技术特征：
1.一种吊装机械臂，其特征在于，该吊装机械臂用于安装在等离子体刻蚀设备上，包括：平移装置和起吊装置；所述起吊装置的一端与所述平移装置的一端连接安装，所述平移装置的另一端与等离子体刻蚀设备相连，待吊装部件安装于所述起吊装置的另一端；所述起吊装置带动所述待吊装部件在垂直方向移动；所述平移装置通过起吊装置使所述待吊装部件在水平面上移动。2.如权利要求1所述的吊装机械臂，其特征在于，所述平移装置包括第一平移臂和与所述第一平移臂的一端连接的第一转动结构；所述第一平移臂的另一端连接安装所述起吊装置，所述第一平移臂可围绕所述第一转动结构在水平面上转动。3.如权利要求2所述的吊装机械臂，其特征在于，所述平移装置还包括第二平移臂和与所述第二平移臂的一端连接的第二转动结构；所述第二平移臂的另一端与所述第一转动结构固定连接，所述第二平移臂可围绕所述第二转动结构在水平面上转动。4.如权利要求2所述的吊装机械臂，其特征在于，所述平移装置还包括依次设置的至少两个第二平移臂和至少两个第二转动结构；相邻的两个所述第二平移臂之间通过一所述第二转动结构连接；在所述至少两个第二平移臂中，位于所述平移装置第一侧端部的一所述第二平移臂与所述第一转动结构固定连接，位于所述平移装置第二侧端部的另一所述第二平移臂与另一所述第二转动结构连接；每个所述第二平移臂可围绕与其连接的第二转动结构在水平面上转动。5.如权利要求3或4所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第二平移臂为镂空结构。6.如权利要求3至4中任一项所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第一转动结构和/或所述第二转动结构上设置有定位结构。7.如权利要求3所述的吊装机械臂，其特征在于，该吊装机械臂还包括基座；所述平移装置通过所述基座安装于等离子体刻蚀设备。8.如权利要求7所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第二转动结构通过所述基座安装在等离子体刻蚀设备上。9.如权利要求4所述的吊装机械臂，其特征在于，该吊装机械臂还包括基座；所述平移装置通过所述基座安装于等离子体刻蚀设备。10.如权利要求9所述的吊装机械臂，其特征在于，位于所述平移装置第二侧端部的一个所述第二转动结构通过所述基座安装在等离子体刻蚀设备。11.如权利要求2所述的吊装机械臂，其特征在于，所述起吊装置包括支撑结构、鼓轮、绳体、定滑轮和第三驱动机构；所述支撑结构的一端连接第一平移臂，另一端安装定滑轮；所述第三驱动机构安装在所述第一平移臂上，且其输出端与所述鼓轮连接；所述绳体的一端固定绕设于所述鼓轮，另一端绕设于所述定滑轮后连接待吊装部件；所述第三驱动机构驱动所述鼓轮转动，带动绳体另一端上的待吊装部件上升或下降。12.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第三驱动机构为手动第三驱动机构和/或电动第三驱动机构。13.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第三驱动机构上设置有防尘罩。14.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第三驱动机构上设置有自锁机构。
15.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述支撑结构包括通过固定件连接的多个连接架体。16.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述鼓轮、和/或定滑轮、和/或绳体为非金属材料。17.如权利要求11所述的吊装机械臂，其特征在于，所述第一平移臂、第二平移臂和/或支撑结构为铝合金材料。
技术总结
本实用新型公开了一种吊装机械臂，该吊装机械臂安装于等离子体刻蚀设备；该吊装机械臂包括平移装置和起吊装置；所述起吊装置的一端与所述平移装置的一端连接安装，所述平移装置的另一端与等离子体刻蚀设备相连，待吊装部件安装于所述起吊装置的另一端；所述起吊装置带动所述待吊装部件在垂直方向移动；所述平移装置通过起吊装置带动所述待吊装部件在水平面上移动。本发明能够安装在等离子体刻蚀设备上，便于待吊装部件的拆卸，减小因操作不便带来的使用风险。来的使用风险。来的使用风险。
技术研发人员：苏宜龙 陈妙娟
受保护的技术使用者：中微半导体设备（上海）股份有限公司
技术研发日：2022.05.11
技术公布日：2022/11/1