一种多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置的制作方法

1.本发明涉及离子注入设备领域，尤其涉及到一种多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置。


背景技术：

2.离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
3.对于大尺寸玻璃基板进行离子注入时，由于尺寸较大，同一批注入仅能注入一片玻璃基板，注入完成后，需通过低真空取样室将玻璃基板取出，再装载下一片玻璃基板进入离子注入腔，再进行抽真空处理，这种反复抽真空操作浪费了大量的时间，离子注入效率差。
4.此外，对于大的玻璃基板离子注入一般采用宽带束离子注入机，这就要求装载的玻璃基板能够沿着基板宽度方向进行直线匀速运动，通过一次注入实现高均匀性玻璃基板注入。而目前还未有可同时实现多片玻璃基板在真空腔中的直线运动装置。
5.因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。


技术实现要素：

6.本发明的目的是提供一种多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置，达到可以在真空取样室内可连续对多个大尺寸玻璃基板注入离子，避免真空取样室反复抽真空，提升离子注入效率，降低能源损耗。
7.本发明的上述技术目的是通过以下技术方案实现的：一种多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置，其特征在于：包括若干依次呈嵌套设置的主动传送轴管、若干依次呈嵌套设置的从动传送轴管、若干分别固定于主动传送轴管的两端位置的主动轮、若干分别固定于从动传送轴管的从动轮、设置于对应主动轮与从动轮之间并用于装载大尺寸玻璃基板的传送链、驱动若干传送链同步移动的驱动机构，若干传送链呈平行设置，位于外侧的主动传送轴管所固定的主动轮直径大于位于内侧的主动传送轴管所固定的主动轮直径，且相邻两个传送链之间高度差大于大尺寸玻璃基板厚度，位于外侧的主动传送轴管所固定的两个主动轮之间间距小于位于内侧的主动传送轴管所固定的两个主动轮之间间距。
8.本发明进一步设置为：所述多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置内设置有用于抓取并搬运大尺寸玻璃基板的机械臂。
9.本发明进一步设置为：呈对称设置的两个传送链之间设置有供大尺寸玻璃基板装置的基台，若干基台位于同一平面位置。
10.本发明进一步设置为：所述基台设置有用于夹持固定大尺寸玻璃基板的电动夹
爪。
11.本发明进一步设置为：所述多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置设置有用于感应基台进入离子注入区域的传入传感器、用于感应基台前端离开离子注入区域的传出传感器。
12.本发明进一步设置为：所述驱动机构包括若干分别驱动对应的主动传送轴管转动的伺服电机。
13.本发明进一步设置为：所述驱动机构包括与若干传送链固定的连接块、驱动所述连接块往复移动的推动结构，所述传送链远离大尺寸玻璃基板一侧的部位固定连接于所述连接块。
14.本发明进一步设置为：所述推动结构包括设置于所述连接块的丝杠螺母、螺纹连接于所述丝杠螺母的丝杠、驱动所述丝杠转动的驱动电机，所述丝杠长度方向平行与所述传送链移动方向。
15.综上所述，本发明具有以下有益效果：
16.若干传送链之间呈一定错位设置，即不同高度位置的传送链可分别放置一片大尺寸玻璃基板，并通过驱动机构实现驱动多片大尺寸玻璃基板同步移动，并达到多片大尺寸玻璃基板相对静止，当最外侧的大尺寸玻璃基板经过离子注入区后，实现该大尺寸玻璃基板注入离子，然后通过机械臂将最外侧的大尺寸玻璃基板搬运至最内侧，且搬运时可将大尺寸玻璃基板旋转一定角度后，方便大尺寸玻璃基本腾挪，另外搬运大尺寸玻璃基板时，可以驱动传送链往回运动，从而方便对下一个大尺寸玻璃基板注入离子，并且无效打开低真空取样室，无需反复抽真空，提升大尺寸玻璃基板注入离子效率，节约能源。
17.使用时，预先将大尺寸玻璃基板放置于基台，并通过电动夹爪实现固定大尺寸玻璃基板，并确保精准固定大尺寸玻璃基板位置，确保大尺寸玻璃基板能够被精准注入离子。
18.在使用时，当传送链带动大尺寸玻璃基板移动至离子注入区域位置并被传入传感器感应到后，设备内的控制计算机控制相应的离子注入机准备工作，当传出传感器感应到基台前端离开时，控制计算机控制离子注入机注入离子，从而达到对大尺寸玻璃基板注入离子，实现高精度注入离子。
19.通过驱动电机驱动丝杠转动，丝杠带动丝杠螺母及连接块移动，连接块带动若干个传送链同步移动，从而确保传送链移动速度保持一致，多个基台呈相对静止，并确保多个基台呈重叠状态移动。
