加料机对位底座及使用其的加料系统的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能和半导体加工技术领域，尤其涉及一种加料机对位底座及使用其的加料系统。


背景技术：

2.太阳能和半导体加工过程中经常需要用加料机对单晶炉进行加料；要求实现加料机与单晶炉的炉筒的快速与准确对接。现有技术中通常采用移动设备把加料机移动到晶炉的炉筒旁边，使加料机前的波纹管中心与晶炉的炉筒上配置的插板阀中心基本重合，其要求重合精度一般在正负5mm以内，而目前移动设备比如agv车定位精度只有厘米级，满足不了要求。在此情况下，为了尽可能地满足重合精度，可能需要使用agv车定位来回多次操作来提高对位精度，整体的操作过程不仅比较繁琐，而且其过程中的精度还是无法有效控制。


技术实现要素：

3.本实用新型的第一目的是提供一种加料机对位底座，以解决提高加料机对接操作的精度的技术问题。
4.本实用新型的第二目的是提供一种加料系统，以解决提高加料机与单晶炉的对接操作的精度的技术问题。
5.本实用新型的加料机对位底座是这样实现的：
6.一种加料机对位底座，包括：
7.支承底板，所述支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球；
8.限位组件，其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构；其中所述活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。
9.在本实用新型可选的实施例中，在所述支承底板上设有四个万向球，且四个万向球分别位于一矩形结构的四个端角处。
10.在本实用新型可选的实施例中，所述固定限位结构包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的至少一个第一滚轮；以及
11.所述第一滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第一滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。
12.在本实用新型可选的实施例中，所述活动限位结构包括与所述支承底板滑动配合的活动板和设于活动板朝向加料机一侧端上的至少一个第二滚轮；以及
13.所述第二滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第二滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。
14.在本实用新型可选的实施例中，所述活动板与支承底板之间设有适于驱动该活动板做垂直于加料机运动方向的驱动组件。
15.在本实用新型可选的实施例中，所述驱动组件包括与所述活动板固连的滑块、设于支承底板上的且与所述滑块滑动配合的一对滑轨，以及与所述活动板背离加料机的底端面固连的伸缩驱动件。
16.在本实用新型可选的实施例中，所述伸缩驱动件采用伸缩气缸。
17.在本实用新型可选的实施例中，在所述支承底板朝向加料机的顶端面还设有凸起的适于与加料机底端接触配合的阻尼座；以及
18.所述阻尼座采用弹性材质制成。
19.在本实用新型可选的实施例中，所述加料机对位底座还包括在支承底板背离加料机的底端面设有的多个支撑腿。
20.本实用新型的加料系统是这样实现的：
21.一种加料系统，包括：所述的加料机对位底座、设于所述加料机对位底座上的加料机，以及放置在加料机对位底座旁侧的以适于与加料机对接的单晶炉。
22.采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：本实用新型的加料机对位底座及使用其的加料系统，将支承底板按照加料机与单晶炉的对位精度来准确地固定其位置，由于支承底板整体的结构简单，不像加料机本身结构复杂，重量较大，故而将支承底板与单晶炉之间精确对位的操作难度小，精确度可控。待支承底板固定到位后，通过移动设备例如运转小车将加料机放置在支承底板上，此时的移动设备只需要将加料机大致运送放置在支承底板上即可，不需要考虑加料机与单晶炉之间的对位精度问题。综上，也即可以通过支承底板来实现加料机与单晶炉之间进行对接操作的过渡衔接作用，从而降低对接精度的控制难度，以最终提高操作的便捷性以及对接的精确度。
附图说明
23.图1为本实用新型的加料机对位底座的第一视角下的整体结构示意图；
24.图2为本实用新型的加料机对位底座的第二视角下的整体结构示意图；
25.图3为本实用新型的加料机对位底座的第三视角下的整体结构示意图；
26.图4为本实用新型的加料系统的整体结构示意图。
27.图中：支承底板1、万向球11、第一滚轮2、活动板3、第二滚轮4、滑轨51、滑块52、伸缩气缸53、支撑腿6、阻尼座7。
具体实施方式
28.为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
29.实施例1：
30.请参阅图1至3所示，本实施例提供了一种加料机对位底座，包括：支承底板1和设于支承底板1上的限位组件。
31.具体来说，在支承底板1的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球11；结合附图以一种可选的情况举例来说，本实施例在支承底板1上设有四个万向球11，且四个万向球11分别位于一矩形结构的四个端角处。通过四个端角处分别设置的万向球11来起到对于加料机8的平衡支撑，且四个万向球11与加料机8之间可以形成滚动摩擦式
的配合。
