物料输送系统及激光掺杂一体机的制作方法

1.本发明涉及激光加工的技术领域，尤其是一种物料输送系统，以及应用该物料输送系统的激光掺杂一体机。


背景技术：

2.目前，激光掺杂机的物料输送大多采用转盘式进行输送。现有的激光掺杂机动作流程如下：先将硅片通过单通道输送线进行上下料输送，通过平移真空吸盘将硅片从输送线搬运至转盘上的硅片上料位；转盘上均匀分布几个工位，至少包括硅片上料位、视觉检测工位、激光掺杂工位、硅片下料位等，各工位可同时工作；从输送线搬运至转盘上的硅片，通过转盘的旋转，依次进入各个工位，完成工艺流程；最后，通过平移真空吸盘将完成工艺流程的硅片从硅片下料位搬运至单通道输送线后流出。
3.现有的激光掺杂机存在下述问题：
4.1.单通道输送线是单一供料系统，效率较低，产能受限；
5.2.只有一个激光器工位，一旦供料异常或激光器异常，只能停机处理，影响产能；
6.3.ng处理位置在设备居中位置，不方便人员取放,来料不良品和设备不良品未实现分类；
7.4.转盘设计一般采用dd马达(力矩电机)，dd马达高速运动时容易升温形变，影响治具精度。


技术实现要素：

8.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此，本发明提出一种物料输送系统，能够有效提高效率，增加产能。
9.本发明还提出一种具有上述物料输送系统的激光掺杂一体机。
10.根据本发明的第一方面实施例的物料输送系统，所述物料输送系统应用于片状物料在待料区和加工区之间的输送，包括：
11.第一送料装置，包括呈平行直线设置的第一上料线和第一下料线，所述第一上料线用于把片状物料从待料区送往加工区，所述第一下料线用于把片状物料从加工区送往待料区；
12.第二送料装置，包括呈平行直线设置的第二上料线和第二下料线，所述第二上料线用于把片状物料从待料区送往加工区，所述第二下料线用于把片状物料从加工区送往待料区；其中，所述第二送料装置和所述第一送料装置分别设置在加工区的两侧；
13.至少一个横向送料装置，所述横向送料装置穿过加工区并连接所述第一送料装置和所述第二送料装置，所述横向送料装置上设置有用于将片状物料在所述第一送料装置和加工区工位之间输送的第一转运治具，以及将片状物料在所述第二送料装置和加工区工位之间输送的第二转运治具，所述第一转运治具和所述第二转运治具交替进入加工区工位。
14.根据本发明实施例的物料输送系统，至少具有如下有益效果：本发明的物料输送
系统采用两个送料装置，使片状物料的上下料效率提升，且两个送料装置可独立作业，提高系统的抗风险能力；直线式布置的送料装置高效稳定；利用横向送料装置把两个送料装置的物料交替送入加工区工位，减少加工区工位的等待时间，提高生产效率，增加产能。
15.根据本发明的一些实施例，所述横向送料装置设置的数量对应加工区工位数量，每个加工工位都设置有一个横向送料装置进行交替送料。
16.根据本发明的一些实施例，所述横向送料装置设置有两个或两个以上，对应的加工区工位也设置有两个或两个以上，有效提高效率，且提高设备的抗风险能力。
17.根据本发明的一些实施例，所述第一上料线和所述第二上料线上分别设置有：取料装置，从待料区的花篮中取下片状物料并进行输送；缓存装置，用于存储部分片状物料，并在无法从待料区获得片状物料时释放存储的片状物料到所述第一上料线和所述第二上料线；来料搬运装置，包括用于吸附片状物料的吸盘组件，其中，所述第一上料线的所述来料搬运装置把片状物料搬运到所述第一转运治具，所述第二上料线上的所述来料搬运装置把片状物料搬运到所述第二转运治具。
18.根据本发明的一些实施例，所述取料装置上设置有整平装置，所述整平装置包括：龙门支架；驱动气缸，设置在所述龙门支架上；整平杆，所述整平杆连接在所述驱动气缸的活塞杆上，所述整平杆正对待料区的花篮竖直设置。进一步的，驱动气缸的活塞杆端部设置有连接板，整平杆通过多个螺栓连接固定在连接板上，使其连接牢固，不易移位。当驱动气缸驱动整平杆伸出时，整平杆将待料区花篮里的片状物料推放平整，便于片状物料进入取料装置。
19.根据本发明的一些实施例，所述取料装置前端设置有可伸缩的皮带模组，所述皮带模组伸出时进入待料区的花篮承接片状物料，所述皮带模组缩回时把片状物料带回取料装置进行输送。通过可伸缩的皮带模组去进行取料，可代替机械手取料，简化设备结构。
