一种洁净厂房的制作方法

本实用新型涉及平板显示器生产制造技术领域，尤其涉及一种洁净厂房。

背景技术：

当前，电子工业的主流产品为半导体芯片和平板显示器件，由于其生产过程的精密加工要求，其生产环境需要严格的洁净度等级，因此，半导体芯片以及平板显示器件的加工生产需要在洁净室中进行，洁净室内的洁净度等级通过设置在吊顶上的风机过滤器机组向室内送入洁净空气，并将室内的悬浮粒子从回风口排出来维持。传统的洁净厂房如图1所示，包括厂房本体1，厂房本体1内设有上技术夹层5、下技术夹层6以及位于上技术夹层5和下技术夹层6之间的洁净生产层，洁净生产层内设有架空设置的华夫板3以及设置在华夫板3上的洁净室2，洁净室2包括位于华夫板3上的高架地板201、吊顶202以及与高架地板201以及吊顶202配合的墙板，洁净室2两侧设有用于连通下技术夹层5与上技术夹层6的技术夹道7，且下技术夹层6与每个技术夹道7之间设有用于冷却循环空气的干冷却盘管9。

洁净室2内需要保证空气洁净度的空间有三部分，分别为物料存储区211、物料传输区212以及工艺生产区22，其中，物料存储区211设有物料存储架10，用于存储待加工的玻璃基板、芯片等物料，物料传输区212内设有自动搬运装置；工艺生产区22通常布置工艺生产设备，也是操作人员的活动区域。由于物料存储区211以及物料传输区212内待加工的玻璃基板、芯片等与环境空气直接接触，所以该空间内空气洁净度等级通常远远严于工艺生产区22内的空气洁净度等级。

工艺生产区22的吊顶202上布置有多个风机过滤器机组8，并且，为了保证物料存储与传输区21较严格的洁净度等级，通常在物料传输区212的吊顶202上满布风机过滤器机组8，并在物料存储架10的侧面高密度布置风机过滤器机组8。整个洁净室净化空调系统的空气流通路径如图1中的箭头所示，其中，由于物料存储架10侧面安装的风机过滤器机组8吸入的是工艺生产区22内的空气，致使工艺生产区22的吊顶202上需要额外布置与物料存储架10侧面安装的风机过滤器机组相同风量的风机过滤器机组，导致工艺生产区22的吊顶202上需要安装的风机过滤器机组8的数量大大增加，同样，能耗也相应增加。

另外，物料存储区211与物料传输区212的洁净度等级要求很严，需要保证洁净度等级的送风量很大，但该区域内的设备发热量又很小，所以流经该区域的空气流只有极少部分需要冷却处理，但按照图1所示的传统的洁净室2营造方式，安装在物料传输区212顶部的风机过滤器机组8以及安装在物料存储架10侧壁上的风机过滤器机组8吸入的气流都为经过干冷却盘管9处理后的气流，同时，从工艺生产区22以及物料传输区212流出的气流进入下技术夹层6后，全部经过了干冷却盘管9处理，致使干冷却盘管9的数量额外增加很多，导致很多工程出现在规定的空间内布置不下干冷却盘管9的情况；再者，从工艺生产区22以及物料传输区212送出的气流全部经过技术夹道7以及上技术夹层5，致使技术夹道7以及上技术夹层5所需要的空间增大，增加了建设成本。

技术实现要素：

本实用新型提供一种洁净厂房，通过对洁净室净化空调系统的空气循环路径进行优化，减少了工艺生产区的送风量以及干冷却盘管和风机过滤器机组的数量，压缩了技术夹道以及上技术夹层所占用的空间，降低了能耗以及建设成本。

本实用新型实施例提供了一种洁净厂房，该洁净厂房包括厂房本体，所述厂房本体内设有上技术夹层、下技术夹层以及位于所述上技术夹层和所述下技术夹层之间的洁净生产层，所述洁净生产层内设有架空设置的华夫板以及设置在所述华夫板上的洁净室，所述洁净室包括上部的吊顶以及与所述吊顶配合的墙板，所述洁净室的两侧设有用于连通所述下技术夹层与所述上技术夹层的技术夹道，且所述下技术夹层与每个技术夹道之间设有用于冷却循环空气的干冷却盘管；其中，

所述洁净室内设有物料存储与传输区以及工艺生产区，且所述物料存储与传输区以及所述工艺生产区的吊顶分别设有多个风机过滤器机组；

所述物料存储与传输区内设有物料存储架组，所述物料存储架组的两侧分别设有隔墙板，每个隔墙板的顶部延伸至所述上技术夹层的顶部，且底部与所述华夫板连接；至少一个隔墙板延伸至所述上技术夹层的部分设有多个通风孔；

