一种吸附机构及输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及自动化技术领域。更具体地，涉及一种吸附机构及输送装置。


背景技术：

2.半导体芯片是通过在半导体片材上进行浸蚀、布线制成的能实现某种功能的半导体器件。随着半导体技术的发展，芯片复杂度也越来越高，为了保证出厂芯片的质量，需要在出厂前对芯片进行功能性测试以确保芯片功能的完整性,实现对芯片质量的把控，促进半导体行业的发展。在进行芯片检测前，一般需要通过上料机构将芯片输送至上料位置，再通过吸附机构将芯片从上料位置移动至检测位置，在检测完成后，再通过吸附机构从检测位置拾取芯片并移动至下料位置。
3.但是，现有的吸附机构在需要对吸嘴的间距进行调节时，需要对吸嘴设置专用的调节结构，通过控制调节结构来使吸嘴动作，这样会导致整个吸附机构的结构较为复杂，空间占用大，不利于设备的小型化和集中化。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供一种吸附机构，该吸附机构结构简单，空间占用小。
5.为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：
6.本实用新型提供一种吸附机构，包括：可转动的驱动轴；以及
7.沿驱动轴轴向方向x方向排列的至少两组吸附单元；
8.每组吸附单元包括有沿x方向排列的两个连接件；所述连接件的一端部连接于驱动轴上，另一端部上包括有吸附件；
9.同一吸附单元的两个连接件可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离；
10.相邻两组吸附单元可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离。
11.此外，优选地方案是，当同一吸附单元的两个连接件呈相互靠近运动时，相邻两组吸附单元之间呈相互远离运动；
12.当同一吸附单元的两个连接件呈相互远离运动时，相邻两组吸附单元之间呈相互靠近运动。
13.此外，优选地方案是，所述驱动轴上形成有与吸附单元对应配合的螺旋槽；所述连接件的一端部安装于螺旋槽上；
14.所述螺旋槽包括螺旋方向相反的左旋螺段以及右旋螺段；同一吸附单元的两个连接件分别连接于左旋螺段上和右旋螺段上。
15.此外，优选地方案是，所述驱动轴上左旋螺段与右旋螺段交替间隔设置。
16.此外，优选地方案是，所述连接件包括与螺旋槽连接的平直部以及用以固定吸附件的竖直部；所述吸附件沿竖直方向设置；所述吸附件可随连接件一并在驱动轴的转动驱
动力下沿x方向运动。
17.此外，优选地方案是，所述吸附机构还包括有壳体，所述驱动轴穿设于壳体上，在所述壳体的一侧壁上包括有沿竖直方向排列的若干第一导轨机构，所述第一导轨机构沿x方向延伸；所述连接件连接于所述第一导轨机构上；
18.所述壳体上还包括有供连接件平直部移动的长条孔，所述长条孔沿x方向延伸。
19.此外，优选地方案是，所述吸附件包括主体以及吸嘴；所述主体上形成用以与抽真空设备连接的气体通道，所述吸嘴与气体通道连通；所述吸嘴与主体之间配置有弹簧。
20.此外，优选地方案是，所述吸附机构还包括有用以感应驱动轴的转动角度的传感器。
21.此外，优选地方案是，所述吸附机构还包括有用以对吸附件进行校准定位的相机，所述相机的镜头轴线沿y向设置。
22.本实用新型还提供一种输送装置，该输送装置包括，基板；
23.如上所述的吸附机构；
24.用以驱动所述吸附机构沿x方向往复运动的移动机构；以及
25.设置在基板上用于跟随所述吸附机构移动的拖链结构。
26.本实用新型的有益效果为：
27.本实用新型通过移动机构驱动吸附机构，实现吸附机构在料盘和检测位置之间的移动，完成对芯片的输送，再通过驱动轴与吸附件的配合，利用驱动轴旋转进而带动吸附件相互靠近或相互远离调整相邻吸附件的间距，同时调整相邻两组吸附单元之间的间距，通过上述设置无需借助其他设备仅采用驱动轴转动即可实现全部吸附件间距的自由调整切换；且能够根据生产的实际需要实时进行间距变换，在减少了操作的繁琐工序的同时还大大提高了工作效率，该吸附机构结构简单，空间占用小，有利于设备的小型化和集中化。
附图说明
28.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
29.图1是本实用新型的输送装置的整体结构示意图。
30.图2是本实用新型的吸附机构的结构示意图。
31.图3是本实用新型的吸附机构的主视图。
32.图4是本实用新型的壳体与连接件的配合图。
