高精度高均匀度洁净室系统的制作方法

技术特征：

1.一种高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，包括：

洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；

空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组和设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组；

及智能控制系统，其包括集成有控制主机的触摸控制屏和多个设置在所述空调室内处理机组上的检测装置；

其中，所述空调室内处理机组包括外壳及设置在所述外壳内的风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘、冷凝水排水泵、控制器；所述检测装置包括温度传感器和湿度传感器；所述控制主机包括采集模块、处理模块和控制模块。

2.根据权利要求1所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述风机滤器机组包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室内。

3.根据权利要求1所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述空调室内处理机组的外壳顶部设置有滚轮和用于驱动所述滚轮移动的电机；所述高架地板底部设置有若干用于配合安装所述空调室内处理机组的滑轨，所述空调室内处理机组通过其上的滚轮配合倒挂设置在所述滑轨上，所述电机驱动所述滚轮滚动，并带动所述空调室内处理机组在所述滑轨上来回运动。

4.根据权利要求3所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述空调室外机与所述空调室内处理机组连接，所述空调室外机为所述空调室内处理机组提供冷媒；所述控制器与所述风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘、冷凝水排水泵和电机均电连接，所述控制器还与所述空调室外机和检测装置均电连接。

5.根据权利要求4所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述温度传感器和湿度传感器分别检测器所在的空调室内处理机组附近的空气的温度值和湿度值，所述采集模块采集所述空调室内处理机组上的所述温度传感器和湿度传感器的检测结果；所述控制模块用于对所述空调室外机和对应的所述空调室内处理机组进行控制。

6.根据权利要求1所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述风机滤器机组上设置有上回风静压箱，所述高架地板底面设置有下回风静压箱。

7.根据权利要求6所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述内洁净隔断室包括架设在所述高架地板上且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的两块侧向隔板及连接于所述两侧向隔板顶部且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的顶部隔板；所述多孔高架地板的下方与所述洁净室房间之间形成回风腔；所述两块侧向隔板、顶部隔板、洁净室房间的前后墙面及高架地板围绕形成所述内洁净隔断室，所述内洁净隔断室通过其底部的多孔高架地板与下方的回风腔连通，所述内洁净隔断室中的空气通过所述多孔高架地板向下进入到所述回风腔内。

8.根据权利要求7所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述多孔高架地板的下方与所述洁净室房间之间形成回风腔；所述两块侧向隔板、顶部隔板、洁净室房间的前后墙面及高架地板围绕形成所述内洁净隔断室，所述内洁净隔断室通过其底部的多孔高架地板与下方的回风腔连通，所述内洁净隔断室中的空气通过所述多孔高架地板向下进入到所述回风腔内。

9.根据权利要求8所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述回风夹道处于所述风淋室的对侧，所述回风夹道下端与所述回风腔连通，上端连通至所述上回风静压箱；所述缓冲走廊底部与所述回风腔连通，顶部连通至所述上回风静压箱；所述回风腔内的空气通过所述回风夹道和缓冲走廊回流到所述上回风静压箱内。

10.根据权利要求7所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述内洁净隔断室上与所述风淋室连接的侧向隔板上设置有密封门。