32.限位组件，其包括在支承底板1上沿着加料机8运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构；其中活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机8的夹紧和释放。需要加以说明的是，此处加料机的运动方向指的是加料机8在与单晶炉9进行对接操作时的运动方向，通过限位组件的设置来起到对于加料机8的运动方向的侧端面的限位，使得加料机8在与单晶炉9对接的时候防止出现位置的偏移而影响到加料机8与单晶炉9的对接的精度。
33.再详细来说，固定限位结构在支承底板1上是固定不变的，而活动限位结构则是可以做相对于固定限位结构的相向和相离运动，当活动限位结构与固定限位结构做相向运动时，可以实现对于加料机8的侧向夹紧；而当动限位结构与固定限位结构做相离运动时，则是可以解除对于加料机8的侧向夹紧。
34.接下来结合附图举例一种可选的情况来说，固定限位结构包括在支承底板1上沿着加料机8运动方向的其中一个侧端面设有的两个间隔设置且结构相同的第一滚轮2；需要加以说明的是，第一滚轮2的轴线与支承底板1垂直以使得第一滚轮2适于与加料机的侧壁形成该加料机8运动方向的滚动摩擦。也就是说第一滚轮2虽然可以实现对于加料机8的侧向的夹紧，但是可以通过滚动摩擦来形成对于加料机8的运动方向的助推力，而不会影响第一滚轮2的设置而限制加料机8的运动阻力。
35.再者来说，本实施例采用的活动限位结构包括与支承底板1滑动配合的活动板3和设于活动板3朝向加料机一侧端上的间隔分布的两个结构相同的第二滚轮4；需要加以说明的是，第二滚轮4的轴线与支承底板1垂直以使得第二滚轮4适于与加料机的侧壁形成该加料机8运动方向的滚动摩擦。也就是说第二滚轮4虽然可以实现对于加料机的侧向的夹紧，但是可以通过滚动摩擦来形成对于加料机8的运动方向的助推力，而不会影响第二滚轮4的设置而限制加料机8的运动阻力。
36.对于活动板3与支承底板1之间的滑动配合是通过如下方式实现的：
37.活动板3与支承底板1之间设有适于驱动该活动板3做垂直于加料机8运动方向的驱动组件。
38.举例一种可选的情况来说，本实施例采用的驱动组件包括与活动板3固连的滑块52、设于支承底板1上的且与滑块52滑动配合的一对滑轨51，以及与活动板3背离加料机8的底端面固连的伸缩驱动件。此处的伸缩驱动件采用例如但不限于伸缩气缸53。
39.当然还需要加以说明的是，本实施例的加料机对位底座还包括在支承底板1背离加料机8的底端面设有的多个支撑腿6，使得支承底板1可以稳固地支撑在地面上。
40.综上，关于本实施例的加料机对位底座具体的实施原理如下：
41.将支承底板1按照加料机8与单晶炉9的对位精度来准确地固定其位置，由于支承底板1整体的结构简单，不像加料机本身结构复杂，重量较大，故而将支承底板1与单晶炉9之间精确对位的操作难度小，精确度可控。
42.待支承底板1固定到位后，通过移动设备例如运转小车将加料机8放置在支承底板1上，此时的移动设备只需要将加料机8大致运送放置在支承底板1上即可，不需要考虑加料机8与单晶炉9之间的对位精度问题。
43.加料机8放置到支承底板1上之后，移动设备撤离加料机8，此时通过伸缩驱动件配
合活动板3和第二滚轮4来将加料机8向第一滚轮2所在侧移动，由于支承底板1上的万向球11，使得加料机与万向球11之间形成滚动摩擦，因此第二滚轮4可以通过伸缩驱动件来快速地实现加料机箱向第一滚轮2移动的效果。随着活动板3和第二滚轮4的作用，直至第一滚轮2和第二滚轮4可以分别从加料机8的活动方向的两个侧端面的实现对于加料机8的夹紧，此时由于支承底板1与单晶炉之间是精确对位的，因为，当加料机8被第一滚轮2和第二滚轮4夹紧后，也即精确完成了加料机8与单晶炉9的对位操作，在完成加料机8与单晶炉9之间的精确定位后，即可通过加料机8向单晶炉9方向的运动来实现加料机8与单晶炉9之间的精确对接操作了。
44.实施例2：
45.请参阅图1至图3所示，在实施例1的加料机对位底座的基础上，本实施例提供的加料机对位底座还做出了如下改进设计：
46.在支承底板1朝向加料机8的顶端面还设有凸起的适于与加料机8底端接触配合的阻尼座7；以及阻尼座7采用弹性材质制成。此处的弹性材质可选采用例如但不限于橡胶。
47.本实施例通过设置的阻尼座7，主要用于对加料机8向单晶炉9方向运动时形成对于加料机8的一定的运动阻力，而此处设置运动阻力的原因在于，加料机8的底端面与支承底板1之间通过万向球11形成的是滚动摩擦，第一滚轮2与第二滚轮4与加料机8的侧端面形成的是滚动摩擦，如此情况下，为了避免加料机8与单晶炉9之间的对接速度过快而导致对接操作工序与加料机8的运动进程不对等，本实施例通过阻尼座7来起到对于加料机8运动过程的缓冲作用，从而提高加料机8的运动进程与对接操作的进程的适配性，以更好地完成加料机8与单晶炉9之间的对接操作。
48.实施例3：
49.请参阅图4所示，在实施例1或者实施例2的加料机对位底座的基础上，本实施例提供了一种加料系统，包括：实施例1或者实施了2的加料机对位底座、放置在加料机对位底座上的加料机8，以及设于加料机对位底座旁侧的以适于与加料机8对接的单晶炉9。
50.以上的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
51.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
52.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
53.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者
是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
54.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
55.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。