一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置的制作方法

1.本实用新型涉及钙钛矿太阳能蒸镀机技术领域，具体是一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置。


背景技术：

2.钙钛矿型太阳能电池(perovskite solar cells)，是利用钙钛矿型的有机金属卤化物半导体作为吸光材料的太阳能电池该，相比传统太阳能电池具有更高的效率。异质结太阳能电池主要使用磁控溅射工艺进行膜层沉积，而钙钛矿太阳能电池制程工艺为提高光电转换效率主要光吸收层材料为钙钛矿材料，使用蒸发镀膜的工艺路线可以提高成膜效率，获得高质量膜层质量及更优均一性，因此钙钛矿太阳能电池制程工艺逐渐向蒸发镀膜方向发展；
3.现有技术的传动载体为传送带或其它传送方案用于基板传送，承载能力差无法完成大尺寸tray盘运送；传送结构多采用多级齿轮啮合传动，噪音及发尘量大，影响运行环境及产品良率；传送结构为整体性，不具备模块化互换性，不利于升级改造。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置，包括伺服系统、传动轴以及至少一个传输模组，所述伺服系统与所述传动轴联接，所述传输模组包括传送箱、传动轴组、主轴和传送轮，所述主轴转动穿设在所述传送箱上，并通过正交齿轮箱与所述传动轴正交传动连接，所述传动轴组转动安装在所述传送箱上，其一端延伸出传送箱之外，多个传动轴组等间距水平方向排列分布，该传动轴组的最末端通过键和键槽与传送轮连接，所述传动轴组与所述主轴之间正交分布，并通过非接触磁力传动对传动连接。
7.作为本实用新型进一步的方案：所述伺服系统至少为一套用于提供动力，包含伺服电机、减速机成，伺服电机及减速机为l型连接。
8.作为本实用新型进一步的方案：所述伺服系统通过弹性联轴器与传动轴连接，弹性联轴器使用膜片式弹性联轴器，通过螺钉抱紧方式连接伺服系统的输出轴以及传动轴上。
9.作为本实用新型进一步的方案：还包括磁流体密封，所述磁流体密封装配在所述弹性联轴器外部。
10.作为本实用新型进一步的方案：所述传送箱为六面体结构，四壁开有圆孔为传动轴组及传动轴提供轴承座定位，上方为不锈钢薄板覆盖，底板开有若干螺纹固定孔及调节螺钉孔用于将整体固定在腔室底部及水平度调整。
11.作为本实用新型进一步的方案：所述传送轮为分体式，包括传送轮体以及固定块，
所述传送轮体和固定块使用抱死方式与传动轴组的端部固定，再通过键与键槽连接限定回转位移。
12.作为本实用新型进一步的方案：所述传送轮体表面加工有环槽，环槽横截面的弧形外轮廓所在圆心的位置高于传送轮体的边缘，所述环槽上安装氟橡胶圈。
13.作为本实用新型进一步的方案：所述橡胶圈硬度大于8a，橡胶圈并排安装，其数量至少为3条。
14.作为本实用新型进一步的方案：还包括导向装置，所述导向装置设置于相邻两个传动轴组之间，包括固定块、调节块、导向轮轴以及导轮，所述固定块呈l型，并固定在所述传送箱侧壁上，固定块上表面设有水平滑槽，所述调节块滑动安装在水平滑槽内，所述调节块上方垂直安装导向轮轴，导向轮轴端部转动安装导轮，
15.作为本实用新型进一步的方案：所述导轮为peek材质轴承外圈。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.本实用的传输装置实现每个传送腔室仅用一套伺服系统驱动一个磁流体密封便可实现整个腔体的传送功能，通过使用伺服电机作为驱动装置，弹性联轴器作为联接装置，磁流体密封作为真空动力馈入装置，配合正交齿轮箱，传动轴组，传送轮，导向装置构成了一套用于钙钛矿太阳能电池蒸镀的传送系统，从而实现可连续传输，通过封闭的正交齿轮箱将传动轴与主轴正交联接，并将主轴与多个传动轴组通过非接触式磁力轮传动连接，可实现连续性半接触式传送，静音无尘，提升产品良率，延长维护周期；通过多个传动轴组的并排分布，从而提高承载能力，有利于传输重量较大的tray盘以及基板。
