一种硅片镀膜托盘的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜托盘技术领域，具体为一种硅片镀膜托盘。


背景技术：

2.硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。
3.因为硅片易碎性质，一般的托盘在放置硅片时无法对硅片进行固定，所以无法对硅片进行镀膜操作，现有固定装置一般都是通过挤压，但是挤压会容易造成硅片的破碎。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片镀膜托盘，用于解决现有技术中托盘在放置硅片时无法对硅片进行固定，所以无法对硅片进行镀膜操作，现有固定装置一般都是通过挤压，但是挤压会容易造成硅片的破碎的问题。
5.为实现以上目的，本实用新型提供的硅片镀膜托盘，包括托盘，所述托盘的上表面开设有若干放置槽，所述托盘的上表面开设有若干拿取槽，每个拿取槽分别与相应的放置槽相贯通，每个所述放置槽的内部开设有若干通孔，所述托盘的上表面固定安装有若干支板。
6.可选的，其中两个所述支板的一侧表面固定安装有阻尼转轴，所述阻尼转轴的表面固定安装有固定板，所述固定板的一侧表面固定安装有柔性块，可以通过阻尼转轴的旋转，可以固定板在阻尼转轴上进行旋转，然后使得固定板上的海绵对硅片达到一定的固定作用。
7.可选的，所述通孔的内部固定安装有固定管，所述固定管的上表面固定安装有支撑吸盘，所述支撑吸盘的上表面固定安装有密封圈。
8.可选的，所述托盘的下表面开设有凹槽，所述凹槽下表面的两侧均固定安装有支柱。
9.可选的，所述托盘的下表面开设有凹槽，所述凹槽下表面的两侧均固定安装有支柱。
10.可选的，两个所述支柱的表面固定安装有凸块，所述凸块内部开设有螺纹槽，所述凸块通过螺纹槽螺纹连接有限位螺栓，所述限位螺栓的长度小于螺纹槽的长度。
11.可选的，所述凸块的一侧表面开设有滑槽，所述滑槽与螺纹槽相贯通，所述滑槽内部滑动连接有卡块，所述卡块的一侧表面为斜面，向里扭动螺栓，通过螺栓的挤压使得卡块向外移动，从而可以卡接在气泵上，起到固定气泵的作用。
12.可选的，所述托盘的上表面开设有3个放置槽。
13.可选的，每个放置槽的内部开设有3个通孔。
14.本实用新型提供的硅片镀膜托盘方案通过通孔、固定管、支撑吸盘、密封圈的设置，传统对硅片的固定装置是通过挤压的方式，当压力过大会非常容易的将硅片压碎，可以将硅片放置在支撑吸盘上，然后气泵的吸力经过固定管和支撑吸盘，使得硅片可以被吸附在吸盘上，密封圈可以使得气泵的吸力加强对硅片的固定作用，代替了传统的对硅片进行按压的固定方式，有效的避免了硅片因按压或者挤压导致破裂的情况发生，从而减轻了工作人员的工作压力，同时减少了更换硅片带来的资金损耗。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其他的实施附图。
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型俯视的结构示意图；
18.图3为本实用新型剖面的结构示意图；
19.图4为本实用新型固定管、支撑吸盘和密封圈的结构示意图。
20.图中：1、托盘；2、放置槽；3、拿取槽；4、通孔；5、支板；6、阻尼转轴；7、固定板；8、柔性块；9、固定管；10、支撑吸盘；11、密封圈；12、凹槽；13、支柱；14、凸块；15、限位螺栓；16、螺纹槽；17、卡块。
具体实施方式
21.本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容的能涵盖的范围内。
22.请参阅图1至图2，本实例给出的硅片镀膜托盘整体包括一个托盘1，该托盘1的上表面开设有放置槽2，放置槽2的数量为三个。
23.托盘1的上表面开设有拿取槽3，拿取槽3的数量为三个，每个拿取槽3 分别与每个放置槽2相贯通。
24.进一步的，本实例在每个放置槽2的内部开设有通孔4，通孔4的数量优选为为三个，这样在整个托盘1中通孔4的总共数量为九个。
25.进一步的，本实例还在托盘1的上表面固定安装有支板5，支板5的数量为十二个。
26.参见图1，其中两个支板5的一侧表面固定安装有阻尼转轴6，阻尼转轴 6的表面固定安装有固定板7，固定板7的一侧表面固定安装有柔性块8，可以通过阻尼转轴的旋转，可以固定板在阻尼转轴上进行旋转，然后使得固定板上的海绵对硅片达到一定的固定作用。
27.进一步结合图3与图4所示，本实例在通孔4的内部固定安装有固定管9，固定管9的上表面固定安装有支撑吸盘10，支撑吸盘10的上表面固定安装有密封圈11。
28.进一步参见图3，本实例在托盘1的下表面开设有凹槽12，凹槽12下表面的两侧均固定安装有支柱13，托盘1的下表面开设有凹槽12，凹槽12下表面的两侧均固定安装有支柱13。
29.两个支柱13的表面固定安装有凸块14，凸块14内部开设有螺纹槽16，凸块14通过螺纹槽16螺纹连接有限位螺栓15，限位螺栓15的长度小于螺纹槽的长度。
30.凸块14的一侧表面开设有滑槽，滑槽与螺纹槽16相贯通，滑槽内部滑动连接有卡块17，卡块17的一侧表面为斜面，向里扭动螺栓，通过螺栓的挤压使得卡块向外移动，从而可以卡接在气泵上，起到固定气泵的作用。
31.为了进一步说明本实用新型的方案，以下结合本硅片镀膜托盘的具体构成，说明一下其运行过程。
32.结合图1-图3，基于前述方案构建相应的硅片镀膜托盘，该硅片镀膜托盘在具体应用时，工作人员将硅片放置到放置槽2内底壁上的固定管9上的支撑吸盘11上的密封圈11上；
33.然后通过阻尼转轴6然后旋转固定板7，使得柔性块8可以紧密贴合于硅片的表面，达到一定的限位作用；
34.然后向里扭动支柱13上的凸块14上的限位螺栓15，使得限位螺栓15在螺纹槽16的内部向前移动，同时限位螺栓15对卡块17的一侧表面进行挤压，使得卡块17向外部凸起，从而达到对气泵的限位固定；
35.然后气泵进行吸气，经过固定管9、支撑吸盘10，对密封圈11上表面的硅片产生吸力，达到固定作用，避免了挤压对硅片造成破碎的情况，镀膜完成之后，通过拿取槽3将硅片取走。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。