一种新型高温燃烧废气处理柜的制作方法

本实用新型是一种新型高温燃烧废气处理柜，属于半导体工艺设备技术领域。

背景技术：

废气处理柜用于处理半导体器件、材料等生长工艺设备所产生的工艺废气和副产物废气。目前，普通的废气处理柜的高温燃烧腔内装有加热棒，但是加热棒是直接裸露安装在高温燃烧腔中，存在很大的隐患，半导体工艺废气中含有各种酸性碱性气体，还有有毒易燃易爆的气体，一旦加热棒因腐蚀造成废气泄露，后果非常严重，安全性能非常低。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型高温燃烧废气处理柜，以解决上述背景技术中提出普通的废气处理柜的高温燃烧腔内装有加热棒，但是加热棒是直接裸露安装在高温燃烧腔中，存在很大隐患的问题，本实用新型避免酸性或碱性气体对加热棒本身的直接腐蚀，增加了加热棒的使用寿命，提高设备的安全性能。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型高温燃烧废气处理柜，包括循环吸收水箱、高温燃烧腔以及循环水泵，所述高温燃烧腔外侧安装燃烧腔保温筒，所述燃烧腔保温筒下端面安装支撑筒，且燃烧腔保温筒通过栓锁夹与支撑筒固定连接，所述支撑筒下端面安装四通管，所述四通管安装在循环吸收水箱上端面，且四通管另一端安装下部喷淋腔，所述下部喷淋腔上端安装中部喷淋腔，所述中部喷淋腔上端安装上部喷淋腔，所述上部喷淋腔上端安装出气管道，所述循环水泵通过连接管与循环吸收水箱相连接，且循环水泵出水端安装输水管，所述支撑筒、上部喷淋腔、中部喷淋腔以及下部喷淋腔均通过支管与输水管相连接，所述高温燃烧腔上端面焊接多组废气进管，且高温燃烧腔上端面安装氧气进管和氮气进管，所述燃烧腔保温筒外侧安装水套，所述水套下端外表面焊接冷却水进管，且水套上端外表面焊接冷却水出管，所述高温燃烧腔上端面等距安装多组加热棒，所述加热棒下端延伸至高温燃烧腔内，且加热棒外侧套设外套盲管，所述外套盲管上端固定在高温燃烧腔内部上端面。

进一步地，所述外套盲管安装有至少三组，至少三组所述外套盲管均套设在加热棒外侧。

进一步地，所述循环吸收水箱外表面和出气管道外表面均安装有温度传感器，所述废气进管外表面和出气管道外表面均安装有压力传感器，所述温度传感器和压力传感器的输出端均通过数据线连接plc输入端，所述plc输出端通过数据线连接蜂鸣器输入端。

进一步地，所述冷却水进管和冷却水出管均与循环冷却水系统相连接。

进一步地，所述栓锁夹安装有至少三组，至少三组栓锁夹呈环形等距安装在支撑筒和燃烧腔保温筒之间。

本实用新型的有益效果：本实用新型中加热棒与高温燃烧腔之间有外套盲管的保护，避免了酸性或碱性气体对加热棒本身的直接腐蚀，大大增加了加热棒的使用寿命，提高了设备的安全性能，高温加热腔外有保温层和水套，既能保证了高温加热腔内的温度不会散失，又保证了高温加热腔对环境温度的影响，避免维护和操作人员被烫伤，大大加强了设备的安全性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型高温燃烧废气处理柜的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型高温燃烧废气处理柜中a处放大图；

