一种机械手臂及基板的转运方法

文档序号:9389590阅读:389来源:国知局
一种机械手臂及基板的转运方法
【技术领域】
[0001]本发明属于机械技术领域,具体涉及一种机械手臂及基板的转运方法。
【背景技术】
[0002]随着显示领域技术的发展,人们对大尺寸显示器的追求越来越高,超大尺寸已成为显示器的发展趋势,使得基板制备厂商研发也越发深入。
[0003]基板在制备过程中需进行多次转运,目前使用的用于基板转运的机械手臂的结构如图1所示,机械手臂包括机械臂10,如图2所示,当机械手臂工作时,用机械臂10支撑基板20,但由于基板20的尺寸超大,在基板20转运过程中受重力影响会造成基板20严重变形,发生下垂或翘曲,从而导致在进行对盒工艺之前由于基板20变形导致的应力无法释放,给显示器带来了诸多缺陷。
[0004]为解决这一问题,本领域技术人员提出了下述两种方案:第一种,增加机械手臂个数,但这种方案需要对工厂设备进行大规模改造,既不便捷又使得成本大幅度增加;第二种,增加机械手臂与基板之间的接触面积,但这种方案由于增加了机械手臂与基板之间的接触面积,会导致制备的基板出现接触不良的现象,影响产品良率。

