一种尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型属于废气处理技术领域，更具体地说，是涉及一种尾气处理装置。


背景技术：

2.当前环保要求越来越严格，在集成电路、太阳能、半导体平面显示及新能源等新兴产业领域，对尾气的排放标准要求也越来越高，为达成排放标准，以上领域，在其工厂内，部分特气设备均在现场设置尾气处理装置(localscrubber)，故，对尾气处理装置的高处理效率性、低功耗性、高安全性需求较高。现有技术问题：当前市场尾气处理装置(特别针对plasma+wet、burn+wet 类型)，问题一：因其燃烧腔室温度较高(＞800℃)，对燃烧室外壁耐温要求较高，且生产安全考虑，外壁温度需求＜45℃。当下设计采用较昂贵的外壁材料，且采用风冷或水冷，采用风能需求cda用量较大，采用水冷，其进水与出水口均位于底部，冷却效果不佳，且成本较高。问题二：当下尾气处理设备其水洗部分，采用的多为一段洗水或二段水洗，且多数采用新水，其处理效果不佳，且成本较高。问题三：当下尾气处理装置，在排气部分，因气体经过燃烧及水洗后，温度较高且湿度较大，在经过排气口进入酸排后，因温度降低，温差造成冷凝，产生冷凝水，因处理后的气体均为酸性气体，溶于水后形成强酸，造成腐蚀，导致严重的生产及安全事故。当下常规处理水汽方式采用静电除湿装置或过滤器等，价格均较为昂贵。考虑到成本因素，目前多数尾气处理装置均为水汽分离设计，风险较大，无法有效满足要求。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能的尾气处理装置。
4.要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：
5.本实用新型为一种尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室、喷淋室，燃烧室包括反应腔和冷却腔，反应腔上设置进气口，pcw进口通过管路分别连通冷却腔进口和喷淋室进口，反应腔下端连通喷淋室下部，喷淋室通过排气口连通排风管道，冷却腔出口连通pcw出口，喷淋室出口连通pcw出口。
6.所述的尾气处理装置的进气口与燃烧室的反应腔上部连通，燃烧室的冷却腔进口设置在冷却腔下部位置。
7.所述的喷淋室内设置多个喷淋头，喷淋室上部设置排气口，排气口外围设置外腔，喷淋室进口设置在外腔下部位置，排气口上端口与排风管道连通。
8.所述的尾气处理装置的排气口设置为呈波浪形结构。
9.所述的尾气处理装置还包括水箱，喷淋室下端通过管道与水箱连通，喷淋头与水箱连通。
10.所述的ctw进口与水箱连通，水箱上还设置排水口。
11.所述的水箱内设置水泵，喷淋头与水泵连接。
12.所述的水箱内设置液位传感器，液位传感器包括高位液位传感器、中位液位传感器、低位液位传感器。
13.所述的排水口的水平高度高于水箱底部。
14.采用本实用新型的技术方案，能得到以下的有益效果：
15.本实用新型所述的尾气处理装置，进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。
附图说明
16.下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：
17.图1为本实用新型所述的尾气处理装置的结构示意图；
18.附图中标记分别为：1、燃烧室；2、喷淋室；3、反应腔；4、冷却腔；5、进气口；6、pcw进口；7、pcw出口；8、喷淋头；9、排气口；10、外腔；11、排风管道；12、排水口；13、水泵；14、ctw进口；15、水箱；16、液位传感器。
具体实施方式
19.下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明：
20.如附图1所示，本实用新型为一种尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室1、喷淋室2，燃烧室1包括反应腔3和冷却腔4，反应腔3上设置进气口5，pcw进口6通过管路分别连通冷却腔4进口和喷淋室2进口，反应腔3 下端连通喷淋室2下部，喷淋室2通过排气口9连通排风管道11，冷却腔4出口连通pcw出口7，喷淋室2出口连通pcw出口7。上述结构，针对现有技术中的不足提出改进方案。所述的尾气处理装置进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。
21.所述的尾气处理装置的进气口5与燃烧室1的反应腔3上部连通，燃烧室1 的冷却腔4进口设置在冷却腔4下部位置。
22.所述的喷淋室2内设置多个喷淋头8，喷淋室2上部设置排气口9，排气口 9外围设置外腔10，喷淋室2进口设置在外腔10下部位置，排气口9上端口与排风管道11连通。
23.所述的尾气处理装置的排气口9设置为呈波浪形结构。上述结构，排气口设计为波浪形的结构，增大气体在管路中的行程，增大pcw与排放废气的接触面积，提高冷却效果，此种设计，气体因管路方向改变，碰撞管壁，而排气管外为外腔，进行废气的冷却，亦能提高排气的冷凝效果，排气管作为内管路进行废气排放，外腔作为外管路为pcw冷却管路。这样，有效提高废气冷却效果，提高废气处理效率。
24.所述的尾气处理装置还包括水箱15，喷淋室2下端通过管道与水箱15连通，喷淋头8与水箱15连通。
25.所述的ctw进口14与水箱15连通，水箱15上还设置排水口12。
26.所述的水箱15内设置水泵13，喷淋头8与水泵13连接。
27.所述的水箱15内设置液位传感器，液位传感器包括高位液位传感器、中位液位传感器、低位液位传感器。
28.所述的排水口12的水平高度高于水箱15底部。
29.本实用新型所述的尾气处理装置中，进气口：进气口位于燃烧室上方，连通反应腔，便于气体进入，进气口的数量可根据需求设定，兼容1～6口；燃烧室：燃烧室的内腔为反应腔，气体在此部分解离及燃烧，外腔为冷却腔，且进水口位于燃烧室底部，出水口位于燃烧室顶部，可增大冷却水在此腔室的流动性，在确定降温效果的同时，节省pcw用量，燃烧室的pcw与排气口的pcw为同管路，降低成本；喷淋室：具备双喷淋头设计，增大气体与ctw接触面积，提供水溶性气体处理效率，且此部分ctw为循环泵供水，非新水，可确保压力的同时，喷淋后的ctw可通过重力流入水箱中，节约成本；水箱：设置液位传感器，具备高、低、中液位传感器，根据液位高低，控制ctw进水，提供新水进入(液位较低时，进水口开启，进水)，具备排水口，排水口设计高于底部，避免粉尘堵塞排水管路(液位较高时，进行排水或定期进行排水，避免ctw废气饱和度较高)，具备水泵(循环泵)，为喷淋口及喷淋头提供ctw及供压；排气口：排气口设计为波浪形，增大气体在管路中的行程，增大pcw接触面积，提高冷却效果，此种设计，气体因管路方向改变，碰撞管壁，亦能提高排气得冷凝效果，内管路进行废气排放，外管路为pcw冷却管路，pcw进水口在排气口下方，pcw出水口在pcw排气口上方，增大pcw在此管路中的流动性，在确定降温效果的同时，降低成本；因废气经过高温燃烧及喷淋后，温度较高(＞50℃)，且湿度较大，外管pcw温度＜20℃，具备较大的温度差，废气在排气口冷凝，冷凝水随着重力回落至喷淋室内，避免冷凝水进入排风管路(酸排风)中，避免造成生产及安全事故。
30.本实用新型所述的尾气处理装置，进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。
31.上面结合附图对本实用新型进行了示例性的描述，显然本实用新型具体的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护
范围内。