一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置及方法与流程

文档序号:35994673发布日期:2023-11-16 05:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,包括防护外壳(1)和设置在防护外壳(1)内墙两侧的碾压辊(4),其特征在于:所述防护外壳(1)内腔的底部设置有动力机构(2),所述防护外壳(1)内腔的底部还设置有位于动力机构(2)上方并的推动组件(5),所述防护外壳(1)前端的内腔中设置有循环料组件(3),所述防护外壳(1)远离循环料组件(3)一端内腔中活动卡接有压力组件(6)和下料组件(7),以及设置在防护外壳(1)内壁一侧的一组导向凸起(10),所述防护外壳(1)远离循环料组件(3)有一侧的内腔中活动卡接有防护隔板(8),所述防护隔板(8)的一侧等距离固定连接有第五弹簧(9);

2.根据权利要求1所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述动力机构(2)包括有动力电机(201)和传动带(206),所述动力电机(201)底部的一端与防护外壳(1)固定连接,所述动力电机(201)的输出轴端固定连接有传动齿轮(202),所述防护外壳(1)内腔的两侧分别活动卡接有第二转轴(204)和第一转轴(203),所述第二转轴(204)和第一转轴(203)的底部分别固定连接有传动轮(207)和齿轮块(205),所述传动轮(207)和传动齿轮(202)通过传动带(206)传动连接,所述传动齿轮(202)和齿轮块(205)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述推动组件(5)包括橡胶环(501),所述橡胶环(501)活动连接在位于传动齿轮(202)上方防护外壳(1)的内腔中,所述橡胶环(501)的内腔等距离活动卡接有斜块(502)和方块(503),且两者的底部均固定连接有第二弹簧(504),且第二弹簧(504)底部一端与橡胶环(501)固定连接,所述斜块(502)和方块(503)相互靠近的一端铰接。

4.根据权利要求1所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述压力组件(6)包括有压力块(601),所述压力块(601)活动卡接防护外壳(1)远离循环料组件(3)一侧的内腔中,所述压力块(601)的中部的设置有第三弹簧(602),且第三弹簧(602)的两端分别与压力块(601)和防护外壳(1)固定连接,所述防护外壳(1)的内部活动连接有拉绳(603),且拉绳(603)的两端分别与压力块(601)和第二塑料板(305)固定连接。

5.根据权利要求1所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述下料组件(7)包括有斜板门(701),所述斜板门(701)活动卡接在防护外壳(1)远离循环料组件(3)一侧的内腔中,所述斜板门(701)的内腔固定连接有连接轴杆(702),所述连接轴杆(702)底部的一端固定连接有拨杆(703),位于拨杆(703)下方防护外壳(1)的内腔中活动卡接有连接板(704),所述连接板(704)的顶部和底部分别固定连接有限制柱(705)和第四弹簧(706),所述第四弹簧(706)的底部与防护外壳(1)固定连接,所述限制柱(705)顶部的一贯穿防护外壳(1)并延伸至防护外壳(1)的外部。

6.根据权利要求1所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述钉柱(302)远离第一弹簧(303)的一端贯穿竖杆(301)的侧壁并与防护外壳(1)抵接,所述碾压辊(4)与防护外壳(1)的内腔活动连接,所述导向凸起(10)靠近循环料组件(3)一端的高度低于另一端的高度,所述碾压辊(4)和导向凸起(10)之间留有间隙。

7.根据权利要求2所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述第二转轴(204)和第一转轴(203)的外表面分别与碾压辊(4)的内腔固定连接,且两个碾压辊(4)之间留有间隙,所述传动齿轮(202)与齿轮块(205)的齿牙数相等,所述传动齿轮(202)中部的直径小于传动轮(207)中部的直径。

8.根据权利要求3所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述橡胶环(501)的内壁与第一转轴(203)所连接碾压辊(4)的外表面传动连接,所述斜块(502)和方块(503)顶部的一端均贯穿橡胶环(501)的顶部并延伸至橡胶环(501)的外部,位于橡胶环(501)外部的斜块(502)和方块(503)相对一侧之间的距离大于竖杆(301)的宽度,且与竖杆(301)配合,所述斜块(502)远离方块(503)的一端与防护外壳(1)的内壁相配合,远离循环料组件(3)一侧的所述斜块(502)和方块(503)位于橡胶环(501)的内部,且两的顶部均与防护外壳(1)抵接。

9.根据权利要求5所述的半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置,其特征在于:所述连接轴杆(702)中上部的一端贯穿防护外壳(1)的顶部并延伸出至防护外壳(1)的外部,所述拨杆(703)底部的一端与斜板门(701)的轴心共线,且拨杆(703)底部的一端与防护外壳(1)活动卡接,且所述斜板门(701)底部的一端与橡胶环(501)的顶部接触,所述防护隔板(8)远离连接轴杆(702)的一侧呈弧状,且弧状处与碾压辊(4)的外表面相配合,所述限制柱(705)与拨杆(703)相配合,所述斜板门(701)靠近防护隔板(8)的一侧与防护隔板(8)抵接。

10.一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备方法,其特征在于,其使用步骤包括:


技术总结
本发明属于橡胶制备技术领域,且公开了一种半导体制程密封用全氟醚橡胶混炼制备装置及方法,包括防护外壳和设置在防护外壳内墙两侧的碾压辊,所述防护外壳内腔的底部设置有动力机构,所述防护外壳内腔的底部还设置有位于动力机构上方的推动组件。还包括一种污染地下水异位处理装置的处理方法。本发明通过动力机构、循环料组件、碾压辊和推动组件等结构之间的配合,使得装置具有安全高效对全氟醚橡胶进行混炼的作用,通过运行动力电机使得传动齿轮发生旋转,使得两个碾压辊发生旋转并对全氟醚橡胶进行混炼,随着碾压辊的旋转还会使得全氟醚橡胶沿着导向凸起从防护外壳底部移动至防护外壳的上部,从而使得全氟醚橡胶循环至初始位置并开始下一循环的混炼。

技术研发人员:张世鑫,张誉泷
受保护的技术使用者:宁波德固赛密封科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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