载具盘翻转装置的制作方法

本技术载具翻转，特别是涉及一种载具盘翻转装置。

背景技术：

1、半导体器件自身具有体积小、数量多且重量较重的特点，因此在检测分选前后需要将其放在载具盘上，通过载具盘的转运，来将半导体器件输送至机台各工位进行检测和转移。

2、在机台中，大多数工位对半导体器件进行检测和转移前，载具盘只需按照固定角度移动即可在到位后与对应工位配合；但对于部分工位而言，由于工位的角度发生改变，载具盘按照最开始的角度无法在到位后与对应工位配合，通常需要先将载具盘翻转一定角度后再移动至对应工位。因此针对此类工位需要一种翻转机构来改变载具盘的角度。

3、目前现有技术的翻转机构的翻转精度较低，会导致到载具盘后续难以按照准确角度移动至指定工位，以及翻转机构复位至初始位置后难以准确地带动下一个载具盘转动，需要对此改进。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种便于翻转载具盘并且翻转角度精准的载具盘翻转装置。

2、一种载具盘翻转装置，包括机架、转移平台、转动驱动源和限位组件；所述转移平台转动连接于所述机架；所述转移平台包括用于搭载载具盘的所述容设腔，且所述转移平台具有第一转动位置和第二转动位置；所述限位组件安装于所述转移平台；所述转动驱动源连接于所述机架上并驱使所述转移平台在所述第一转动位置和所述第二转动位置之间翻转；所述限位组件包括第一限位件和第二限位件，且所述第一限位件与所述第二限位件限位组件沿竖直方向错开布置；所述转动平台在所述第一转动位置时，所述第一限位件能够与所述机架抵接以对所述转移平台进行转动限位；所述转动平台在所述第二转动位置时，所述第二限位件能够与所述机架抵接以对所述转移平台进行转动限位。

3、可以理解的是，将载具盘搭载在容设腔内，以通过转移平台相对机架的转动满足不同工位的位姿调整。其中，转移平台包括第一转动位置和第二转动位置，载具盘跟随转移平台同步转动并同时产生两个转动位置以满足生产需求；限位组件包括第一限位件和第二限位件，有第一限位件和第二限位件分别能够在转移平台转动至第一转动位置和第二转动位置时对转移平台进行抵接并进行转动限位，以防转移平台过度转动，以使转移平台带动载具盘转动时转动角度更加精准，减少转动偏差。

4、在其中一个实施例中，所述机架包括支撑基板，所述支撑基板通过转轴与所述转移平台转动连接，所述支撑基板有两块且分别设置于所述转移平台的两侧，各块所述支撑基板均通过转轴和所述转移平台转动连接；至少一个所述支撑基板包括第一限位部和第二限位部，且所述第一限位部和所述第二限位部成角度布置，所述第一限位部用于与所述第一限位件抵接，所述第二限位部用于与所述第二限位件抵接。

5、可以理解的是，支撑基板用于连接转移平台并提供具体的限位配合；第一限位部和第二限位部设于支撑基板用以分别与第一限位件和第二限位件抵接，使机架上与限位组件的限位配合通过第一限位部和第二限位部实现。

6、在其中一个实施例中，所述支撑基板构造有缺口，所述缺口包括成角度布置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁沿竖直方向布置，所述第二侧壁形成所述第一限位部；所述支撑基板沿第一方向的另一侧包括第三侧壁，所述第三侧壁与所述第一侧壁平行或趋于平行，所述第三侧壁形成所述第二限位部；其中，所述第一方向与所述竖直方向成角度设置。

7、可以理解的是，通过在支撑基板上构造有缺口，使之形成第一侧壁，并且基板上还包括第三侧壁，分别对应第一限位部和第二限位部，满足对转移平台的转动限位。而且这样的设置，结构简单，抵接限位的效果良好。

8、在其中一个实施例中，所述载具盘翻转装置还包括感应组件，所述感应组件包括感应件和触发件；所述感应件设置于所述机架和所述转移平台其中一者，所述触发件设置于所述机架和所述转移平台其中另一者；或，所述感应件设置于所述机架和所述限位组件其中一者，所述触发件设于所述机架和所述限位组件其中另一者；所述感应件被配置为响应于所述触发件的触发状态而发出检测信号。

9、可以理解的是，感应组件用于检测转移平台是否转动到位，当转移平台转动到位时，感应件感应到触发件的触发状态而发出检测信号，控制器根据检测信号控制转移平台停止转动，以防转移平台转动角度过大。感应组件与限位组件配合，提高限位效果。