20.根据本发明的一些实施例，所述第一上料线和所述第二上料线上分别设置有扫描装置，所述扫描装置用于检测片状物料是否存在破损或者隐形裂缝，实现来料不良品检测。
21.根据本发明的一些实施例，所述来料搬运装置末端设置有第一回收装置，当所述扫描装置检测到片状物料存在破损或者隐形裂缝时，所述来料搬运装置把片状物料搬运到所述第一回收装置。通过第一回收装置对来料不良品进行回收，第一回收装置设置在来料搬运装置的末端，靠近设备操作面，便于工作人员处理不良品。
22.根据本发明的一些实施例，所述第一下料线和所述第二下料线上分别设置有：回料搬运装置，包括用于吸附片状物料的吸盘组件，用于把片状物料从所述第一转运治具搬回所述第一下料线，以及把片状物料从所述第二转运治具搬回所述第二下料线；aoi(automatedoptical inspection；自动光学检测)检测装置，对出料前的片状物料进行视觉检测；缓存装置，用于存储部分片状物料，并在无法从加工区获得片状物料时释放存储的片状物料到所述第一下料线和所述第二下料线；下料装置，用于把片状物料输送到待料区的花篮中。
23.根据本发明的一些实施例，所述下料装置前端设置有可伸缩的皮带模组，所述皮带模组伸出时把下料装置上的片状物料送入待料区的花篮。
24.根据本发明的一些实施例，所述下料装置上方设置有筛选机械手，所述下料装置一侧设置有第二回收装置，当片状物料被所述aoi检测装置检测为不良品时，所述筛选机械
手把不良的片状物料从所述下料装置搬运到所述第二回收装置。第一下料线和第二下料线上通过aoi 检测装置和第二回收装置，对经过加工后存在的不良品进行甄别和回收；第一回收装置和第二回收装置的分开，区分来料不良品与加工后不良品，优化废料处理流程。
25.根据本发明的一些实施例，所述第二回收装置设置在所述第一送料装置和所述第二送料装置的外侧，靠近设备操作面，便于工作人员处理不良品。
26.根据本发明的第二方面实施例的激光掺杂一体机，所述激光掺杂一体机用于加工硅片，包括：
27.本发明的第一方面实施例所述的物料输送系统；
28.激光加工平台，设置在加工区，所述激光加工平台包括至少一个激光加工工位。
29.根据本发明实施例的激光掺杂一体机，至少具有如下有益效果：本发明的激光掺杂一体机采用第一方面所述的物料输送系统，具有两个送料装置，使硅片的上下料效率提升，且两个送料装置可独立作业，提高系统的抗风险能力；直线式布置的送料装置高效稳定；利用横向送料装置把两个送料装置的物料交替送入加工区工位，减少加工区工位的等待时间，提高生产效率，增加产能。
30.根据本发明的一些实施例，所述激光加工平台内设置有两个或两个以上的激光加工工位，有效提高效率，且提高设备的抗风险能力。
31.根据本发明的一些实施例，每个所述激光加工工位内设置有：视觉定位机构，用于对硅片进行视觉定位；激光加工机构，用于对硅片进行激光掺杂加工；除尘机构，用于除去激光加工产生的粉尘；其中，所述视觉定位机构和所述激光加工机构位于所述横向送料装置的上方。通过在一个激光加工工位内同时设置视觉定位机构、激光加工机构和除尘机构，使激光加工工位同时具有视觉定位、激光加工和除尘三大功能，解决了现有的激光加工工位功能单一的问题，结构合理紧凑，操作简便，提高工作效率。
32.根据本发明的一些实施例，所述激光掺杂一体机还包括：花篮供收料系统，为待料区输送装有待加工硅片的花篮，以及从待料区回收装有加工后硅片的花篮。利用花篮供收料系统对花篮进行输送和分配，提高设备的自动化程度，进一步提高效率。
33.根据本发明的一些实施例，所述花篮供收料系统包括：进料输送通道，用于送入装有待加工硅片的花篮；出料输送通道，用于送出装有加工后硅片的花篮；横移输送通道，所述进料输送通道和所述出料输送通道设置在所述横移输送通道的同一侧，所述横移输送通道上设置有可横向移动的转接输送台；转运通道，相对所述进料输送通道和所述出料输送通道设置在所述横移输送通道的另一侧；升降模组，设置在待料区，所述升降模组用于提升或降下花篮。
34.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
35.下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：
36.图1为本发明实施例的物料输送系统的俯视图；
37.图2为本发明实施例的第一送料装置和第二送料装置的结构示意图；
