一种100级无尘室的膜回收装置的制作方法

1.本实用新型属于膜回收装置领域，尤其涉及一种100级无尘室的膜回收装置。


背景技术：

2.机械硬盘顶盖零件需要贴附一个高效过滤器，该过滤器带有一层保护膜，需要将保护膜撕掉并收集起来，现有膜回收桶是圆形的，桶盖一进一出接两根气管，膜回收桶的顶盖内侧有密封圈，通过三个螺丝固定密封，膜通过其中一根气管吸入，然后掉落在回收桶内，实现膜的回收，而膜回收桶、桶盖及锁紧把手都是金属材质，当拆卸桶盖或者把手的时候会有摩擦从而产生金属颗粒粉尘，对 100级无尘室洁净度的控制带来隐患，另外当膜收集满后，需要拆开桶盖，但是桶盖上方安装有一进一出两根气管，拆卸不方便，而且需要将膜回收桶整体拿走才能将回收的膜清理干净，每次清理膜耗费时间比较长。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种100级无尘室的膜回收装置，旨在解决现有技术中的膜回收桶在膜收集满后，需要拆开桶盖，但是桶盖上方安装有一进一出两根气管，拆卸不方便，而且需要将膜回收桶整体拿走才能将回收的膜清理干净，每次清理膜耗费时间比较长的技术问题。
4.本实用新型是这样实现的，一种100级无尘室的膜回收装置，所述膜回收装置包括组成密封抽屉结构的膜回收外盒及膜回收内盒，设置在所述膜回收外盒顶部上且与所述膜回收外盒连通的膜导入接头及膜过滤网接头，进气口通过第一真空管连接所述膜过滤网接头的流量开关阀，及设置在所述流量开关阀出气口上用于连接外部负压口或真空泵的第二真空管。
5.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜导入接头上设置有用于连接外部撕膜机构膜导入件的第三真空管。
6.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收外盒及所述膜回收内盒上用于将所述膜回收内盒锁止在所述膜回收外盒上的锁止单元。
7.本实用新型的进一步技术方案是：所述锁止单元包括若干设置在所述膜回收外盒两侧上的螺纹固定块，及若干设置在所述膜回收内盒两侧上且与所述螺纹固定块配合使用的锁紧螺栓。
8.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收内盒上用于将所述膜回收内盒在所述膜回收外盒上拉出的把手。
9.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收内盒底部两侧上用于拖住所述膜回收内盒的垫块。
10.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜过滤网接头为带有小孔与凸起棱的膜过滤网接头。
11.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收外盒
底部的安装板，及若干设置在所述安装板上用于支撑所述安装板的安装立柱。
12.本实用新型的进一步技术方案是：所述膜回收外盒的开口端上设置有用于放置密封圈进行所述膜回收内盒与所述膜回收外盒密封的密封槽。
13.本实用新型的进一步技术方案是：所述第一真空管、所述第二真空管及所述第三真空管均通过喉箍进行固定；所述膜回收内盒底部设置有若干通气孔；所述膜回收内盒采用防静电材料及sus304材料制成，所述膜回收外盒采用防静电材料制成。
14.本实用新型的有益效果是：此种膜回收装置符合100级无尘室的要求，低发尘量，适用于晶圆，半导体，存储等行业，采用分体式结构，可以快速更换，减少对生产的影响，膜回收内盒底部带有通气孔，方便直接用气枪将膜清理干净，膜回收内盒与膜回收外盒采用防静电材料及sus304材料制成，避免静电累积导致膜被粘住，配有流量开关阀，当膜回收内盒里面的膜收集满后，流量会变小进而装置会提示清理膜回收内盒，膜回收内盒与膜回收外盒采用密封圈整体密封，使得密封性能好，并且整个装置使用的材料和标准件均符合100级无尘等级要求。
附图说明
15.图1是本实用新型实施例提供的一种100级无尘室的膜回收装置的结构图；
16.图2是本实用新型实施例提供的一种100级无尘室的膜回收装置的分解图；
17.图3是本实用新型实施例提供的一种100级无尘室的膜回收装置的膜回收内盒的结构图。
具体实施方式
18.附图标记：1-膜回收外盒 2-膜回收内盒 3-膜导入接头 4-膜过滤网接头5-流量开关阀 6-第一真空管 7-第二真空管 8-第三真空管 9-锁止单元 10-螺纹固定块 11-锁紧螺栓 12-把手 13-垫块 14-安装板 15-安装立柱 16-密封槽 17