所述物料存储架组包括两排物料存储架，每排物料存储架与相邻的隔墙板之间的间隙形成回风夹道，且所述回风夹道分别与所述下技术夹层以及所述上技术夹层连通；所述每排物料存储架的侧壁上设有多个风机过滤器机组用以吸入所述回风夹道内的气流并送入相应的物料存储架内部。

上述实施例中，在每排物料存储架背离另一排物料存储架的一侧设置了延伸至上技术夹层顶部的隔墙板，并在外延部分设置通风孔，且隔墙板与物料存储架之间形成了连通上技术夹层与下技术夹层的回风夹道，从而对洁净室净化空调系统的空气循环路径进行了优化，使从物料存储与传输区流出的大部分气流可以直接进入回风夹道内，回风夹道内的气流通过设置在物料存储架侧壁上的风机过滤器机组以及设置在物料存储与传输区顶部的风机过滤器机组重新回到物料存储与传输区内，实现了就地循环，这样设置减少了工艺生产区的送风量以及干冷却盘管和风机过滤器机组的数量，压缩了技术夹道以及上技术夹层所占用的空间，降低了能耗以及建设成本。

可选的，每个通风孔上设有百叶风口。

或者，每个通风孔上设有用于调节开孔面积以控制进风量的风量调节阀。

可选的，还包括用于驱动所述风量调节阀动作的驱动装置，以及设置在所述物料存储与传输区内的温度传感器，所述驱动装置用于根据所述温度传感器检测的温度驱动所述风量调节阀动作。

可选的，所述驱动装置包括驱动电机。

可选的，所述每个隔墙板延伸至所述上技术夹层的部分均设有多个通风孔。

附图说明

图1为现有技术中提供的洁净厂房的构造示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种洁净厂房的构造示意图。

附图标记：

1-厂房本体

2-洁净室

201-高架地板202-吊顶

21-物料存储与传输区

211-物料存储区212-物料传输区

22-工艺生产区23-回风夹道

3-华夫板4-隔墙板401-通风孔

5-上技术夹层6-下技术夹层

7-技术夹道8-风机过滤器机组

9-干冷却盘管10-物料存储架

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种洁净厂房，该洁净厂房包括厂房本体，厂房本体内设有上技术夹层、下技术夹层以及位于上技术夹层和下技术夹层之间的洁净生产层，洁净生产层内设有架空设置的华夫板以及设置在华夫板上的洁净室，洁净室包括上部的吊顶以及与吊顶配合的墙板，洁净室的两侧设有用于连通下技术夹层与上技术夹层的技术夹道，且下技术夹层与每个技术夹道之间设有用于冷却循环空气的干冷却盘管；其中，

洁净室内设有物料存储与传输区以及工艺生产区，且物料存储与传输区以及工艺生产区的吊顶分别设有多个风机过滤器机组；

物料存储与传输区内设有物料存储架组，物料存储架组的两侧分别设有隔墙板，每个隔墙板的顶部延伸至上技术夹层的顶部，且底部与华夫板连接；至少一个隔墙板延伸至上技术夹层的部分设有多个通风孔；

物料存储架组包括两排物料存储架，每排物料存储架与相邻的隔墙板之间的间隙形成回风夹道，且回风夹道分别与下技术夹层以及上技术夹层连通；每排物料存储架的侧壁上设有多个风机过滤器机组用以吸入回风夹道内的气流并送入相应的物料存储架内部。

上述实施例中，在每排物料存储架背离另一排物料存储架的一侧设置了隔墙板，且隔墙板延伸至上技术夹层的顶部，并在物料存储架与隔墙板之间形成连通上技术夹层与下技术夹层的回风夹道，这样，从物料存储与传输区流出的气流进入下技术夹层后，由于路径和压力平衡等原因，大部分通过华夫板上的孔洞进入位于物料存储与传输区两侧的回风夹道内，在回风夹道内，一部分气流被设置在物料存储架侧壁上的风机过滤器机组吸入，经过滤、加压后送入物料存储与传输区内，另一部分气流向上流动进入上技术夹层，并被设置在物料存储与传输区顶部的风机过滤器机组吸入，经过滤、加压后送入内部，即大部分气流实现了就地循环，由于这部分就地循环的气流不再经过干冷却盘管、技术夹道以及上技术夹层，所以，干冷却盘管的数量可大大减少，并且，技术夹道以及上技术夹层所占用的空间也可以进行压缩，降低了洁净室营造的建设成本，同时，由于物料存储架侧壁上设置的风机过滤器机组不再从工艺生产区吸入空气，从而减小了工艺生产区的送风量以及风机过滤器机组数量，降低了能耗及建设成本；另外，隔墙板延伸至上技术夹层的部分设置有通风孔，经过干冷却盘管处理后的低温气流可以通过这些通风孔进入物料存储与传输区顶部的上技术夹层内，并被设置在物料存储与传输区顶部的风机过滤器机组吸入，以维持内部的温度要求。

