适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统的制作方法

本实用新型属于电子工业洁净室领域，涉及一种适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统。

背景技术：

电子产品已渗透到各行各业，电子信息产业对社会变化影响力日益加大，被全球各主要国家作为战略性发展产业。随着以平板电视、智能手机等为代表的市场热点产品的发展，速度进一步加快，2018年1-2月，规模以上电子信息制造业增加值同比增长12.1％，快于全部规模以上工业增速4.9个百分点，在制造业细分行业中增速排名居前列。

洁净室是电子工业的基础，对于保障电子产品生产质量具有非常重要的作用。mau+ffu+dcc洁净系统是电子工业洁净室中应用得十分广泛的洁净形式。压差是电子洁净室的重要控制参数之一，对于保证电子洁净室的室内空气环境具有十分重要的作用。

动态压差控制对于保障洁净室洁净度和降低运行成本意义明显，当前，关于洁净室压差控制的研究相对较少，而且大都集中设计工况(稳态)下送风量与压差的对应关系上，而关于运行状态下动态压差控制的研究更少，且停留在定性研究层面，工程适应性和可操作性均较差。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统，具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制问题。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本实用新型提供一种适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统，包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；

所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。

进一步，所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。

本实用新型的适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；

工作模式调试时，各洁净室处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为工作模式调试状态；

值班模式调试时，让各洁净室处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为值班模式调试状态。

新风机组的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比各洁净室的支路风管上的风压传感器所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。

工作模式的压差控制包括以下步骤：

s1：系统启动进入工作模式，将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度初始设置为工作模式调试状态；

s2：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机的运转速度与电动调节阀的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机的运转速度与电动调节阀的开度状态维持不变；

s3：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到上限值时，将支路风机的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机运转速度与电动调节阀阀位状态维持不变；

s4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。

值班模式的控制方式为：将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型从调试阶段即分为工作模式和值班模式，两种控制模式的初始设置均设为各自的调试状态。各洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再行调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点；本实用新型明确了新风机组风机与支路风机的选型风量、工作模式与值班模式的压差调试方法、工作模式的压差控制步骤、值班模式的压差控制方法。本实用新型具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制问题。

本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本实用新型的实践中得到教导。本实用新型的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。

附图说明

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作优选的详细描述，其中：

图1为本实用新型所述适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统结构示意图；

图2为本实用新型所述末端压差控制装置结构示意图。

附图标记：新风机组1、末端压差控制装置2、压差传感器3、集中控制器4、电动调节阀5、风压传感器6、支路风机7、压差控制器8。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

本实用新型提供一种适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统，如图1所示，包括新风机组1、末端压差控制装置2、压差传感器3和集中控制器4；所述新风机组1设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置2设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器3设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器4与新风机组1、末端压差控制装置2及压差传感器3通过信号线连接进行控制；

如图2所示，所述末端压差控制装置2包括电动调节阀5、风压传感器6、支路风机7和压差控制器8；所述电动调节阀5、风压传感器6和支路风机7均通过信号线与压差控制器8信号连接，所述压差控制器8与集中控制器4信号连接；所述电动调节阀5用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器6设置在支路风机7入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机7用于调节洁净室的进风量。

进一步，所述新风机组1风机与支路风机7均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组1风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机7的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。

本实用新型提供的一种适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组1风机、电动调节阀5、支路风机7会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；

工作模式调试时，各洁净室1～n处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀5开度均为100％，调整支路风机7的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组1运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组1的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度信息作为工作模式调试状态；

值班模式调试时，让各洁净室1～n处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀5开度均为100％，调整支路风机7的运转速度直至各洁净室1～n的压差处于控制范围之内，新风机组1运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组1运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度信息作为值班模式调试状态。

新风机组1的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比洁净室1～n的支路风管上的风压传感器6所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。

工作模式的压差控制包括以下步骤：

s1：系统启动进入工作模式，将新风机组1风机的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度初始设置为工作模式调试状态；

s2：当洁净室x的压差传感器3所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机7的运转速度与电动调节阀5的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机7运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机7的运转速度与电动调节阀5的开度状态维持不变；

s3：当洁净室x的压差传感器3所测定的压差达到上限值时，将支路风机7的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机7停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀5的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机7运转速度与电动调节阀5阀位状态维持不变；

s4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组1的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。

值班模式的控制方式为：将新风机组1风机的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。