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可光固化的聚合物、可光固化的聚合物组合物和包括其的光刻工艺的制作方法
文档序号:16507306
发布日期:2019-01-05 09:06
阅读:
来源:国知局
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可光固化的聚合物、可光固化的聚合物组合物和包括其的光刻工艺的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明涉及官能化的聚(芳醚砜)聚合物。本发明进一步涉及包括官能化的聚(芳醚砜)聚合物的聚合物组合物。还进一步地,本发明涉及形成结合了前述聚合物组合物的三维(3D)物体的光刻方法。
技术研发人员:
J.波里诺;S.乔尔
受保护的技术使用者:
索尔维特殊聚合物美国有限责任公司
技术研发日:
2017.04.04
技术公布日:
2019.01.04
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