扩散炉的制作方法

本实用新型涉及半导体加工技术领域，更具体的说，它涉及一种扩散炉。

背景技术：

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

现有技术可参考授权公告号为CN204957758U的中国实用新型专利，其公开了一种应用于氧化扩散炉的上料送片装置。该装置包括A升降导轨、A升降导轨基板、平移电机、平移导轨、桨、平移电机支架、B升降导轨基板、B升降导轨、升降电机支架、升降电机、平移导轨滑块、升降丝杠螺母、平移导轨基板、升降导轨滑块、升降丝杠、平移丝杠螺母和平移丝杠。本设计采用单桨对多炉的炉体上料送片技术，利用PLC通过两个伺服电机分别控制载着硅片的桨进行Y轴的升降及X轴的水平运动，使其根据对应的工艺到达不同的炉口高度位置后，将桨推进炉内完成送片。本设计提高了氧化扩散炉设备上料送片的自动化水平；解决了上料送片过程中人工操作所遇到的问题；提高了工作效率。

但是，上述实用新型中存在以下不足：采用单桨对多炉，桨每次只能向一个炉体内自动上料，从而使上料效率不高。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种扩散炉，上料装置中，分别为对应炉体的位置均设置有自动上料的桨，一个桨分别对一个炉体内上料，提高上料效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种扩散炉，包括箱体、设置于箱体上的多个炉体以及设置于炉体一端的上料装置，所述上料装置包括机架、滑移连接于机架上的多个上料机构以及驱动上料机构在机架上滑移的驱动机构；每个所述炉体分别对应一个上料机构，驱动机构驱动上料机构分别对每个炉体同时上料；所述上料机构包括载料板以及设置于载料板一端的推料组件，当载料板运动到炉体的端部时，推料组件能够将载料板上的物料推入到炉体内。

通过采用上述方案，对炉体内进行上料时，分别在每个载料板上放置物料，驱动机构将各个上料机构上的载料板滑移至炉体的端部，推料组件将载料板上的物料推入到炉体内，使每个炉体分别对应一个载料板，各个上料机构的载料板分别对应各个炉体同时上料，提高上料效率。

较佳的，所述载料板是半圆形的弧形板。

通过采用上述方案，半圆形的弧形板方便承载物料，将物料放置于载料板上，当载料板向炉体的方向滑移时，载料板上的物料不易洒出。

较佳的，机架上固设有滑轨，滑轨上滑移连接有滑移座，载料板位于滑移座上，驱动机构与滑移座连接。

通过采用上述方案，驱动机构推动滑移座在滑轨上滑移，从而使载料板向炉体的方向移动，将载料板上的物料向炉体运输。

较佳的，所述载料板可拆卸连接于滑移座上。

通过采用上述方案，长时间使用后，载料板可能会损坏，载料板可拆卸连接于滑移座上，方便对载料板进行更换。

较佳的，所述滑移座的顶部呈弧形，载料板放置于滑移座顶部的弧形面内，载料板的顶部放置有固定柱，固定柱的外侧壁与弧形面相配合，固定柱的顶部设置有将其与滑移座固定的锁紧件，锁紧件方便将固定柱与滑移座固定或拆卸。

通过采用上述方案，取下锁紧件，即可将固定柱取下，再将固定柱从滑移座上取下，即可取下载料板，方便载料板的拆卸和安装。

较佳的，所述锁紧件为卡箍。

通过采用上述方案，卡箍方便将固定柱与滑移座固定，同时也方便使固定柱与滑移座分离，方便固定柱与滑移座的拆卸和安装。

较佳的，所述推料组件包括滑移连接于载料板上的弧形推料板以及连接于弧形推料板上的驱动气缸，固定柱内开设有空腔，驱动气缸的缸体固设于空腔内，驱动气缸的活塞杆固设于弧形推料板靠近固定柱的一侧。