33.图5是本实用新型的吸附件的剖面图。
34.图6是本实用新型的拖链结构的结构示意图。
35.图7是本实用新型的拖链结构的截面图。
具体实施方式
36.现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
37.以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
38.对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。
39.在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
40.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
41.为了解决现有的吸附机构的结构较为复杂，空间占用大的问题。本实用新型提供一种吸附机构，结合图1至图5所示，所述吸附机构20包括：可转动的驱动轴；以及沿驱动轴轴向方向x方向排列的至少两组吸附单元27；每组吸附单元27包括有沿x方向排列的两个连接件23；所述连接件23的一端部连接于驱动轴上，另一端部上包括有吸附件22；同一吸附单元27的两个连接件23可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离；相邻两组吸附单元27可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离，也就是说，当同一吸附单元27的两个连接件23呈相互靠近运动时，相邻两组吸附单元27之间呈相互远离运动；当同一吸附单元27的两个连接件23呈相互远离运动时，相邻两组吸附单元27之间呈相互靠近运动。
42.在上述实施方式中，利用驱动轴旋转进而带动吸附件22相互靠近或相互远离调整相邻吸附件22的间距，同时能够调整相邻两组吸附单元27之间的间距，参照图4所示，在本实施方式中，该吸附机构20包括两组有吸附单元27，通过上述设置无需借助其他设备仅采用驱动轴转动即可实现全部四个吸附件22间距的调整；可以理解的是，驱动轴是在驱动件的带动下绕驱动轴自身的轴线旋转的。
43.在一具体的实施方式中，所述驱动件为驱动电机21，所述驱动轴与驱动电机21的转轴对应配合，所述驱动轴上形成有与吸附单元27对应配合的螺旋槽；所述连接件23的一端部安装于螺旋槽上；所述螺旋槽包括螺旋方向相反的左旋螺段以及右旋螺段；同一吸附单元27的两个连接件分别连接于左旋螺段上和右旋螺段上。
44.更具体地，所述驱动轴上左旋螺段与右旋螺段交替间隔设置，通过上述设置在所述驱动轴的转动驱动力下，连接件可沿螺旋槽的开槽方向运动以使得同一吸附单元的两个连接件相互靠近运动时，相邻两组吸附单元之间呈相互远离运动；或同一吸附单元的两个连接件呈相互远离运动时，相邻两组吸附单元之间呈相互靠近运动，从而调整吸附件之间的间距以及吸附单元之间的间距。
45.进一步地，可以在驱动电机21的输出端设置减速机后再与驱动轴结合固定，该驱动电机21的转轴沿x方向设置，通过上述设置有效的保证了吸附机构20的运动精确性和运动稳定性；驱动电机21优选为步进电机、高精度伺服电机等。
46.在具体的实施过程中时，每一吸附件22上吸取一芯片，驱动电机21驱动所述驱动轴正转或反转，进而带动全部吸附件22在x方向上运动调整相互之间的距离，实现产品间距的改变。
47.在本实施方式中，所述连接件23包括与螺旋槽连接的平直部231以及用以固定吸附件22的竖直部232；吸附件22通过装配块26装配在竖直部232上，所述吸附件22沿竖直方向设置；所述吸附件22可随连接件23一并在驱动轴的转动驱动力下沿x方向运动。该平直部231可通过随动器配置于螺旋槽上，随动器使得连接件能够随着驱动轴的转动而移动，因此，通过所述驱动轴正转或反转能够调节吸附件22之间的间距，实现对吸附件22上吸取的
产品之间的间距的调节，来更好的适用于芯片测试。
48.为了对驱动轴以及与驱动轴配合的连接件23平直部231进行保护，防止外界灰尘直接进入螺旋槽保证所述连接件23在螺旋槽上工作的稳定性，所述吸附机构20还包括有壳体24，所述驱动轴穿设于壳体24上，在所述壳体24的一侧壁上包括有沿竖直向排列的若干第一导轨机构，所述第一导轨机构沿x方向延伸；所述连接件23连接于所述第一导轨机构上。
49.具体地，所述第一导轨机构包括有轨向部25以及位于轨向部上滑块，所述连接件23的竖直部232连接固定于所述滑块上。