【发明内容】

[0005]本发明针对现有的在基板转运过程中,由于机械手臂支撑基板导致的基板变形,发生下垂或翘曲的问题,提供一种不需要额外增加接触面积且能够避免基板下垂或翘曲的机械手臂。
[0006]解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种机械手臂,包括主支撑臂和至少一个辅助支撑臂,所述主支撑臂用于支撑基板,所述辅助支撑臂与所述主支撑臂连接,且所述辅助支撑臂设置在所述主支撑臂的两侧,所述辅助支撑臂上设置有多个气孔,所述气孔用于向所述基板喷出气体,以避免所述基板下垂或翘曲。
[0007]优选地,所述辅助支撑臂的上表面低于所述主支撑臂的上表面。
[0008]优选地,所述辅助支撑臂为可伸缩的辅助支撑臂。
[0009]进一步优选地,所述辅助支撑臂包括多个子辅助支撑臂,所述多个子辅助支撑臂相互连接。
[0010]更进一步优选地,所述多个子辅助支撑臂采用套接方式连接。
[0011]优选地,多个所述气孔均匀的设置在所述辅助支撑臂的上表面。
[0012]作为另一实施方案,本发明还提供一种基板的转运方法,所述方法采用上述任意一项所述的机械手臂,所述方法包括:
[0013]所述主支撑臂支撑所述基板;
[0014]所述辅助支撑臂上的所述气孔向所述基板喷出气体,以避免所述基板下垂或翘曲。
[0015]优选地,所述辅助支撑臂的上表面低于所述主支撑臂的上表面。
[0016]优选地,所述辅助支撑臂为可伸缩的辅助支撑臂。
[0017]进一步优选地,所述辅助支撑臂包括多个子辅助支撑臂,所述多个子辅助支撑臂相互连接。
[0018]更进一步优选地,所述多个子辅助支撑臂采用套接方式连接。
[0019]优选地,多个所述气孔均匀的设置在所述辅助支撑臂的上表面。
[0020]本发明的机械手臂中,包括主支撑臂和至少一个辅助支撑臂,主支撑臂用于支撑基板,辅助支撑臂与主支撑臂连接,且辅助支撑臂设置在主支撑臂的两侧,在辅助支撑臂上设置有多个气孔,这些气孔可用于向被承载的基板喷出气体,以避免基板下垂或翘曲,从而提尚广品良率。
【附图说明】
[0021]图1为现有的机械手臂的结构示意图;
[0022]图2为现有的机械手臂支撑基板的结构示意图;
[0023]图3为本发明的实施例1的机械手臂的结构示意图;
[0024]图4为本发明的实施例1的机械手臂支撑基板的结构示意图;
[0025]图5为本发明的实施例2的机械手臂的结构示意图;
[0026]图6为本发明的实施例2的机械手臂支撑基板的结构示意图;
[0027]其中,附图标记为:1、主机械臂;2、辅助机械臂;21、第一子辅助机械臂;22、第二子辅助支撑臂;3、气孔;10、机械臂;20、基板。
【具体实施方式】
[0028]为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细描述。
[0029]实施例1:
[0030]请参照图3和图4,本实施例提供一种机械手臂,包括主支撑臂I和至少一个辅助支撑臂2,主支撑臂I用于支撑基板20,辅助支撑臂2与主支撑臂I连接,且辅助支撑臂2设置在主支撑臂I的两侧,辅助支撑臂2上设置有多个气孔3,气孔3用于向基板20喷出气体,以避免基板20下垂或翘曲。
[0031 ] 本实施例的机械手臂中,包括主支撑臂I和至少一个辅助支撑臂2,主支撑臂I用于支撑基板20,辅助支撑臂2与主支撑臂I连接,且辅助支撑臂2设置在主支撑臂I的两侦牝在辅助支撑臂2上设置有多个气孔3,这些气孔3可用于向被承载的基板20喷出气体,以避免基板20下垂或翅曲,从而提尚广品良率。
[0032]实施例2:
[0033]请参照图5和图6,本实施例提供一种机械手臂,包括主支撑臂I和至少一个辅助支撑臂2,主支撑臂I用于支撑基板20,辅助支撑臂2与主支撑臂I连接,且辅助支撑臂2设置在主支撑臂I的两侧,辅助支撑臂2上设置有多个气孔3,气孔3用于向基板20喷出气体,以避免基板20下垂或翘曲。
[0034]优选地,辅助支撑臂2的上表面低于主支撑臂I的上表面。
[0035]之所以如此设置,是由于当辅助支撑臂2的上表面低于主支撑臂I的上表面时,辅助支撑臂2的上表面不会与基板20的下表面接触,因此,不会增加机械手臂与基板20的接触面积,进而不会导致制备的基板20出现接触不良的现象,影响产品良率。
[0036]优选地,辅助支撑臂2为可伸缩的辅助支撑臂2。
[0037]进一步优选地,辅助支撑臂2包括多个子辅助支撑臂,多个子辅助支撑臂相互连接,如第一子辅助支撑臂21和第二子辅助支撑臂22。
[0038]当然,子辅助支撑臂的数量并不局限于两个,子辅助支撑臂的数量可以依据实际情况进行增加,本实施例仅以子辅助支撑臂的数量为两个进行举例。
[0039]更进一步优选地,多个子辅助支撑臂采用套接方式连接,即第一子辅助支撑臂21和第二子辅助支撑臂22采用套接的方式连接。具体地,可以设置为第一子辅助支撑臂21与主支撑臂I连接,第二子辅助支撑臂22与第一子辅助支撑臂21相连,第二子辅助支撑臂22的直径小于第一子辅助支撑臂21的直径,不需要使用第二子辅助支撑臂22时,第二子辅助支撑臂22可以收缩在第一子辅助支撑臂21内,当需要使用第二子辅助支撑臂22时,第二子辅助支撑臂22从第一子辅助支撑臂21内伸出,对基板20进行支撑。
[0040]之所以如此设置,是由于基板20的尺寸并没有进行限定,当基板20的尺寸较大时,辅助支撑臂2的长度越接近基板20的边缘越好,越能够通过气孔3喷出的气体对基板20进行支撑;当基板20的尺寸较小时,辅助支撑臂2的长度超出近基板20的边缘过多,超出部分的辅助支撑臂2的气孔3依旧处于喷气状态。因此,将辅助支撑臂2设置为可伸缩的辅助支撑臂2,当基板20的尺寸较小时,辅助支撑臂2的第二子辅助支撑臂22可收缩到第一子辅助支撑臂21内;当基板20的尺寸较大时,第二子辅助支撑臂22可从第一子辅助支撑臂21内伸出,这样就可以满足不同尺寸的基板20的转运。
[0041]当然,第一子辅助支撑臂21和第二子辅助支撑臂22的连接方式并不局限于此,只要能使第一子辅助支撑臂21和第二子辅助支撑臂22相互连接,且达到使辅助支撑臂2可伸缩即可,在此不再赘述。
[0042]优选地,多个气孔3均匀的设置在辅助支撑臂2的上表面。
[0043]之所以如此设置,是由于当多个气孔3均匀的设置在辅助支撑臂2的上表面时,被支撑的基板20各处的受力大小一致,使基板20受到的支撑力更加均匀,进而避免基板20发生形变。
[0044]本实施例的机械手臂,包括主支撑臂I和至少一个辅助支撑臂2,主支撑臂I用于支撑基板20,辅助支撑臂2与主支撑臂I连接,且辅助支撑臂2设置在主支撑臂I的两侧,在辅助支撑臂2上设置有多个气孔3,这些气孔3可用于向被承载的基板20喷出气体,以避免基板20下垂或翘曲,从而提高产品良率;由于辅助支撑臂2的上表面低于主支撑臂I的上表面,不会增加机械手臂与基板20的接触面积,进而不会导致制备的基板20出现接触不良的现象,影响
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