‑ꢀ
密封圈 18-喉箍 19-通气孔 20-盒体 21-盖板。
19.图1-3示出了本实用新型提供的一种100级无尘室的膜回收装置，所述膜回收装置包括组成密封抽屉结构的膜回收外盒1及膜回收内盒2，设置在所述膜回收外盒1顶部上且与所述膜回收外盒1连通的膜导入接头3及膜过滤网接头4，进气口通过第一真空管6连接所述膜过滤网接头4的流量开关阀5，及设置在所述流量开关阀5出气口上用于连接外部负压口或真空泵的第二真空管7；所述膜导入接头3上设置有用于连接外部撕膜机构膜导入件的第三真空管8；所述第一真空管6、所述第二真空管7及所述第三真空管8均通过喉箍18进行固定；所述膜回收内盒2底部设置有若干通气孔19；所述膜回收内盒2采用防静电材料及sus304材料制成，所述膜回收外盒1采用防静电材料制成；所述膜过滤网接头4为带有小孔与凸起棱的膜过滤网接头4；所述膜回收外盒1的开口端上设置有用于放置密封圈17进行所述膜回收内盒2与所述膜回收外盒1密封的密封槽 16。真空管采用喉箍18进行固定是为了将真空管抱紧避免过多的漏气或者脱落，设置有若干通气孔19是为了方便直接用气枪将膜清理干净，流量开关阀5的作用是检测真空管路的流量变化，如果膜回收内盒2里面已经装满了膜那么膜会堵塞住真空管气路，这个时候流量就会变小，便提示操作员清理膜回收内盒2里面带的膜，在膜回收外盒1的密封槽16内放置密封圈17是对膜回收内盒2与膜回收外
盒1进行密封避免真空过多的漏掉，而膜回收内盒2的内部盒体20是采用 sus304材料制成，sus304材料制成为不锈钢，外部盖板21是采用防静电材料制成，膜过滤网接头4设计成带有小孔及凸起的棱的结构是为了可以通过真空，但是膜通不过，防止膜被抽出，在使用的时候将外部撕膜机构膜导入件连接在第三真空管8上，将外部负压口或真空泵连接在第二真空管7上，使密封抽屉结构工作在负压状态下，负压会将膜通过第三真空管8吸入进密封抽屉结构内，由于膜被膜过滤网接头4阻挡住，因此会回落到密封抽屉结构的膜回收内盒2内，当流量开关阀5感应到流量低于预先设置的值时，操作员将膜回收内盒2取下，然后将膜回收内盒2里面的膜清理掉，然后再将膜回收内盒2放回膜回收外盒1 内，即可在进行膜回收。
20.所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收外盒1及所述膜回收内盒2上用于将所述膜回收内盒2锁止在所述膜回收外盒1上的锁止单元9；所述锁止单元9包括若干设置在所述膜回收外盒1两侧上的螺纹固定块10，及若干设置在所述膜回收内盒2两侧上且与所述螺纹固定块10配合使用的锁紧螺栓11。通过锁止单元9的螺纹固定块10与锁紧螺栓11配合将膜回收内盒2与膜回收外盒1 进行锁定，防止因为工作时发生膜回收内盒2滑出，另外通过手动拧紧即可将膜回收内盒2固定在膜回收外盒1上，不需要要采用工具即可方便的将膜回收内盒 2拆卸。
21.所述膜回收装置还包括设置在所述膜回收内盒2上用于将所述膜回收内盒2在所述膜回收外盒1上拉出的把手12；还包括设置在所述膜回收内盒2底部两侧上用于拖住所述膜回收内盒2的垫块13；还包括设置在所述膜回收外盒1 底部的安装板14，及若干设置在所述安装板14上用于支撑所述安装板14的安装立柱15。通过安装板14与安装立柱15的配合使得整个装置可以固定在设备里面或者是放置在设备外面，而安装板14与安装立柱15均是采用铝合金材料制成，设置把手12是为了方便操作员将膜回收内盒2抽出，设置垫块13是为了防止在清理膜的时候将膜回收内盒2放在工作台上与台面的金属摩擦产生粉尘，垫块13采用防静电材料制成，所有的防静电材料均为防静电pom材料。
22.此种膜回收装置符合100级无尘室的要求，低发尘量，适用于晶圆，半导体，存储等行业，采用分体式结构，可以快速更换，减少对生产的影响，膜回收内盒底部带有通气孔，方便直接用气枪将膜清理干净，膜回收内盒与膜回收外盒采用防静电材料及sus304材料制成，避免静电累积导致膜被粘住，配有流量开关阀，当膜回收内盒里面的膜收集满后，流量会变小进而装置会提示清理膜回收内盒，膜回收内盒与膜回收外盒采用密封圈整体密封，使得密封性能好，并且整个装置使用的材料和标准件均符合100级无尘等级要求。
23.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。