1.一种熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括:
料仓(2),储有缓蚀剂;
混合仓(3),设有工质进口(4)和工质出口(5)且通有工质;
第一投料通道,设于所述料仓(2)和所述混合仓(3)之间且用于连通两者,所述缓蚀剂通过所述第一投料通道进入所述混合仓(3)与所述工质混合;
第一封闭组件,用于开启或关闭所述第一投料通道;
旋转组件,设于所述混合仓(3),所述工质流动驱动所述旋转组件旋转;
传动组件,连接所述旋转组件和所述第一封闭组件;
其中,所述旋转组件通过所述传动组件传动使所述第一封闭组件旋转,所述第一封闭组件旋转时周期性开启或关闭所述第一投料通道。
2.根据权利要求1所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括:
隔离仓(6),设于所述料仓(2)和所述混合仓(3)之间,所述第一投料通道设于所述料仓(2)和所述隔离仓(6)之间且用于连通两者;
第二投料通道,设于所述隔离仓(6)和所述混合仓(3)之间且用于连通两者;
第二封闭组件,用于开启或关闭所述第二投料通道,且所述第二投料通道开启时,所述第一投料通道关闭。
3.根据权利要求2所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括加压组件,用于向所述隔离仓(6)内充入气体。
4.根据权利要求3所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括:
充气通道,设于所述传动组件内,所述传动组件穿设于所述隔离仓(6)且设有连通所述充气通道和所述隔离仓(6)的出气孔(8),所述充气通道一端与所述隔离仓(6)连通、另一端与所述加压组件的出气部连通。
5.根据权利要求4所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括第三封闭组件,固设于所述隔离仓(6)内,所述传动组件穿设且转动连接于所述第三封闭组件,所述第三封闭组件设有用于连通所述出气孔(8)和所述隔离仓(6)的连接孔(10),所述传动组件旋转时所述出气孔(8)和所述连接孔(10)周期性重合或错位,以使所述充气通道周期性的与所述隔离仓(6)连通。
6.根据权利要求3所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述加压组件为回转式气体压缩机,所述传动组件连接于所述回转式气体压缩机的转子。
7.根据权利要求2所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述第二封闭组件与所述传动组件连接,所述传动组件驱动所述第二封闭组件旋转,所述第二封闭组件旋转时周期性开启或关闭所述第二投料通道。
8.根据权利要求7所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于:
所述第一封闭组件为第一旋转件(16),所述第一旋转件(16)设于所述料仓(2)的一端,同时套设且固连于所述传动组件且由其驱动以旋转,所述第一旋转件(16)设有第一漏料槽(17);
所述第一旋转件(16)的一侧设置有第一固定件(18),所述第一固定件(18)固连于所述料仓(2)的一端,所述第一固定件(18)设有第二漏料槽(19),所述第一漏料槽(17)和所述第二漏料槽(19)配合形成所述第一投料通道;
所述第一旋转件(16)旋转时,所述第一漏料槽(17)与所述第二漏料槽(19)周期性重合或错位以使所述第一投料通道开启或关闭。
9.根据权利要求8所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于:
所述第二封闭组件为第二旋转件(21),所述第二旋转件(21)设于所述隔离仓(6)靠近所述混合仓(3)的一端,同时套设且固连于所述传动组件,所述第二旋转件(21)设有第三漏料槽(22),所述传动组件驱动所述第二旋转件(21)旋转;
所述第二旋转件(21)的一侧设置有第二固定件(23),所述第二固定件(23)固连于所述隔离仓(6)靠近所述混合仓(3)的一端,所述第二固定件(23)设有第四漏料槽(24),所述第三漏料槽(22)和所述第四漏料槽(24)配合形成所述第二投料通道,且所述第二旋转件(21)相对所述第二固定件(23)旋转;
所述第二旋转件(21)旋转时,所述第三漏料槽(22)与所述第四漏料槽(24)周期性重合或错位以使所述第二投料通道开启或关闭,且所述第一漏料槽(17)与所述第二漏料槽(19)重合时所述第三漏料槽(22)与所述第四漏料槽(24)不重合。
10.根据权利要求8所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述第一固定件(18)设于所述第一旋转件(16)远离所述料仓(2)的一侧,且所述第一旋转件(16)朝向所述料仓(2)的一端面固设有若干第一刮片(20),所述第一旋转件(16)旋转时,所述第一刮片(20)将与之接触的所述缓蚀剂刮散。
11.根据权利要求9所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述隔离仓(6)内设有若干第二刮片(25),所述第二刮片(25)设置在所述第二旋转件(21)和所述第一固定件(18)之间,所述第二刮片(25)的一端固连于所述隔离仓(6)内壁,所述第二旋转件(21)旋转时通过与所述第二刮片(25)配合将所述缓蚀剂挡入所述第三漏料槽(22)。
12.根据权利要求6所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述回转式气体压缩机的进气口(13)连接有一气源(15)。
13.根据权利要求1所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括制动器(27),用于所述传动组件的制动。
14.根据权利要求1所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述传动组件为转轴(7)。
15.根据权利要求1所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,所述旋转组件为叶轮(26)。
16.一种熔盐缓蚀剂投放方法,包括权利要求3所述的熔盐缓蚀剂投放装置,其特征在于,包括:
step1:关闭所述第二投料通道和所述加压组件,打开所述第一投料通道,所述缓蚀剂进入所述隔离仓(6);
step2:关闭所述第一投料通道,打开所述加压组件向所述隔离仓(6)内加压;
step3:打开所述第二投料通道,所述缓蚀剂由所述气体带入所述混合仓(3)。
17.根据权利要求16所述的熔盐缓蚀剂投放方法,其特征在于,所述第一投料通道的所述第一封闭组件、所述第二投料通道的所述第二封闭组件、所述加压组件均由所述旋转组件驱动。