38.图3为本发明实施例的整平装置和筛选机械手的结构示意图；
39.图4为本发明实施例的缓存装置的结构示意图；
40.图5为本发明实施例的扫描装置和aoi检测装置的结构示意图；
41.图6为本发明实施例的来料搬运装置和回料搬运装置的结构示意图；
42.图7为本发明实施例的来料搬运装置和回料搬运装置的俯视图；
43.图8为本发明实施例的其中一种横向送料装置的结构示意图；
44.图9为本发明实施例的另一种横向送料装置的结构示意图；
45.图10为本发明实施例中四工位的激光掺杂一体机的结构示意图；
46.图11为本发明实施例中三工位的激光掺杂一体机的结构示意图；
47.图12为本发明实施例中单层的花篮供收料系统的结构示意图；
48.图13为本发明实施例中双层的花篮供收料系统的结构示意图；
49.图14为本发明实施例的激光加工平台的结构示意图。
50.附图标记：
51.机台100；第一送料装置110；第一上料线111；第一下料线112；第二送料装置120；第二上料线121；第二下料线122；横向送料装置130；横向导轨131；第一转运治具132；第二转运治具133；
52.短皮带机构210；取料装置220；皮带模组221；整平装置222；缓存装置230；升降组件231；缓存架232；挡料盒233；扫描装置240；来料搬运装置250；第一导轨251；搬运机械手252；吸盘组件253；回料搬运装置260；第二导轨261；aoi检测装置270；下料装置 280；筛选机械手281；第二回收装置290；龙门支架2221；驱动气缸2222；连接板2223；整平杆2224；缓存槽2321；
53.激光加工平台300；台座310；视觉定位机构320；激光加工机构330；
54.花篮供收料系统400；进料输送通道410；出料输送通道420；横移输送通道430；转接输送台431；转运通道440；花篮缓存通道450；
55.冷水机500；
56.除尘机600。
具体实施方式
57.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
58.在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
59.在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
60.本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所
属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
61.本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
62.下面结合附图，对本发明实施例作进一步阐述。
63.参照图1，本发明实施例提供了一种物料输送系统，应用于硅片的激光加工设备上，包括机台100，机台100上设置有第一送料装置110、第二送料装置120和至少一个的横向送料装置130。
64.如图1和图2所示，第一送料装置110包括呈平行直线设置的第一上料线111和第一下料线112，第二送料装置120包括呈平行直线设置的第二上料线121和第二下料线122。本发明的物料输送系统采用第一送料装置110和第二送料装置120两个送料装置，使硅片的上下料效率提升，且两个送料装置可独立作业，提高系统的抗风险能力；两个送料装置都采用直线式布置的上料线和下料线，输送更高效稳定；上料线和下料线平行布置，结构更紧凑。
65.参照图2，容易想到的是，在本实施例中，第一上料线111、第一下料线112、第二上料线121和第二下料线122分别由多个短皮带机构210连接组成，结构简单而紧凑。
66.参照图1至图7，第一上料线111和第二上料线121上沿输送方向，依次设置有取料装置220、缓存装置230、扫描装置240、来料搬运装置250和第一回收装置。
67.具体的，取料装置220前端设置有可伸缩的皮带模组221，皮带模组221伸出时进入待料区的花篮承接硅片，皮带模组221缩回时把硅片带回取料装置220进行输送，通过可伸缩的皮带模组221去进行取料，可代替机械手取料，简化设备结构。