附图说明
18.图1为钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置的结构示意图；
19.图2为钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置中传输模组的放大图；
20.图3为传送轮体的主视图；
21.图中：伺服系统1、弹性联轴器2、磁流体密封3；
22.传输模组4、正交齿轮箱41、传动轴组42、非接触磁力传动对43、传送轮44、橡胶圈441、传送轮体442、环槽442a；导向装置45、导轮451、导向轮轴452、调节块453、固定块454；水平调整装置46；传送箱47、调节螺钉孔471、螺纹固定孔472、主轴48；传动轴5。
具体实施方式
23.为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
24.请参阅图1～2，本实施例，一种钙钛矿太阳能电池蒸镀机基板传输装置，固定安装于传送腔室中，通过固定螺钉及调节螺钉安装在腔室的底面，用于对tray盘进行输送，包括伺服系统1、传动轴5以及至少一个传输模组4。
25.所述伺服系统1至少为一套用于提供动力，包含伺服电机、减速机成，为节约空间伺服电机及减速机为l型连接，该伺服电机及减速机安装在定位板上，定位板通过直轴连接在腔室侧壁，在另一实施例中，所述减速机可通过同步带传动所替代，可降低成本，提高腔室侧空间的匹配性。
26.所述伺服系统1通过弹性联轴器2与传动轴5连接，弹性联轴器2使用膜片式弹性联轴器2，通过螺钉抱紧方式连接伺服系统1的输出轴以及传动轴5上，用于将伺服电机的动力向下一级传送，同时可以通过弹性连接特性弥补两个轴体之间的同轴度安装误差。需要提醒的是，弹性联轴器2还可以采用万向节等其它连接方式代替，以应对两轴之间连接的非同轴性。
27.磁流体密封3使用贯通式磁流体，密封装配在所述弹性联轴器2外部，动态密封应用磁流体原理密封，可实现轴体旋转过程中的真空密封效果。
28.本实施例中，一个传输装置至少包括一个传输模组4，相邻两个传输模组4之间可相互拼接以延长该传输装置的输送长度，传输模组4的具体拼接数量可根据腔体的实际长度进行调整。
29.所述传输模组4包括传送箱47、正交齿轮箱41、传动轴组42、主轴48、传送轮44和导向装置45，传送箱47为传动轴组42的支撑装置，可作为一个独立单元，根据传送距离的长短进行模块化阵列组合，该传送箱47为六面体结构，四壁开有若干圆孔为传动轴组42及传动轴5提供轴承座定位，上方为不锈钢薄板覆盖，底板开有若干螺纹固定孔472及调节螺钉孔471，所述螺纹固定孔472内穿设有固定螺栓(图中未示出)，并使传送箱47固定在腔室内，所述水平调节装置46为顶丝，所述顶丝螺纹穿设于调节螺钉孔471内，顶丝底部支撑在腔体内，通过旋转顶丝，从而使多个顶丝底端达到同一高度，以使传送箱47的水平度进行调节。
30.所述主轴48横向转动穿设在所述传送箱47上，并通过正交齿轮箱41与所述传动轴5正交传动连接，所述正交齿轮箱41内部为一组正交锥齿轮组，齿轮组为齿轮钢材质，耐磨低发尘，铝合金封闭外壳，可隔绝啮合产生的微量粉尘，两组齿轮分别与传动轴5、主轴48通过顶丝固定，通过正交齿轮箱41可将动力进行正交转换，使传动轴5的动力传输至主轴48，以带动主轴48旋转。齿轮箱可选用螺旋锥齿轮增加扭力及减小传动噪音，正交齿轮箱41与传动轴5固定方式可使用键连接代替顶丝固定
