半导体晶圆盒自动仓储管理系统以及方法与流程

文档序号:39934456发布日期:2024-11-12 13:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体晶圆盒自动仓储管理系统,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述自动导引车具备避障功能,配备有超声波传感器、红外线传感器和激光雷达,通过这些传感器实时检测前方障碍物和路径中的潜在风险,具有自主导航算法,能够根据传感器提供的数据,自动分析最佳行驶路径,实时调整行驶方向和速度,以避免碰撞,并配备紧急停止装置,当检测到不可避免的障碍物时,能够立即停止运行。

3.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述天车配备精确定位系统和自动校准功能,所述精确定位系统包括高精度激光定位传感器和惯性导航单元,能够实时确定天车的当前位置和高度,自动校准功能能够根据仓库管理系统的指令,自动调整天车的操作层面的高度和位置,确保晶圆盒的精准存取和转运,天车还具备负载检测功能,能够实时监测所搬运晶圆盒的重量,并根据重量自动调整搬运速度和路径。

4.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述仓库管理系统具备数据分析和优化调度功能,所述数据分析功能包括大数据分析模块和机器学习算法,能够对自动导引车和天车的历史运行数据进行分析,识别潜在的效率提升和故障预防机会,优化调度功能能够基于分析结果,动态调整自动导引车和天车的运行路径和任务分配,实现仓储操作的最优调度,仓库管理系统还配备预测维护模块,根据设备的运行状态和历史数据,预测设备的维护需求,并自动生成维护任务。

5.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述条码阅读器配备多角度扫描功能和高速数据传输模块,多角度扫描功能通过多个方向的条码扫描装置,实现对晶圆盒在任何位置和角度的条码信息的快速识别,高速数据传输模块采用无线通信技术,能够将扫描到的id和批次信息实时传输到仓库管理系统,确保信息的即时更新和准确同步,条码阅读器还集成有自动校准和故障检测功能,能够根据环境变化自动调整扫描参数,并在检测到故障时向仓库管理系统发送警报。

6.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述传感器包括震动监测传感器和光线监测传感器,震动监测传感器能够实时监测仓库内的震动情况,并在检测到异常震动时向仓库管理系统发送警报,光线监测传感器用于监测仓库内的光照强度,确保环境光线适宜晶圆盒的存储和操作,传感器还集成有自动校准功能,能够根据仓库内的实际环境条件自动调整检测参数,所有传感器的数据均能够实时传输至仓库管理系统。

7.根据权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统,其特征在于,所述输送系统包括高度调节装置和自动对准系统,高度调节装置能够根据晶圆盒的尺寸和重量,自动调整输送带和旋转台的高度和角度,以确保晶圆盒在传输过程中的稳定性和安全性,自动对准系统通过摄像头和激光定位设备,实时监测晶圆盒的位置和方向,并在传输过程中自动调整输送带和旋转台的位置,以确保晶圆盒在不同设备之间的精准对接,输送系统还配备静电防护装置和软启动控制装置,有效防止静电对晶圆盒的损害,并在启动和停止时减小冲击力。

8.一种利用权利要求1所述的半导体晶圆盒自动仓储管理系统进行半导体晶圆盒存取的方法,包括以下步骤:


技术总结
本发明提供了一种用于半导体晶圆盒存储和管理的自动化仓储管理系统及其操作方法,旨在解决传统人工管理方式存在的效率低、错误率高、环境控制困难等问题。该系统通过自动导引车、天车、仓库管理系统、条码阅读器、传感器、输送系统和操作控制系统等多个组件协同工作,实现晶圆盒的自动存取、转运和管理。系统自动化操作大幅提升晶圆盒存取效率,减少人工干预。完善的传感器系统和环境监测功能保证晶圆盒存储环境的稳定性,减少人为错误。

技术研发人员:沙伟中
受保护的技术使用者:苏州艾斯达克智能科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/11
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