案中对于料盘的吸取是通过吸盘实现的，在实际使用过程中，有可能出现吸盘吸力不足导致吸取失败的情况，甚至有可能吸取后吸力不足导致盘盖突然掉落的情况出现，这就具备安全隐患，可能会导致产品损伤或对操作人员造成伤害。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、对盘盖吸取稳定、安全性较高的高效稳定的吸盖装置。
5.本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括竖直直线模组，所述竖直直线模组的移动端上设置有安装件，所述安装件上设置有第一真空发生器和第二真空发生器，所述安装件上还设置有若干个第一真空吸盘和若干个第二真空吸盘，所述第一真空吸盘与所述第一真空发生器气管连接，所述第二真空吸盘与所述第二真空发生器气管连接。
6.进一步，所述安装件的下方的两侧均设置有承托机构，所述承托机构包括安装竖条，所述安装竖条上设置有直角板，所述直角板上设置有承托气缸，所述承托气缸的输出端设置有承托件。
7.进一步，所述安装件包括安装座，所述安装座的前端下侧设置有吸盘安装板，所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的数量均为四个，四个所述第一真空吸盘呈四边形分散布置，四个所述第二真空吸盘围绕四个所述第一真空吸盘呈四边形分散布置。
8.进一步，所述安装座上设置有气路转接块，所述气路转接块上设置有与所述第一真空发生器相连接的第一转接气嘴和与所述第二真空发生器相连接的第二转接气嘴，所述气路转接块上设置有若干个通过内气道与所述第一转接气嘴相连通的第一接头和若干个通过内气道与所述第一转接气嘴相连通的第二接头，所述第一接头与所述第一真空吸盘相
连接，所述第二接头与所述第二真空发生器相连接。
9.进一步，所述吸盘安装板上设置有八道安装腰型槽，四个所述第一真空吸盘和四个所述第二真空吸盘分别设置在八道所述安装腰型槽上。
10.进一步，所述竖直直线模组的上下端均设置有位置传感器，所述竖直直线模组的移动端上设置有感应片，所述感应片与两个所述位置传感器相配合。
11.进一步，所述安装竖条上开设有安装竖槽，所述直角板通过固定螺丝和固定螺母设置在所述安装竖槽上。
12.进一步，所述承托件的前端开设有与料盘盘盖的外缘相适配的托盖槽。
13.本实用新型的有益效果是：本实用新型通过竖直直线模组带动安装件上下移动，从而带动第一真空吸盘和第二真空吸盘上下移动，第一真空吸盘和第二真空吸盘分别与第一真空发生器和第二真空发生器连接，即吸取动力来源不同，因此在对盘盖进行吸取时，第一真空吸盘和第二真空吸盘同时吸取，具有双重吸取效果，不会由于其中一个真空发生器故障或连接气管泄漏而出现盘盖掉落的情况，能够稳稳地吸住盘盖，在竖直直线模组的带动下实现盘盖的取放。由上述可见，本实用新型整体结构简单，采用双真空发生器与双真空吸盘组对盘盖进行吸取，保证吸取效果的稳定性，双重吸取效果，能够有效防止意外发生，大大降低了盘盖掉落的情况，安全性较高。
附图说明
14.图1是本实用新型的立体结构示意图；
15.图2是本实用新型另一角度的立体结构示意图；
16.图3是本实用新型的爆炸图；
17.图4是本实用新型的俯视图；
18.图5是本实用新型所述承托机构的立体结构示意图；
19.图6是图2中a部分的放大图。
具体实施方式
20.如图1至图6所示，在本实施例中，本实用新型包括竖直直线模组1，所述竖直直线模组1的移动端上设置有安装件2，所述安装件2上设置有第一真空发生器3和第二真空发生器4，所述安装件2上还设置有若干个第一真空吸盘5和若干个第二真空吸盘6，所述第一真空吸盘5与所述第一真空发生器3气管连接，所述第二真空吸盘6与所述第二真空发生器4气管连接。所述竖直直线模组1的运动方向是上下移动，所述安装件2设置在所述竖直直线模组1的移动端上，由所述竖直直线模组1带动可以上下移动，所述第一真空发生器3和所述第二真空发生器4设置在所述安装件2上，所述安装件2上设置有多个第一真空吸盘5和多个第二真空吸盘6，所述第一真空吸盘5与所述第一真空发生器3气管连接，所述第二真空吸盘6与所述第二真空发生器4气管连接，所述第一真空发生器3和所述第二真空发生器4作为两个独立的动力源，将所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6的吸取能力区分开，形成两路独立的吸取路径，因此在对盘盖进行吸取时，所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6同时吸取，具有双重吸取效果，不会由于其中一个真空发生器故障或连接气管泄漏而出现盘盖掉落的情况，能够稳稳地吸住盘盖，在竖直直线模组1的带动下实现盘盖的取放。由上
述可见，本实用新型整体结构简单，采用双真空发生器与双真空吸盘组对盘盖进行吸取，保证吸取效果的稳定性，双重吸取效果，能够有效防止意外发生，大大降低了盘盖掉落的情况，安全性较高。