50.第一导轨机构可为连接件23相对壳体24的沿左右方向(即x方向)滑动提供导向作用，避免连接件23与壳体24之间滑动时发生偏移，使得各连接件23之间在水平面上发生错位，可以保证位于不同连接件23上的吸附件22的吸附端可位于同一水平面。显然的，随着设置方式不同，第一导轨机构的具体结构以及设置位置等包括有不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，但应属于本实施方式所提供图示结构的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动。
51.另外，所述壳体24上包括有供连接件23平直部231移动的长条孔241，所述长条孔241沿x方向延伸，连接件23的平直部231通过该长条孔241由壳体24内延伸出，当连接件23在驱动电机21的带动下沿x方向运动时，平直部231能够在长条孔241内移动，不受壳体24限制。
52.需要说明的是，所述壳体24的沿驱动轴轴向排列的两相对侧壁上设置有轴承座，在所述轴承座内设置有轴承，所述驱动轴的两端被所述轴承转动支承。
53.关于吸附件22的具体结构，参照图5所示，所述吸附件22包括主体221以及吸嘴222；所述主体221上形成用以与抽真空设备连接的气体通道224，所述吸嘴222与气体通道224连通；所述吸嘴222与主体221之间配置有弹簧223。通过上述设置，所述弹簧223的一端与所述主体221抵接，另一端与所述吸嘴222的顶端抵接。当所述吸附件22吸取芯片时，由于芯片包括多种厚度，所述弹簧223能为吸嘴222提供压缩缓冲作用，使吸嘴222能更好地吸附住芯片。
54.在一可选的实施方式中，所述吸附机构20还包括有用以感应驱动轴的转动角度的传感器30。该传感器30结合固定于壳体24上，且位于驱动轴的远离驱动电机21的一端，通过传感器30感应驱动轴的转动角度，以此确定两个吸附件22的间距，进而实现控制改变间距，保证本实用新型的吸附机构20的变距精度和效率。
55.为了使吸附件22能够准确且稳定的吸附芯片，所述吸附机构20还包括有用以对吸附件22进行校准定位的相机40，所述相机40的镜头轴线沿y向设置，y向即为竖直方向。
56.本实用新型还提供一种输送装置，结合图1所示，该输送装置包括基板10；如上所述的吸附机构20；用以驱动吸附机构20沿x方向往复运动的移动机构以及设置在基板10上用于跟随所述吸附机构20移动的拖链结构60。
57.进一步地，所述基板10上包括有沿x方向设置的第二x向滑轨11；所述输送装置还包括有结合固定于移动机构的移动部上的移动架12，所述移动架12通过滑块配置于第二x向滑轨11上，所述吸附机构20位于移动架12上。其优势在于，能够保证吸附机构20平稳流畅的沿x方向运动；在所述移动架12上还设置有抽真空设备，便于吸附件22与抽真空设备的连
接配合。
58.关于移动机构的具体结构，在本实施方式中，所述移动机构包括同步带52以及与同步带52相配合的第一电机51，第一电机51的输出端与第一同步轮53连接；第一同步轮53通过同步带52与第二同步轮54传动连接，移动架12固定在同步带52上；通过同步带52带动移动架12运动进而能够驱动吸附机构20运动，同步带52的输送方向为x方向。
59.结合图6、图7所示，所述拖链结构60包括：用于传输线材或者气路的多根柔性管路61和覆盖在柔性管路靠近基座一侧的保护层62。多根柔性管路一体式连接，柔性管路61为中空结构，其中可以设置线缆以实现对线缆的保护，也可以直接作为气路使用。柔性管路61中设置线缆时，还可以与线缆一体加工成型后，再将带有线缆的柔性管路与其他柔性管路一体连接。
60.具体地，所述柔性管路61可以单层布置，也可以双层或者多层布置，所述保护层62优选采用柔性耐磨材料。本技术通过设置柔性管路61和保护层62，与常规的金属坦克链相比，更便于折弯且折弯时不会受到金属磨损，避免长时间使用后线缆磨损，影响设备运行。
61.综上所述，本实用新型通过移动机构驱动吸附机构，实现吸附机构在料盘和检测位置之间的移动，完成对芯片的输送，再通过驱动轴与吸附件的配合，利用驱动轴旋转进而带动吸附件相互靠近或相互远离调整相邻两个吸附件的间距，同时调整相邻两组吸附单元之间的间距，通过上述设置无需借助其他设备仅采用驱动轴转动即可实现全部吸附件间距的自由调整切换；且能够根据生产的实际需要实时进行间距变换，在减少了操作的繁琐工序的同时还大大提高了工作效率，该吸附机构结构简单，空间占用小，有利于设备的小型化和集中化。
62.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。