一种大尺寸ITO靶材烧结炉的制作方法

本实用新型涉及ito靶材生产技术领域，尤其涉及一种大尺寸ito靶材烧结炉。

背景技术：

近年来，ito薄膜在液晶显示器(lcd)，电致彩色显示器(ecd)，平板显示器(fpd)，薄膜晶体管(tft)，太阳能电池等方面获得了广泛应用。在众多的氧化物导电膜中，ito薄膜具有导电性最好、对可见光透明和对红外光反射能力最强，是当今知识经济时代信息产业极为重要的电子功能材料。

国外对高密度ito靶材生产技术的严密封锁使我国对这一关键的信息功能材料的生产严重滞后，使高端ito靶材不得不长期依赖进口，严重阻碍了我国铟深加工产业链的建立。我国的铟产量居世界第一，将铟资源优势转化为经济效益，高品质ito靶材的开发与产业化生产是最佳的选择。但是ito靶材的烧结对温度要求非常高，有一定的技术难度。由于国内尚未完全打破高密度ito靶材生产的技术瓶颈，靶材的产品质量无法满足高端平板显示器的要求。因此，研制开发具有自主知识产权的ito靶材生产技术，加快高密度ito靶材产业化建设，是铟生产企业开发铟深加工产品的首选目标，也是促进高品质ito靶材国产化进程的必经之路。

技术实现要素：

鉴于目前技术存在上述不足，本实用新型提供一种大尺寸ito靶材烧结炉，能够提供一种氧气氛围均匀分布、高精度控温的ito靶材烧结炉，有效确保了大尺寸、高密度、高性能ito靶材的烧结环境。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种大尺寸ito靶材烧结炉，包括机架和设置在机架上方的主箱体，烧结炉还包括平台升降系统、进气系统、排气系统和温度控制系统，所述主箱体内设有炉膛，所述炉膛包括炉体、上炉盖和下炉门，所述平台升降系统与下炉门连接，所述下炉门上设有物料车，所述炉膛内设有加热组件，所述加热组件形成多个不同的温区，所述加热组件和温度控制系统连接，所述进气系统和排气系统与主箱体连接，所述进气系统包括设置在炉膛四周侧边靠下位置的多个进气口。

依照本实用新型的一个方面，所述烧结炉包括控制运行系统，所述平台升降系统、进气系统和排气系统分别与控制运行系统连接，所述控制运行系统还包括控制面板。

依照本实用新型的一个方面，所述物料车由下至上分别由金属支撑架、保温层、支撑隔热层和耐火层构成。

依照本实用新型的一个方面，所述平台升降系统包括升降平台和升降电机，所述下炉门固定在升降平台上。

依照本实用新型的一个方面，所述机架的下方设有外部导轨，所述物料车通过外部导轨在地面上水平移动。

依照本实用新型的一个方面，所述加热组件包括多组硅钼棒加热器，所述多组硅钼棒加热器可拆卸式垂直吊挂在炉膛内并沿炉膛四周均匀布置，所述多组硅钼棒加热器构成多个温区，所述多个温区内分别设有热电偶。

依照本实用新型的一个方面，所述炉膛内四周选用耐火保温毡通过螺栓固定于安装外壳内，所述耐火保温毡在炉膛内组块拼装固定，并与物料车四周封沙形成密封整体。

依照本实用新型的一个方面，所述进气口包括氧气进气口和空气进气口，所述氧气进气口和空气进气口均匀布置在炉膛四周侧边的底部。

依照本实用新型的一个方面，所述排气系统包括排气组件、电磁阀、风机和冷却气总管，所述排气组件包括设置在主箱体上方的多个气缸和风门。

本实用新型实施的优点：通过进气口从上箱体侧面底部通入氧气和空气，且数量众多分布合理保证了炉内氧气氛围的均匀分布，有利于控制ito靶材烧结时杂质的析出，适用于大尺寸、高性能ito靶材的烧结；温度控制系统分区采集数据，并可自动分区调节温度控温精度高，同时设备密封性能良好，保证ito烧结所必要的温度梯度；提供了一种可靠的大尺寸ito靶材烧结炉，达到了快速升温、精准控温、氧气氛围分布均匀、温度均匀、运行安全稳定等效果，适用于大尺寸、高性能ito靶材的烧结。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所述的一种大尺寸ito靶材烧结炉的正面结构示意图；