68.进一步的，参照图3，在本实施例中，为了便于取料，取料装置220上还设置有整平装置222。整平装置222包括设置在取料装置220上方的龙门支架2221，龙门支架2221上设置有驱动气缸2222，驱动气缸2222的活塞杆上设置有连接板2223，连接板2223上固定设置有整平杆2224，且整平杆2224通过多个螺栓固定连接在连接板2223上，连接牢固、不易移位。整平杆2224正对待料区的花篮竖直设置。当驱动气缸2222驱动整平杆2224伸出时，整平杆2224将待料区花篮里的硅片推放平整，便于硅片进入取料装置220。
69.参照图4，缓存装置230包括升降组件231、缓存架232和挡料盒233。升降组件231连接缓存架232，并驱动缓存架232上升或下降；缓存架232中设置有若干垂直分布的硅片缓存槽2321，用于临时存放硅片；挡料盒233设置在所述缓存架232的下方。缓存装置230布置在第一上料线111和第二上料线121上，当取料装置220能正常提供送料时，硅片沿第一上料线111和第二上料线121输送，每隔3-5片硅片，升降组件231驱动缓存架232上升一次，上升的高度等于一个缓存槽2321的高度，使一片硅片跟随缓存槽2321抬升，脱离输送皮带暂存起来；当待料区的花篮进行更换时，取料装置220不能正常提供送料，升降组件231 驱动缓存架232逐次下降，将存储的硅片释放到第一上料线111和第二上料线121，即使在花篮更换的情况下，依然能保证设备的连续运作，无需停机等待，有效提高效率。当缓存装置230在动作过程中和硅片出现磕碰而产生破损或碎片时，碎片会掉落并储存在挡料盒233 内，防止碎
片沿第一上料线111和第二上料线121输送而影响设备正常工作。
70.参照图5，第一上料线111和第二上料线121的上方分别设置有扫描装置240，扫描装置 240能对硅片进行穿透性的扫描，检测硅片是否存在破损或者隐形裂缝，并把结果反馈，用于进行来料不良品的甄别。
71.参照图6和图7，来料搬运装置250包括第一导轨251，第一导轨251上设置有沿第一导轨251做直线平移的搬运机械手252，搬运机械手252包括用于吸附硅片的吸盘组件253。进一步的，在本实施例中，搬运机械手252上设置有两个吸盘组件253，能一次搬运两块硅片，提高效率。
72.第一回收装置设置在来料搬运装置250的末端，当扫描装置240检测到硅片存在破损或者隐形裂缝时，来料搬运装置250把硅片搬运到第一回收装置，通过第一回收装置对来料不良品进行回收。由于第一回收装置设置在来料搬运装置250的末端，靠近设备操作面，方便工作人员处理来料不良品。
73.参照图1至图7，第一下料线112和第二下料线122上沿输送方向，依次设置有回料搬运装置260、aoi检测装置270、缓存装置230和下料装置280。
74.参照图6和图7，回料搬运装置260包括第二导轨261，与来料搬运装置250相同的，第二导轨261上也设置有沿第二导轨261做直线平移的搬运机械手252，搬运机械手252包括两个用于吸附硅片的吸盘组件253。
75.参照图6和图7，容易理解的是，在本实施例中，为了使设备更加紧凑，来料搬运装置 250和回料搬运装置260为背靠背设置，节省支架材料和布置空间。
76.参照图5，aoi检测装置270设置在第一下料线112和第二下料线122的上方，通过aoi 检测装置270对出料前的硅片进行视觉检测，检测其尺寸大小、加工效果等情况，对经过加工后存在的不良品进行甄别并反馈。
77.参照图4，第一下料线112和第二下料线122上同样设置有缓存装置230，缓存装置230 用于暂存部分硅片，并在来料异常时，释放储存的硅片到第一下料线112和第二下料线122，保证设备的连续运作，提高效率。
78.下料装置280布置在第一下料线112和第二下料线122的末端，用于把加工后的硅片输送到待料区的花篮上。优选的，在本实施例中，下料装置280上同样设置有可伸缩的皮带模组221。当硅片输送到下料装置280时，皮带模组221伸出，把硅片送入待料区的花篮内。下料装置280采用和取料装置220基本相同的结构，可使设备更加简单、紧凑。
79.参照图3，下料装置280上布置有可横向移动的筛选机械手281，同时下料装置280的外侧设置有第二回收装置290，当加工后的硅片被aoi检测装置270检测为不良品时，筛选机械手281把不良品的硅片从下料装置280搬运到第二回收装置290进行收集。本实施例把第一回收装置和第二回收装置290分开设置，区分来料不良品与加工后不良品，优化废料处理流程。