为了更加清楚的了解本实用新型实施例提供的洁净厂房的结构以及原理，现结合附图进行详细的描述。

如图2所示，该洁净厂房包括厂房本体1，厂房本体1内设有上技术夹层5、下技术夹层6以及位于上技术夹层5和下技术夹层6之间的洁净生产层，洁净生产层内设有架空设置的华夫板3以及设置在华夫板3上的洁净室2，洁净室2两侧还设有用于连通下技术夹层6与上技术夹层5的技术夹道7，且下技术夹层6与每个技术夹道7之间设有用于冷却循环空气的干冷却盘管9。

华夫板3为均匀开有孔洞的混凝土板，具有支撑以及通风功能；洁净室2包括上部的吊顶202以及与吊顶202配合的墙板，洁净室2内设有物料存储与传输区21以及工艺生产区22，且物料存储与传输区21以及工艺生产区22的吊顶分别设有多个风机过滤器机组8；物料存储与传输区21内设有物料存储架组，物料存储架组的两侧分别设有隔墙板4，每个隔墙板4的顶部延伸至上技术夹层5的顶部，且底部与华夫板3连接，且至少一个隔墙板4延伸至上技术夹层5的部分设有多个通风孔401；物料存储架组包括两排物料存储架10，每排物料存储架10与相邻的隔墙板4之间的间隙形成回风夹道23，且每个回风夹道23分别与下技术夹层6以及上技术夹层5连通；具体的，回风夹道23通过华夫板3上开设的孔洞与下技术夹层6连通，回风夹道23通过吊顶202上开设的孔洞与上技术夹层5连通，且吊顶202上开设的这些孔洞分布在与回风夹道23对应的区域。

物料存储与传输区21内，物料存储架10用于存储待加工的玻璃基板、芯片等物料，设置有物料存储架10的区域即物料存储区211，两排物料存储架10之间的区域形成物料传输区212，物料传输区212内设置有自动搬运装置；其中，在物料存储区211，每排物料存储架10的侧壁上设有多个风机过滤器机组8用以吸入回风夹道23内的气流并送入相应的物料存储架10内部，即，这些风机过滤器机组8可以吸入进入回风夹道23内的气流，并经过滤、加压处理后向物料存储架10内部送出，即向物料存储区211送出，从而稀释物料存储区211内的悬浮粒子浓度，以维持物料存储区211的洁净度等级要求；在物料传输区212，高密度布置在顶部的风机过滤器机组8吸入上技术夹层5内的气流，并经过滤、加压处理后向物料传输区212内送出，从而稀释物料传输区212的悬浮粒子浓度，以维持物料传输区212的洁净度等级要求。

另外，在物料存储区211内，华夫板3上设置有高架地板201，高架地板201的表面比较平整，便于放置物料存储架10，同理，也可以在工艺生产区22内，在华夫板3上设置高架地板201，并在高架地板201上开设孔洞，从而保证了工艺生产区22与下技术夹层6连通，并且，还可以将一些管路等装置可以布置在高架地板201与华夫板3之间的间隙内。回风夹道23的底部可以设置开有孔洞的高架地板201，也可以不设置高架地板201。

如图2中箭头所示的气流方向，从物料存储与传输区21流出的气流进入下技术夹层6后，一小部分气流向两侧流动，经干冷却盘管9后温度降低，并由技术夹道7进入上技术夹层5，大部分气流通过华夫板3以及高架地板201上的孔洞进入位于物料存储与传输区21两侧的回风夹道23内，在回风夹道23内，一部分气流被设置在物料存储架10侧壁上的风机过滤器机组8吸入，经过滤、加压后送入物料存储区211内，另一部分气流向上流动进入上技术夹层5，并被设置在物料存储与传输区21顶部的风机过滤器机组8吸入，经过滤、加压后送入物料传输区212，即大部分气流实现了就地循环，由于这部分就地循环的气流不再经过干冷却盘管9、技术夹道7以及上技术夹层5，所以，干冷却盘管9的数量可大大减少，并且，技术夹道7以及上技术夹层5所占用的空间也可以进行压缩，降低了洁净室营造的建设成本，同时，由于物料存储架10侧壁上设置的风机过滤器机组8不再从工艺生产区22吸入空气，从而减小了工艺生产区22的送风量以及风机过滤器机组8数量，降低了能耗及建设成本。