图2为本实用新型所述的一种大尺寸ito靶材烧结炉的侧面结构示意图；

图3为本实用新型所述的一种大尺寸ito靶材烧结炉的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，一种大尺寸ito靶材烧结炉，包括机架1和设置在机架1上方的主箱体3，烧结炉还包括平台升降系统、进气系统、排气系统和温度控制系统，所述主箱体3内设有炉膛，所述炉膛包括炉体、上炉盖和下炉门，上炉盖采用螺栓与炉体连接固定，所述平台升降系统与下炉门连接，所述下炉门上设有物料车4，所述炉膛内设有加热组件7，所述加热组件7形成多个不同的温区，所述加热组件7和温度控制系统连接，所述进气系统和排气系统与主箱体3连接，所述进气系统包括设置在炉膛四周侧边靠下位置的多个进气口8。

所述烧结炉包括控制运行系统，所述平台升降系统、进气系统和排气系统分别与控制运行系统连接，所述控制运行系统还包括控制面板，整个控制运行系统可以通过自动或半自动操作完成预先设定的结过程的温度控制和操作流程。

所述平台升降系统包括升降平台5和升降电机6，所述下炉门固定在升降平台5上，在升降电极的作用下使得升降平台5以及物料车4垂直升降实现上料的步骤。具体的，当物料车4固定在下炉门上后，检查控制面板“装载车推入完成”灯是否亮起，完成装载车的推入，并可以根据程序实现下降动作；急停状态自动复位动作等

所述机架1的下方设有外部导轨2，所述物料车4通过外部导轨2在地面上水平移动，物料车4通过卡钳和下炉门固定，物料车4可随下炉门垂直升降和水平移动，当下炉门随着升降平台5上升时，由顶部接近开关定位控制与炉体形成封闭炉膛，当下炉门随着升降平台5降至地面时，可人工推拉使其水平移动装卸物料。

所述加热组件7包括多组硅钼棒加热器，所述多组硅钼棒加热器可拆卸式垂直吊挂在炉膛内并沿炉膛四周均匀布置，所述多组硅钼棒加热器构成多个温区，所述多个温区内分别设有热电偶。在应用中，可设置72根硅钼棒加热器并分为12组，每2组组成一个温区，并由热电偶监测6个区的温度，同时电气自动控制柜的温度控制系统对加热器进行控温，热场温度控制在±5度。所述进气口8包括氧气进气口8-1和空气进气口8-2，所述氧气进气口8-1和空气进气口8-2均匀布置在炉膛四周侧边的底部。所述进气系统还包括进气质量流量控制器、减压阀内置止回阀、压力变送器带现场指示、连接接管和气体源，所述气体源包括氧气源和空气源，分别与氧气进口和空气进口连接，所述进气质量流量控制器包括调节阀带止回阀、电磁阀、浮子流量计和压力开关等，可控制调节各个进气口8的气体流量。

所述排气系统包括排气组件9、电磁阀、风机和冷却气总管10，所述排气组件9包括设置在主箱体3上方的多个气缸和风门9-1。通过电磁阀控制气缸，从而在气缸的作用下控制风门9-1的启闭，并通过电磁阀控制风机的启闭，进而通过打开的风门9-1进行排气冷却，所述冷却器总管10盘绕在主箱体3的外侧壁上。且和温度控制器连锁实现调节炉内温度。

所述控制运行系统还包括安全保护系统和指示灯系统。

安全保护系统还包括超温报警、进气压力故障报警、scr故障报警、风机变频器故障报警等。

在实际应用中，所述物料车4由下至上分别由金属支撑架、保温层、支撑隔热层和耐火层构成，所述炉膛内四周选用耐火保温毡通过螺栓固定于安装外壳内，所述耐火保温毡在炉膛内组块拼装固定，并与物料车4四周封沙形成密封整体，增强物料车4以及炉膛的结构，延长其使用寿命。

本实用新型实施的优点：通过进气口从上箱体侧面底部通入氧气和空气，且数量众多分布合理保证了炉内氧气氛围的均匀分布，有利于控制ito靶材烧结时杂质的析出，适用于大尺寸、高性能ito靶材的烧结；温度控制系统分区采集数据，并可自动分区调节温度控温精度高，同时设备密封性能良好，保证ito烧结所必要的温度梯度；提供了一种可靠的大尺寸ito靶材烧结炉，达到了快速升温、精准控温、氧气氛围分布均匀、温度均匀、运行安全稳定等效果，适用于大尺寸、高性能ito靶材的烧结。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本实用新型公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。