31.所述传动轴组42转动安装在所述传送箱47上，其一端延伸出传送箱47之外，多个传动轴组42等间距水平方向排列分布，传动轴组42使用轴承安装在传送箱47上，该传动轴组42一侧通过轴肩及固定端盖与轴承形成固定端；另一端将轴承及轴承座集合成一体，此设计可实现将轴组整体安装及拆卸；该传动轴组42的最末端通过键和键槽与传送轮44连接，该传动轴组42作为传送轮44的载体，承担主要传送负载。
32.所述传动轴组42与所述主轴48之间正交分布，并通过非接触磁力传动对43传动连接，非接触磁力传动对43用于将主轴48轴的动力传送给与之相垂直的传动轴组42，该磁力传动对由非接触的一对磁力传送轮44组成，安装距离小于1mm，磁力轮正交安装，使用锁紧环固定在轴体上。本实施例中，所述非接触磁力传动对43中的磁力轮可替换成正交齿轮传动以降低成本，但不适合用于洁净环境。
33.所述传送轮44为分体式，包括传送轮体442以及固定块454，所述传送轮体442和固定块454使用抱死方式与传动轴组42的端部固定，再通过键与键槽连接限定回转位移。在传送轮体442表面加工有环槽442a，参阅图3，该环槽442a横截面的弧形外轮廓所在圆心t的位置应高于传送轮体442的边缘，所述环槽442a上安装氟橡胶圈441，该设计可避免形变量过大造成的tray盘(传送体)与传送轮体442表面接触，防止其损坏。橡胶圈441硬度应大于8a(邵氏硬度)，橡胶圈441并排安装，其数量至少为3条以保证提供足够摩擦力及支撑力。在另
一实施例中，传送轮体442可使用矩形截面橡胶圈441材质以增加摩擦力减小被传送体滑动。
34.所述导向装置45设置于相邻两个传动轴组42之间，可实现tray盘及基板在1mm之间的间距误差内进行直线传送，该导向装置45包括固定块454、调节块453、导向轮轴452以及导轮451，所述固定块454呈l型，并固定在所述传送箱47侧壁上，固定块454上表面设有水平滑槽，所述调节块453滑动安装在水平滑槽内，水平滑槽上滑动安装调节块453以通过滑动调整导轮451与tray盘侧面的距离，所述调节块453上方垂直安装导向轮轴452，导向轮轴452端部转动安装导轮451，该导轮451使用peek材质轴承外圈，不锈滚珠，自润滑不适用润滑油脂，peek材质可减少对tray的划伤，同时起到较小发尘量的作用。在另一实施例中，所述导向装置45可增加除水平方向外的其它方向调节装置以适应不同厚度传送体的导向。
35.本实用可为钙钛矿太阳能电池蒸镀机提供一套用于tray盘及基板真空内传送装置，该装置可实现每个传送腔室仅用一套伺服系统1驱动一个磁流体密封3便可实现整个腔体的传送功能，通过使用伺服电机作为驱动装置，弹性联轴器2作为联接装置，磁流体密封3作为真空动力馈入装置，配合正交齿轮箱41，传动轴组42，传送轮44，导向装置45构成了一套用于钙钛矿太阳能电池蒸镀的传送系统，该系统具备可连续传输，低噪音，低粉尘，承载能力强，有利于提升产品良率等优点，可实现连续性半接触式传送，静音无尘，提升产品良率，延长维护周期。
36.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
或“包含
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的要素。此外，在本文中，“大于”、“小于”、“超过”等理解为不包括本数；“以上”、“以下”、“以内”等理解为包括本数。
37.尽管已经对上述各实施例进行了描述，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改，所以以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利保护范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围之内。