热风炉水冷却降温机构的水气分离系统的制作方法

文档序号:18102576发布日期:2019-07-06 11:26阅读:479来源:国知局
热风炉水冷却降温机构的水气分离系统的制作方法

本实用新型涉及热风炉领域,具体是一种热风炉水冷却降温机构的水气分离系统。



背景技术:

热风炉是热动力机械,已广泛应用于工业生产的各个领域。目前,应用于半导体产品生产领域的热风炉,冷却所使用的是循环水系统供水,水冷降温管道内残余的水是无法排出的,在加热过程中,水冷降温管道内残余的水随炉腔升温到300℃时,会产生至少1.5Mpa的压强,导致冷却管发生破裂,造成炉内产品氧化等问题,存在较大的安全隐患。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,排出炉内冷却管道中的冷却水,以达到提升安全性的目的。

本实用新型的技术方案如下:

一种热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,包括有延伸到炉腔内的水冷却降温机构,其特征在于:所述水冷却降温机构的进水端分别连接有冷却水供水管和压缩空气进气管,所述的冷却水供水管和压缩空气进气管中分别安装有第一、二阀门;所述水冷却降温机构的排水端连接有储液罐,所述储液罐的底部和顶部分别设有排水口和排气口,并分别连接有冷却水回水管和排气管,所述的冷却水回水管和排气管中分别安装有第三、四阀门。

所述的热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,其特征在于:所述的水冷却降温机构包括有延伸到炉腔内的冷却水进、排水管、连接在冷却水进、排水管之间且相串联的多根冷却管以及分别固定连接在多根冷却管之间且呈间隔分布的多个翅片。

所述的热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,其特征在于:所述的冷却水供水管和压缩空气进气管分别与所述冷却水进水管相连接,所述的储液罐与所述冷却水排水管相连接。

所述的热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,其特征在于:所述的第一、二、三、四阀门均采用电磁阀。

所述的热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,其特征在于:所述的储液罐中分别安装有高位液位传感器和低位液位传感器,所述的高位液位传感器和低位液位传感器外接有报警器。

本实用新型的有益效果:

本实用新型结构简单,通过阀门的切换在向水冷却降温机构进行自动供、排冷却水的同时,能够利用压缩空气排出水冷降温管道内残余的水,并能够进行泄压,提升了安全性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

参见图1,一种热风炉水冷却降温机构的水气分离系统,包括有延伸到炉腔内的水冷却降温机构1,水冷却降温机构1的进水端分别连接有冷却水供水管2和压缩空气进气管3,冷却水供水管2和压缩空气进气管3中分别安装有第一、二阀门4、5;水冷却降温机构1的排水端连接有储液罐6,储液罐6的底部和顶部分别设有排水口和排气口,并分别连接有冷却水回水管7和排气管8,冷却水回水管7和排气管8中分别安装有第三、四阀门9、10。

水冷却降温机构1包括有延伸到炉腔内的冷却水进、排水管1-1、1-2、连接在冷却水进、排水管1-1、1-2之间且相串联的多根冷却管1-3以及分别固定连接在多根冷却管1-3之间且呈间隔分布的多个翅片1-4。

本实用新型中,冷却水供水管2和压缩空气进气管3分别与冷却水进水管1-1相连接,储液罐6与冷却水排水管1-2相连接。

第一、二、三、四阀门4、5、9、10均采用电磁阀。

储液罐6中分别安装有高位液位传感器11和低位液位传感器12,高位液位传感器11和低位液位传感器12外接有报警器。

以下结合附图对本实用新型作进一步的说明:

水冷却降温机构1对炉腔进行降温时,第一、三阀门4、9打开,第二、四阀门5、10关闭,此时冷却水供水管2向水冷却降温机构1提供冷却水,与炉腔内快速循环的气体进行快速热交换,从而对炉腔进行降温;热交换后的水大部分排入储液罐6中,并由冷却水回水管7回流至供水源;当储液罐6中的水位达到高位液位传感器11所在位置时,产生高水位报警信号,提示出现高水位。

水冷却降温机构1对炉腔进行降温结束后,第二、三阀门5、9打开,第一、四阀门4、10关闭,此时压缩空气进气管3向水冷却降温机构1提供压缩空气(氮气),将水冷却降温机构1内部管道中残余的水排入储液罐6中,压缩空气(氮气)也随之进入储液罐6中。

当高水位报警信号消失,储液罐6中的水位达到低位液位传感器12所在位置时,产生低水位报警信号,提示水冷却降温机构1内部管道中残余的水已排入储液罐6中,此时第一、二、三阀门4、5、9均关闭,第四阀门10打开,排出储液罐6中的压缩空气(氮气),进行泄压。

以上的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方案进行描述,并非对本实用新型的保护范围进行限定,在不脱离本实用新型设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的变形和改进,均应落入本实用新型的保护范围内。

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