21.在本实施例中，所述安装件2的下方的两侧均设置有承托机构7，所述承托机构7包括安装竖条71，所述安装竖条71上设置有直角板72，所述直角板72上设置有承托气缸73，所述承托气缸73的输出端设置有承托件74。通过两个承托机构7，可以对吸取的盘盖进行承托，即便盘盖在空中吸取力消失也不会掉落砸伤产品或操作人员，从而起到预防作用；所述承托机构7包括安装竖条71、直角板72、承托气缸73和承托件74，所述直角板72设置在所述安装竖条71的上端，所述承托气缸73设置在所述直角板72上，所述承托件74与所述承托气缸73的输出端相连接，所述承托气缸73用于带动所述承托件74进行伸缩运动，当盘盖未被吸起时，所述承托气缸73未启动，从而使得所述承托件74让位另盘盖顺利被吸取带动上移，当盘盖被吸起带动升至设定高度时，所述承托气缸73驱动，所述承托件74伸出并处在盘盖的下方，从而能够承托住盘盖。
22.在本实施例中，所述安装件2包括安装座21，所述安装座21的前端下侧设置有吸盘安装板22，所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6的数量均为四个，四个所述第一真空吸盘5呈四边形分散布置，四个所述第二真空吸盘6围绕四个所述第一真空吸盘5呈四边形分散布置。所述安装件2由安装座21和吸盘安装板22组成，所述安装座21固定在所述竖直直线模组1的移动端上，所述吸盘安装板22设置在所述安装座21的前端下侧，四个所述第一真空吸盘5呈四边形分布设置在所述安装板上，呈四边形的分布能够使得四个所述第一真空吸盘5的四个吸取点对盘盖的吸取均匀，保证吸取稳定，四个所述第二真空吸盘6同样采用呈四边形分布设置，并且环绕四个所述第一真空吸盘5设置，从而对盘盖的外圈进行吸取，实现内外吸取均匀，保证整体吸取效果的稳定。
23.在本实施例中，所述安装座21上设置有气路转接块8，所述气路转接块8上设置有与所述第一真空发生器3相连接的第一转接气嘴9和与所述第二真空发生器4相连接的第二转接气嘴10，所述气路转接块8上设置有若干个通过内气道与所述第一转接气嘴9相连通的第一接头11和若干个通过内气道与所述第一转接气嘴9相连通的第二接头12，所述第一接头11与所述第一真空吸盘5相连接，所述第二接头12与所述第二真空发生器4相连接。所述气路转接块8用于进行对所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6进行转接，所述气路转接块8上设置第一转接气嘴9与第一真空发生器3连接，设置第二转接气嘴10与第二真空发生器4连接，所述气路转接块8内部设置有两条气道，所述气路转接块8上还设置有多个第一接头11和多个第二接头12，多个所述第一接头11和多个所述第二接头12成排设置，所述第一接头11的进气端与连接所述第一转接气嘴9的气道连接，所述第二接头12的进气端与连接所述第二转接气嘴10的气道连接，所述第一真空吸盘5再与所述第一接头11的出气端连接实现气路连通，所述第二真空吸盘6再与所述第二接头12的出气端连接实现气路连接，通过所述气流转接块，便于实现气路的转换及分配，从而适配更多的吸盘数量。
24.在本实施例中，所述吸盘安装板22上设置有八道安装腰型槽23，四个所述第一真空吸盘5和四个所述第二真空吸盘6分别设置在八道所述安装腰型槽23上。所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6都通过所述安装腰型槽23安装在所述吸盘安装板22上，因此可以根据盘盖的大小进行安装位置的调整，具备较好的适应性。
25.在本实施例中，所述竖直直线模组1的上下端均设置有位置传感器13，所述竖直直线模组1的移动端上设置有感应片14，所述感应片14与两个所述位置传感器13相配合。通过两个所述位置传感器13和所述感应片14的配合，可以对所述第一真空吸盘5和所述第二真空吸盘6的位置进行感应，从而判断是否进行了对盘盖的吸取动作，以便于实现自动化工作。
26.在本实施例中，所述安装竖条71上开设有安装竖槽，所述直角板72通过固定螺丝和固定螺母设置在所述安装竖槽上。所述直角板72通过所述固定螺丝和所述固定螺丝嵌在所述安装竖槽内，并可以沿所述安装竖槽进行位置调节，调剂时只需松开所述固定螺母与所述固定螺丝之间的配合即可，从而可以调节所述承托气缸73的高度，以便于适应盘盖的上升高度。
27.在本实施例中，所述承托件74的前端开设有与料盘盘盖的外缘相适配的托盖槽。所述托盖槽的槽型与料盘盘盖的外缘适配，从而能够更好的将盘盖夹持固定。
28.虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的，但是并不构成对本实用新型含义的限制，对于本领域的技术人员，根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。