80.进一步的，参照图1和图2，在本实施例中，优选把第一上料线111和第二上料线121 布置在内侧，把第一下料线112和第二下料线122布置在外侧。通过上述布置，进一步使第二回收装置290位于设备的外侧面，靠近设备操作面，便于工作人员处理加工后不良品。
81.参照图1，第一送料装置110和第二送料装置120分别设置在加工区的两侧，横向送料装置130穿过加工区并连接第一送料装置110和第二送料装置120，横向送料装置130设置
的数量对应加工区工位数量，每个加工工位都设置有一个横向送料装置130。优选的，横向送料装置130设置有两个或两个以上，如图1所示的实施例中设置有四个横向送料装置130，以提高输送和加工的效率；同时当其中部分横向送料装置130需要维护时，其他横向送料装置130依然可以独立工作，提高设备的抗风险能力。
82.参照图8和图9，横向送料装置130包括横向导轨131，横向导轨131上设置有第一转运治具132和第二转运治具133，第一转运治具132和第二转运治具133可沿横向导轨131进行直线平移。其中，第一转运治具132配合第一送料装置110上的来料搬运装置250和回料搬运装置260，第一转运治具132用于把硅片在第一送料装置110和加工区工位之间输送；第二转运治具133配合第二送料装置120上的来料搬运装置250和回料搬运装置260，第二转运治具133用于把硅片在第二送料装置120和加工区工位之间输送；且第一转运治具132 和第二转运治具133交替进入加工区工位。本实施例利用横向送料装置130把两个送料装置的硅片交替送入加工区工位，减少加工区工位的等待时间，提高生产效率，增加产能。
83.应理解的是，本领域技术人员可根据实际情况，设置位于横向导轨131上的第一转运治具132和第二转运治具133的数量。如图8所示，在其中一种横向送料装置130的实施例中，一个横向导轨131上只设置一个第一转运治具132和一个第二转运治具133。如图9所示，在另一种横向送料装置130的实施例中，横向导轨131上可设置有用于放置第一转运治具132 和第二转运治具133的移动支架，其中一个移动支架上设置有两个第一转运治具132，另一个移动支架上设置有两个第二转运治具133。
84.进一步的，第一转运治具132和第二转运治具133分别采用直线电机进行独立的平移驱动，高效稳定，不会出现高温形变的情况而影响到第一转运治具132和第二转运治具133的精度。
85.应当理解的是，除上述实施例的介绍外，本方案的物料输送系统还可以应用在除硅片外的其他片状物料的搬运和输送上。
86.本发明的物料输送系统采用两个送料装置，使片状物料的上下料效率提升，且两个送料装置可独立作业，提高系统的抗风险能力；直线式布置的第一送料装置110、第二送料装置 120和横向送料装置130，可利用皮带或者直线电机进行输送，无需旋转，高效稳定；利用横向送料装置130把两个送料装置的物料交替送入加工区工位，减少加工区工位的等待时间，提高生产效率，增加产能。
87.参照图10，本发明实施例提供了一种用于加工硅片的四工位的激光掺杂一体机，包括花篮供收料系统400、物料输送系统和激光加工平台300。其中的物料输送系统为本发明第一方面所述的物料输送系统。激光加工平台300内设置有四个互相独立的激光加工工位。本实施例的激光掺杂一体机采用第一方面的物料输送系统，具有两个送料装置和四个激光加工工位，两个送料装置和四个激光加工工位均可单独作业，有效提高设备的生产效率和抗风险能力，提升整体产能。
88.参照图11，本发明实施例提供的另一种用于加工硅片的三工位的激光掺杂一体机，包括花篮供收料系统400、物料输送系统和激光加工平台300。其中的物料输送系统为本发明第一方面所述的物料输送系统。激光加工平台300内设置有三个互相独立的激光加工工位。本实施例的激光掺杂一体机采用第一方面的物料输送系统，具有两个送料装置和三个激光加工工位，两个送料装置和三个激光加工工位均可单独作业，有效提高设备的生产
效率和抗风险能力，提升整体产能。
89.应当理解的是，本技术并不要求限定激光加工平台300内的激光加工工位数量，本领域技术人员可以根据实际需要设置激光加工平台300内的激光加工工位数量。考虑到效率和抗风险能力的因素，优选在激光加工平台300内设置两个或两个以上的激光加工工位。