附图说明
20.图1是实施例1的结构示意图；
21.图2是实施例1的剖视图；
22.图3是实施例2的结构示意图。
23.图中数字所表示的相应部件名称：1、主动传送轴管；2、从动传送轴管；3、主动轮；4、从动轮；5、传送链；6、基台；7、电动夹爪；8、传入传感器；9、传出传感器；10、伺服电机；11、连接块；12、丝杠；13、丝杠螺母；14、驱动电机。
具体实施方式
24.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本发明。
25.实施例1：如图1和图2所示，本发明提出的一种多片大尺寸玻璃基板离子注入直线传送装置，包括若干依次呈嵌套设置的主动传送轴管1、若干依次呈嵌套设置的从动传送轴管2、若干分别固定于主动传送轴管1的两端位置的主动轮3、若干分别固定于从动传送轴管2的从动轮4、设置于对应主动轮3与从动轮4之间并用于装载大尺寸玻璃基板的传送链5、驱动若干传送链5同步移动的驱动机构。若干传送链5呈平行设置，并且连接于同一主动传送轴管1的传送链5呈对称设置。位于外侧的主动传送轴管1所固定的主动轮3直径小于位于内侧的主动传送轴管1所固定的主动轮3直径，且相邻两个传送链5之间高度差大于大尺寸玻璃基板厚度，位于外侧的主动传送轴管1所固定的两个主动轮3之间间距小于位于内侧的主动传送轴管1所固定的两个主动轮3之间间距。并且本实施例中，还设置有用于抓取并搬运大尺寸玻璃基板的机械臂(图中未标示)，机械臂为现有技术，在此不赘述。即若干传送链5之间呈一定错位设置，即不同高度位置的传送链5可分别放置一片大尺寸玻璃基板，并通过驱动机构实现驱动多片大尺寸玻璃基板同步移动，并达到多片大尺寸玻璃基板相对静止，当最外侧的大尺寸玻璃基板经过离子注入区后，实现该大尺寸玻璃基板注入离子，然后通过机械臂将最外侧的大尺寸玻璃基板搬运至最内侧，且搬运时可将大尺寸玻璃基板旋转一定角度后，方便大尺寸玻璃基本腾挪，另外搬运大尺寸玻璃基板时，可以驱动传送链5往回运动，从而方便对下一个大尺寸玻璃基板注入离子，并且无效打开低真空取样室，无需反复抽真空，提升大尺寸玻璃基板注入离子效率，节约能源。
26.本实施例中呈对称设置的两个传送链5之间设置有供大尺寸玻璃基板装置的基台6，若干基台6位于同一平面位置，即对称的两个传送链5之间固定基台6，实现若干个基台6呈间隔排列。每个基台6还可设置有用于夹持固定大尺寸玻璃基板的电动夹爪7。使用时，预先将大尺寸玻璃基板放置于基台6，并通过电动夹爪7实现固定大尺寸玻璃基板，并确保精准固定大尺寸玻璃基板位置，确保大尺寸玻璃基板能够被精准注入离子。
27.另外直线传送装置还设置有用于基台6进入离子注入区域的传入传感器8、用于感应基台6离子注入区域的传出传感器9。传入传感器8及传出传感器9分设于离子注入区域两端位置，并且传入传感器8及传出传感器9可以为红外传感器的等，为现有技术。在使用时，当传送链5带动大尺寸玻璃基板移动至离子注入区域位置并被传入传感器8感应到后，设备内的控制计算机控制相应的离子注入机准备工作，当传出传感器9感应到基台6前端离开时，控制计算机控制离子注入机注入离子，从而达到对大尺寸玻璃基板注入离子，实现高精度注入离子。
28.驱动机构包括若干个分别驱动对应的主动传送轴管1转动的伺服电机10，伺服电机10与对应的主动传送轴管1为链轮传动，主动传送轴管1所固定的主动齿轮半径由外而内依次减小，并通过多个伺服电机10分别控制对于的主动传送轴管1转动，达到保证若干个链轮之间的线速度一致，及多个基台6呈相对静止，并确保多个基台6呈重叠状态移动。
29.实施例2，与实施例不同之处在于：如图3所示，驱动机构包括与若干传送链5固定的连接块11、驱动所述连接块11往复移动的推动结构，所述传送链5远离大尺寸玻璃基板一侧的部位固定连接于所述连接块11。并且推动结构包括设置于所述连接块11的丝杠螺母
13、螺纹连接于所述丝杠螺母13的丝杠12、驱动所述丝杠12转动的驱动电机14，所述丝杠12长度方向平行与所述传送链5移动方向。即通过驱动电机14驱动丝杠12转动，丝杠12带动丝杠螺母13及连接块11移动，连接块11带动若干个传送链5同步移动，从而确保传送链5移动速度保持一致，多个基台6呈相对静止，并确保多个基台6呈重叠状态移动。
30.在本文中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了表达技术方案的清楚及描述方便，因此不能理解为对本发明的限制。
31.在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。
32.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。