10、在其中一个实施例中，所述转移平台的所述容设腔的两个相对腔壁上均设置有导向滑槽；所述翻转装置还包括防脱机构，所述防脱机构安装于所述转移平台并位于所述容设腔内；所述防脱机构包括插杆，所述插杆用于与滑入所述导向滑槽内的所述载具盘插接配合。

11、可以理解的是，导向滑槽则用于限定载具盘的移动轨迹，起到在载具盘运动过程中防止偏移的作用；同时，防脱机构通过插杆与载具盘插接配合实现定位，载具盘与转移平台相连，使转移平台在转动过程中载具盘保持同步转动。

12、在其中一个实施例中，所述防脱机构还包括滑动座、固定座和防脱驱动源；所述滑动座滑动连接于所述固定座，所述防脱驱动源与所述滑动座连接，且所述插杆安装于所述滑动座；所述固定座安装于所述转移平台；所述滑动座能够在所述防脱驱动源的动力作用下相对所述固定座移动，以带动所述插杆往复运动。

13、可以理解的是，防脱驱动源带动滑动座在固定座上滑动，以控制插杆往复运动而插接于载具盘或者与载具盘分离，具有便于操作，自动化程度高的作用。

14、在其中一个实施例中，所述滑动座包括第一滑动轴、第二滑动轴、连接臂和座体；所述第一滑动轴滑动连接于所述固定座的第一端，所述第二滑动轴滑动连接于所述固定座的第二端，且所述第一滑动轴的滑动方向与所述第二滑动轴的滑动方向成角度设置，所述第一滑动轴和所述第二滑动轴平行或趋于平行；所述连接臂的两端分别与所述第一滑动轴、所述第二滑动轴转动连接，所述座体连接于所述连接臂背离所述驱动源的一侧，所述插杆固设于所述座体；所述驱动源包括伸缩杆，所述伸缩杆连接于所述第一滑动轴，以推动所述第一滑动轴相对所述固定座移动。

15、可以理解的是，通过第一滑动轴和第二滑动轴分别滑动连接于滑动座上以实现；连接臂连接第一滑动轴和第二滑动轴以便于带动插杆以及座体运动，防脱驱动源通过伸缩杆带动第一滑动轴向对固定座移动，起到传动作用。

16、在其中一个实施例中，所述固定座的第一端构造有长度沿竖直方向延伸的第一长孔；所述第一滑动轴的两端部分别穿设于同侧的所述第一长孔内，并能够沿所述第一长孔的长度方向移动；和/或所述固定座的第二端构造有长度沿第一方向延伸的第二长孔；所述第二滑动轴的两端部分别穿设于同侧的所述第二长孔内，并能够沿所述第二长孔的长度方向移动；所述第一方向与所述导向滑槽的长度方向相同。

17、可以理解的是，通过第一滑动轴在第一长孔内滑动、第二滑动轴在第二长孔内滑动，以防在移动过程中出现偏移或者脱落等情况的发生。

18、在其中一个实施例中，所述载具盘翻转装置还包括移动机构，所述移动机构安装于所述转移平台，以用于将所述载具盘相对所述容设腔送入或送出；所述移动机构包括移动驱动源、导轨和滑块，所述滑块滑动连接于所述导轨，且所述滑块与所述移动驱动源的动力输出端连接；所述防脱机构连接于所述滑块上。

19、可以理解的是，移动机构用于将载具盘相对容设腔送入或送出，并且通过移动驱动源以使带动载具盘移动的动作实现自动化，移动过程更高效。

20、在其中一个实施例中，所述转移平台包括基板和侧板，所述侧板有两块且分别设置于所述基板的两侧，所述基板与两个所述侧板共同围设成所述容设腔；两个所述导向滑槽分别设置于两个所述侧板朝向所述容设腔的一侧。

21、与现有技术相比，将载具盘搭载在容设腔内，转移平台在机架上转动，并且转移平台包括第一转动位置和第二转动位置，载具盘跟随转移平台同步转动并同时产生两个转动位置以满足生产需求。限位组件包括第一限位件和第二限位件，分别能够在转移平台转动至第一转动位置和第二转动位置时对转移平台进行抵接并进行转动限位，以防转移平台过度转动，以使转移平台带动载具盘转动时转动角度更加精准，减少转动偏差。