90.进一步的，参照图14，激光加工平台300包括采用大理石制作的高精度台座310，在本实施例中，台座310上设置有四个激光加工工位。每个激光加工工位内都设置有视觉定位机构320、激光加工机构330和除尘机构。其中，视觉定位机构320用于对硅片进行视觉定位，保证激光加工不偏离位置；激光加工机构330用于对硅片进行激光掺杂加工，此外，在激光加工平台300外，设置有冷水机500用于对各个激光加工机构330进行冷却；除尘机构用于除去激光加工时产生的粉尘，在激光加工平台300外设置有除尘机600连接每个除尘机构，用于提供除尘时的负压，以及收集粉尘。为了不妨碍送料，视觉定位机构320、激光加工机构330和除尘机构都设置在横向送料装置130的上方。本实施例通过在一个激光加工工位内同时设置视觉定位机构320、激光加工机构330和除尘机构，使激光加工工位同时具有视觉定位、激光加工和除尘三大功能，解决了现有的激光加工工位功能单一的问题，结构合理紧凑，操作简便，提高工作效率。
91.参照图12，图12所示的实施例提供了一种单层的花篮供收料系统400。该花篮供收料系统400包括进料输送通道410、出料输送通道420、横移输送通道430、转运通道440和升降模组。其中，进料输送通道410、出料输送通道420、横移输送通道430和转运通道440都布置在同一层。具体的，本实施例设置的两个进料输送通道410用于把装有待加工硅片的花篮送入横移输送通道430，两个出料输送通道420用于把装有加工后硅片的花篮从横移输送通道430向外送出，且进料输送通道410和出料输送通道420都设置在横移输送通道430的同一侧，减少agv小车在送料和取料中进行周转的时间，提高效率。转运通道440设置在横移输送通道430的另一侧，与进料输送通道410和出料输送通道420相对。横移输送通道430 上设置有可横向移动的转接输送台431，转接输送台431上设置有可正反向转动的输送皮带。转接输送台431通过横向移动，分别接驳进料输送通道410、出料输送通道420或者转运通道440，通过输送皮带的正反向转动，从上述通道中承接花篮，或者把花篮送出到上述通道，可配合智能控制系统，实现花篮的智能分配输送。升降模组设置在待料区，升降模组上设置有输送用的短皮带机构，升降模组用于提升或降下花篮，配合取料装置220和下料装置280 进行工作。
92.进一步的，本实施例的花篮供收料系统400还设置有花篮缓存通道450，花篮缓存通道 450布置在转运通道440的顶部。通过升降模组把装有待加工硅片的花篮提升后，将花篮送入花篮缓存通道450暂存，当待料区中位于上料线的花篮清空了待加工的硅片后，可把花篮缓存通道450中的花篮快速送入待料区，保证设备的连续运作，提高效率。
93.进一步的，本实施例的花篮供收料系统400还能实现花篮的循环使用，具体过程如下：当待料区中位于上料线的花篮清空了待加工的硅片后，把空花篮通过转运通道440退出到横移输送通道430的转接输送台431上，再把转接输送台431横移到待料区中相对下料线的位置，通过该位置的转运通道440把空花篮向前输送到待料区中的下料线位置，从而承接下料装置280送来的加工后的硅片。
94.参照图13，图13所示的实施例提供了另一种双层的花篮供收料系统400。该花篮供
收料系统400包括进料输送通道410、出料输送通道420、横移输送通道430、转运通道440和升降模组。其中，进料输送通道410布置在上层，出料输送通道420布置在下层，且上层和下层都设置有横移输送通道430和转运通道440。装有待加工硅片的花篮从上层的进料输送通道410经过横移输送通道430和转运通道440直接送入待料区的上料线；装有加工后硅片的花篮从待料区的下料线经过下层的转运通道440和横移输送通道430后，通过出料输送通道 420送出。
95.此外，在图13所示的实施例中，下层的转运通道440上设置有可升降的横移输送带。当横移输送带升起时，空花篮可直接在转运通道440上进行横移，从上料线的位置移动到下料线位置，完成花篮的循环使用。
96.本发明的激光掺杂一体机采用第一方面的物料输送系统，具有两个送料装置和多个激光加工工位，两个送料装置和多个激光加工工位均可单独作业，有效提高设备的生产效率和抗风险能力，提升整体产能。此外，上述激光掺杂一体机还具有结构紧凑、高效稳定、提升硅片合格率、方便人员操作的优点。
97.上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。