图3为本实用新型一种新型高温燃烧废气处理柜中高温燃烧腔的立体图；

图中：1-循环吸收水箱、2-四通管、3-支撑筒、4-水套、5-高温燃烧腔、6-燃烧腔保温筒、7-加热棒、8-废气进管、9-出气管道、10-上部喷淋腔、11-中部喷淋腔、12-下部喷淋腔、13-输水管、14-循环水泵、15-外套盲管、16-栓锁夹、17-冷却水进管、18-冷却水出管、19-氧气进管、20-氮气进管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种新型高温燃烧废气处理柜，包括循环吸收水箱1、高温燃烧腔5以及循环水泵14，高温燃烧腔5外侧安装燃烧腔保温筒6，燃烧腔保温筒6下端面安装支撑筒3，且燃烧腔保温筒6通过栓锁夹16与支撑筒3固定连接，支撑筒3下端面安装四通管2，四通管2安装在循环吸收水箱1上端面，且四通管2另一端安装下部喷淋腔12，下部喷淋腔12上端安装中部喷淋腔11，中部喷淋腔11上端安装上部喷淋腔10，上部喷淋腔10上端安装出气管道9，循环水泵14通过连接管与循环吸收水箱1相连接，且循环水泵14出水端安装输水管13，支撑筒3、上部喷淋腔10、中部喷淋腔11以及下部喷淋腔12均通过支管与输水管13相连接，高温燃烧腔5上端面焊接多组废气进管8，且高温燃烧腔5上端面安装氧气进管19和氮气进管20，半导体工艺设备在运行工艺是会通入各种工艺气体，很多都是有毒有害，易燃易爆、酸性、碱性气体，这些废气通入到废气进管8，然后进入到高温燃烧腔5，在高温燃烧腔5中的加热棒7提前加热到设定温度，同时将氮气、氧气（或压缩空气）经氮气进管2011、氧气进管19通入高温燃烧腔5内，这样易燃性气体会在高温燃烧腔5内进行燃烧，燃烧完毕的气体进入支撑筒3内，支撑筒3内通入循环喷淋溶液，会将燃烧完毕的气体进行吸收，固态颗粒以及液态气体经喷淋后进入循环吸收水箱1，气体进入到下部喷淋腔12，后经中部喷淋腔11和上部喷淋腔10从出气管道9安全排放掉，循环水泵14将吸收溶液从循环吸收水箱1内抽出后传送到支撑筒3、下部喷淋腔12、中部喷淋腔11和上部喷淋腔10，形成多级溶液吸收，能够非常有效的将废气燃烧后的副产物以及废气中的气体酸性或碱性气体吸收掉，安全高效地达到废气吸收的作用，燃烧腔保温筒6外侧安装水套4，水套4下端外表面焊接冷却水进管17，且水套4上端外表面焊接冷却水出管18，高温燃烧腔5上端面等距安装多组加热棒7，加热棒7下端延伸至高温燃烧腔5内，且加热棒7外侧套设外套盲管15，外套盲管15上端固定在高温燃烧腔5内部上端面，加热棒7最高可以加热到1000℃，在加热棒7外侧有外套盲管15，能够有效地使加热棒7与工艺废气进行隔离，同时又保证了加热棒7热量迅速的传递到高温燃烧腔5中，避免了酸性或碱性气体对加热棒7本身的直接腐蚀，大大增加了加热棒7的使用寿命，提高了设备的安全性能，高温燃烧腔5的外部有燃烧腔保温筒6和水套4，既能够保证高温燃烧腔5的高温温度，又能保证高温燃烧腔5外壁不会太热，防止操作或维护人员出现高温烫伤的情况。

作为本实用新型的一个实施例：外套盲管15安装有至少三组，至少三组外套盲管15均套设在加热棒7外侧，在加热棒7外侧设置至少三组外套盲管15，提高隔离效果。

作为本实用新型的一个实施例：循环吸收水箱1外表面和出气管道9外表面均安装有温度传感器，废气进管8外表面和出气管道9外表面均安装有压力传感器，温度传感器和压力传感器的输出端均通过数据线连接plc输入端，plc输出端通过数据线连接蜂鸣器输入端，循环吸收水箱1和出气管道9均安装了温度传感器以及在废气进管8和出气管道9上安装压力传感器，实时地反应废气处理的情况，一旦出现温度过高或压力过高的情况，立刻发出报警系统，提醒使用人员设备出现故障。

作为本实用新型的一个实施例：冷却水进管17和冷却水出管18均与循环冷却水系统相连接，循环冷却水系统中的冷却水通过冷却水进管17进入水套4内，吸收热量后从冷却水出管18回流。

作为本实用新型的一个实施例：栓锁夹16安装有至少三组，至少三组栓锁夹16呈环形等距安装在支撑筒3和燃烧腔保温筒6之间，至少三组栓锁夹16的设计提高支撑筒3和燃烧腔保温筒6连接的可靠性。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。