通过采用上述方案，当载料板滑移到炉体的端部时，驱动气缸的活塞杆伸长，推动弧形推料板在载料板上移动，将载料板上的物料推入到炉体内。

较佳的，所述驱动机构包括螺纹连接于滑移座底部的丝杆、固设于丝杆端部的齿轮、啮合于齿轮外的链条以及驱动链条运动的驱动电机，丝杆的端部与机架转动连接。

通过采用上述方案，驱动机构驱动链条转动，链条传动并与齿轮啮合，从而带动齿轮转动，进而带动丝杆转动，丝杆转动，即可带动滑移座在滑轨上滑移。

综上所述，本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：

1.机架对应每个炉体的位置滑移连接有一个上料机构，上料机构包括载料板，机架上固设有导轨，导轨上滑移连接有滑移座，载料板连接于滑移座上，各个滑移座上连接有驱动滑移座滑移的驱动机构，驱动机构同时驱动各个滑移座滑移，同时驱动各个滑移座上的载料板向炉体的方向移动，各个载料板分别对应各个炉体同时上料，提高上料效率；

2.载料板的一端设置有弧形推料板，弧形推料板上连接有驱动气缸，驱动气缸的活塞杆伸长，推动弧形推料板在载料板上移动，将载料板上的物料推入到炉体内；

3.弧形载料板放置于滑移座上，载料板的顶部放置有固定柱，固定柱与滑移座之间通过卡箍固定，卡箍固定，方便固定柱和载料板的拆卸和安装。

附图说明

图1是实施例的轴测图；

图2是上料机构的爆炸图；

图3是上料机构和驱动机构的结构示意图。

附图标记：1、箱体；11、炉体；2、上料装置；21、机架；22、上料机构；221、滑轨；222、滑移座；223、载料板；224、固定柱；2241、空腔；225、卡箍；226、驱动气缸；227、弧形推料板；23、驱动机构；231、丝杆；232、齿轮；233、链条；234、驱动电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

实施例：一种扩散炉，参见图1，包括纵向排列于箱体1上的四个炉体11以及设置于炉体11一端的上料装置2，炉体11横向固设于机架21上，炉体11的一端朝向上料装置2，上料装置2包括机架21、滑移连接于机架21上的上料机构22以及驱动上料机构22在机架21上滑移的驱动机构23，每个上料机构22分别对应一个炉体11，四个上料机构22的结构相同，此处仅以一个上料机构22为例。

参见1和图2，上料机构22包括沿机架21的长度方向固设于机架21上的滑轨221、滑移连接于滑轨221上的滑移座222以及可拆卸连接于滑移座222上的载料板223，载料板223呈半圆形的弧形板，半圆形的弧形板能防止物料从载料板223上散出；滑移座222的顶部呈弧形设置，载料板223放置于滑移座222的顶部，滑移座222的顶部设置有固定柱224，固定柱224的弧面与载料板223相配合，固定柱224的顶部设置有卡箍225，固定柱224通过卡箍225与滑移座222固定，从而实现将载料板223与滑移座222固定；为了将载料板223上的物料推入到炉体11内，载料板223上滑移连接有一个弧形推料板227，弧形推料板227的一端设置有推动弧形载料板223滑移的驱动气缸226，固定柱224内开设有空腔2241，驱动气缸226的缸体固设于空腔2241内，驱动气缸226的活塞杆固设于弧形推料板227靠近固定柱224的一侧。

参见图1和图3，驱动机构23包括分别螺纹连接于四个滑移座222上的丝杆231、固设于四个丝杆231远离炉体11一端的齿轮232以及啮合于四个齿轮232外的链条233，底部的齿轮232上连接有驱动其转动的驱动电机234，驱动电机234固设于机架21上。驱动电机234转动，驱动底部的齿轮232转动，从而带动链条233移动，进而带动所有的齿轮232转动，驱动丝杆231转动，使丝杆231上的滑移座222带动载料板223向炉体11的方向运动。

使用原理：将物料放入到载料板223内，打开驱动电机234，驱动电机234带动链条233转动，从而带动固设于各个丝杆231上的齿轮232转动，从而带动丝杆231转动，驱动滑移座222移动，将滑移座222上的载料板223推送到炉体11的端部；驱动气缸226活塞杆伸长，推动弧形推料板227向炉体11的方向移动，将载料板223上的物料推入到炉体11内。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。