继续参考图2中箭头所示的气流方向，由于隔墙板4延伸至上技术夹层5的部分设置有通风孔401，经过干冷却盘管9处理后的低温气流可以通过通风孔401进入物料存储与传输区21顶部的上技术夹层5内，被风机过滤器机组8吸入并经过滤加压后送入物料存储与传输区21内，以满足物料存储与传输区21内的温度要求，其中，可以在一侧隔墙板4延伸至上技术夹层5的部分设置通风孔401，也可以在两侧的隔墙板4上均设有通风孔401。还可以在隔墙板4的每个通风孔401上设有百叶风口或用于调节开孔面积的风量调节阀(图中未示出)，通过风量调节阀可以调节通风孔401的开孔面积，从而调节从通风孔401内进入物料存储与传输区21顶部的低温气流的流量，进而调节物料存储与传输区21内的温度。进一步的，还可以设置用于驱动风量调节阀动作的驱动装置，并在物料存储与传输区内设置温度传感器，驱动装置具体用于根据温度传感器检测的温度驱动风量调节阀动作，以调节开孔面积的大小。具体的，驱动装置包括驱动电机。

在一个具体的实施例中，洁净厂房的结构如图2所示，其中，在厂房本体内，洁净室2包括物料存储与传输区21以及位于物料存储与传输区21两侧的工艺生产区22，物料存储与传输区21以及工艺生产区22的吊顶分别设有多个风机过滤器机组8；物料存储与传输区21内设有两排物料存储架10，并在每排物料存储10与相邻的工艺生产区22之间设有隔墙板4，每个隔墙板4延伸至上技术夹层5的顶部，并在外延部分设有多个通风孔401；

在物料存储与传输区21内，每排物料存储架10与相邻的隔墙板4之间的间隙形成回风夹道23，且每个回风夹道23分别与上技术夹层5以及下技术夹层6连通；每排物料存储架10的侧壁上设有多个风机过滤器机组8用以吸入回风夹道23内的气流并送入相应的物料存储架10内部。

该洁净厂房内空气循环的路径如下：

上技术夹层5内，经过干冷却盘管处理的低温气流一部分通过设置在工艺生产区22顶部的风机过滤器机组8进入工艺生产区22内，另一部分通过隔墙板4上的通风孔401进入物料存储与传输区21顶部的上技术夹层5内，并被风机过滤器机组8吸入后进入物料传输区内212；

工艺生产区22内，经过干冷却盘管处理的低温气流通过吊顶上的风机过滤器机组8进入工艺生产区22内部，以维持工艺生产区22的洁净度等级要求，这部分气流穿过设备区后进入下技术夹层，其中，一部分经干冷却盘管9后温度降低，并由技术夹道7返回至上技术夹层5，一部分通过华夫板3上的通风孔进入位于物料存储与传输区21两侧的回风夹道23内；由于工艺生产区22不再为物料存储与传输区21提供风量，因此，可以减小工艺生产区22顶部的风机过滤器机组8的数量，降低了能耗；

在物料存储与传输区21内，由通风孔流入的低温气流以及来自于回风夹道内的一部分气流所形成的混合气流通过设置在吊顶上的风机过滤器机组8进入物料传输区212内，以维持物料传输区212的高洁净度等级要求；回风夹道23内的另一部分气流通过设置在物料存储架10侧壁上的风机过滤器机组8进入物料存储区211，以维持物料存储区211的高洁净度等级要求；由物料存储区211以及物料传输区212流出的气流进入下技术夹层6后，一小部分气流向两侧流动，经干冷却盘管9后温度降低，并由技术夹道7进入上技术夹层5，大部分气流通过华夫板3上的通风孔回到位于物料存储与传输区21两侧的回风夹道23内；

下技术夹层6内，一部分气流进入回风夹道23内，一部分经干冷却盘管9进入技术夹道7，并达到上技术夹层5；由于进入回风夹道23内的气流不再经过干冷却盘管9，所以干冷却盘管9的数量可大大减少，降低了一次投资，同时，可减少干冷却盘管9的空气侧阻力，使风机过滤器机组8的运行能耗降低，也延长了高效(或超高效)空气过滤器的使用寿命；再则，由于这部分气流不再经过技术夹道7，以及上技术夹层5，可压缩技术夹道7以及上技术夹层5的空间，降低了洁净室2营造的一次投资。

通过以上描述可以看出，本实用新型实施例中，通过在每排物料存储架与相邻的工艺生产区之间设置延伸至上技术夹层顶部的隔墙板，并在外延部分设置通风孔，且隔墙板与物料存储架之间形成了连通上技术夹层与下技术夹层的回风夹道，从而对厂房本体内的气流循环路径进行了优化，减少了工艺生产区的送风量以及干冷却盘管的数量，压缩了技术夹道以及上技术夹层所占用的空间，降低了能耗以及建设成本。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。