一种光学掩模运输盒的制作方法

1.本实用新型涉及光学器件打包技术领域，特别涉及一种光学掩模运输盒。


背景技术：

2.在微电子等需要光刻图形工艺的领域中，光学掩模是不可少的工具。现有光学掩模的收纳包装盒，例如公开号为cn202244461u的中国专利，其是在盒内设置局部的支撑结构，以对光学掩模的表面进行接触支撑。虽然光学掩模用于支撑的接触面一般不会设有图形结构，但是光学掩模的可利用面积被减少了。此外，在拿取光学掩模时，光学掩模的表面可能会与支撑结构发生碰撞、摩擦，损伤表面的图形结构膜层。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种光学掩模运输盒，能够包装固定光学掩模，且不会接触光学掩模的表面，避免划伤图形结构膜层。
4.根据本实用新型实施例的光学掩模运输盒，包括：盒体，所述盒体表面开设有放置腔，所述放置腔的底部设有凹面；
5.盒盖，所述盒盖与所述盒体相适配连接，所述盒盖与所述盒体相配合的一面上设有向外凸起的定位环，所述定位环能够伸入所述放置腔中，所述定位环的内径由外侧朝向所述盒盖的盖面方向平滑缩小。
6.根据本实用新型实施例的光学掩模运输盒，至少具有如下技术效果：放置腔用于放置直径小于定位环内径的光学掩模；光学掩模置于放置腔内，由于放置腔的底部设有凹面，光学掩模的表面不会与放置腔的底部接触，而是通过底部凹面与光学掩模的边棱接触支撑；盒体与盒盖配合后，由于定位环的内径由外侧朝向盒盖的盖面方向平滑缩小，光学掩模也是通过边棱与定位环的内侧壁接触；光学掩模位于盒盖与盒体之间，始终保持边棱接触支撑，以保护光学掩模表面的图形结构膜层不被划伤。
7.在本实用新型的一些实施例中，所述放置腔的内侧壁上设有内螺纹，所述定位环的外侧壁上设有外螺纹，使得所述盒盖与所述盒体之间通过螺纹连接。
8.在本实用新型的一些实施例中，所述盒体和所述盒盖的外侧壁上分别设有防滑结构。
9.在本实用新型的一些实施例中，所述防滑结构为竖状纹路或网格纹路。
10.在本实用新型的一些实施例中，所述定位环远离盒盖的一端设有倒角。
11.在本实用新型的一些实施例中，所述放置腔的内侧壁远离底部的一端设有倒角。
12.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
13.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
14.图1为本实用新型实施例的结构示意图；
15.图2为本实用新型实施例的正视图。
16.附图标记：
17.盒体100、放置腔110、盒盖200、定位环210、防滑结构300。
具体实施方式
18.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
19.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
20.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
21.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
22.参照图1和图2所示，根据本实用新型实施例的光学掩模运输盒，包括：盒体100，盒体100表面开设有放置腔110，放置腔110的底部设有凹面；
23.盒盖200，盒盖200与盒体100相适配连接，盒盖200与盒体100相配合的一面上设有向外凸起的定位环210，定位环210能够伸入放置腔110中，定位环210的内径由外侧朝向盒盖200的盖面方向平滑缩小。
24.放置腔110用于放置直径小于定位环210内径的光学掩模；光学掩模置于放置腔110内，由于放置腔110的底部设有凹面，光学掩模的表面不会与放置腔110的底部接触，而是通过底部凹面与光学掩模的边棱接触支撑；盒体100与盒盖200配合后，由于定位环210的内径由外侧朝向盒盖200的盖面方向平滑缩小，即定位环210的内侧壁形成斜面，光学掩模也是通过边棱与定位环210的内侧壁接触；光学掩模位于盒盖200与盒体100之间，始终保持边棱接触支撑，以保护光学掩模表面的图形结构膜层不被划伤。
25.使用时，打开盒盖200，将盒体100平放，手拿光学掩模的侧边，由上而下置于盒体100内的放置腔110中，使得光学掩模的边棱与底部的凹面接触，并尽量将光学掩模放置于放置腔110的居中位置；然后拿起盒盖200由上而下水平合拢，并保持定位环210对准光学掩模，使得光学掩模位于定位环210的中心位置，合拢后，光学掩模的边棱也与定位环210的内
侧壁接触；盒盖200和盒体100将光学掩模夹持在内，起到保护作用的同时也不会划伤表面。
26.在本实用新型的一些实施例中，放置腔110的内侧壁上设有内螺纹，定位环210的外侧壁上设有外螺纹，使得盒盖200与盒体100之间通过螺纹连接。
27.盒盖200与盒体100之间通过螺纹连接，可以无极调节盒盖200与盒体100之间的距离。相同直径大小的光学掩模，根据不同的需求，其厚度会不同，放置于放置腔110后，导致盒盖200与盒体100将光学掩模夹持后，其间距不同。螺纹连接能够很好地无极调节间距，使得盒盖200与盒体100能够适用不同厚度的光学掩模。
28.在本实用新型的一些实施例中，盒体100和盒盖200的外侧壁上分别设有防滑结构300。
29.盒体100和盒盖200的外侧壁上分别设有防滑结构300，能够更好的固定盒体100，开启盒盖200，优选地，防滑结构300为竖状纹路或网格纹路，这些结构更便于在盒体100和盒盖200的外侧壁上加工出来。
30.在本实用新型的一些实施例中，定位环210远离盒盖200的一端设有倒角。
31.定位环210上设有倒角，使得在合拢盒盖200时，能将光学掩模导向进定位环210中心，避免棱角磕碰光学掩模。
32.在本实用新型的一些实施例中，放置腔110的内侧壁远离底部的一端设有倒角。
33.放置腔110设有倒角，便于合拢盒盖200时，定位环210被导向对齐放置腔110中心，进而使得光学掩模再置于定位环210中心。
34.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。